微镜器件及光扫描装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种能够提高反射镜部的角度检测精度的微镜器件及光扫描装置。微镜器件具备反射镜部、一对第1支承部、一对可动框、一对第2支承部、驱动部、固定框、与固定框相比厚度薄且沿第1轴或第2轴延伸而连接驱动部与固定框的一对连接部以及上部电极的形状及位置以第1轴及第2轴为中心呈线对称的关系的四个压电传感器。当设连接部的延伸方向为第1方向，设与第1方向正交且位于平面内的方向为第2方向，设固定框与连接部的边界的在第2方向上的长度为H时，四个压电传感器各自的至少一部分处于从第1轴及第2轴中的与第1方向平行的轴向第2方向H/2以内的范围内，且配置于固定框上。且配置于固定框上。且配置于固定框上。

【技术实现步骤摘要】
微镜器件及光扫描装置


[0001]本专利技术的技术涉及一种微镜器件及光扫描装置。

技术介绍

[0002]作为使用硅(Si)的细微加工技术来制作的微机电系统(Micro Electro Mechanical Systems：MEMS)器件之一已知有微镜器件(也被称为微型扫描仪。)。该微镜器件为小型且低耗电量，因此可期待对激光显示器、激光投影仪、光学相干断层扫描仪等的广泛应用。
[0003]微镜器件的驱动方式有多种方式，但利用了压电体变形的压电驱动方式与其他方式相比所产生的扭矩高且获得高扫描角而被认为很有前途。尤其，当如激光显示器需要大的扫描角时，通过对压电驱动方式的微镜器件进行共振驱动，获得更高的扫描角。
[0004]激光显示器中所使用的常规的微镜器件具备反射镜部及压电方式的致动器(例如，参考专利文献1)。反射镜部绕彼此正交的第1轴及第2轴摆动自如。致动器根据从外部供给的驱动电压，使反射镜部绕第1轴及第2轴摆动。
[0005]双轴微镜器件在双轴驱动时为了实时检测绕各轴的反射镜部的角度而必须设置角度传感器。尤其在使用压电方式本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微镜器件，其具备：反射镜部，其具有反射入射光的反射面；一对第1支承部，它们在位于包含所述反射镜部静止时的所述反射面的平面内的第1轴上与所述反射镜部连接，且将所述反射镜部支承为能够绕所述第1轴摆动；一对可动框，它们与所述第1支承部连接，并且隔着所述第1轴对置；一对第2支承部，它们在位于所述平面内且与所述第1轴正交的第2轴上与所述可动框连接，且将所述反射镜部、所述第1支承部及所述可动框支承为能够绕所述第2轴摆动；驱动部，其配置成包围所述可动框；固定框，其配置成包围所述驱动部；一对连接部，它们与所述固定框相比厚度薄，并且沿所述第1轴或所述第2轴延伸而连接所述驱动部与所述固定框；以及四个压电传感器，它们由上部电极、压电膜及下部电极构成，并且所述上部电极的形状及位置以所述第1轴及所述第2轴为中心呈线对称的关系，当设所述连接部的延伸方向为第1方向，设与所述第1方向正交且位于所述平面内的方向为第2方向，设所述固定框与所述连接部的边界的在所述第2方向上的长度为H时，四个所述压电传感器各自的至少一部分处于从所述第1轴及所述第2轴中的与所述第1方向平行的轴向所述第2方向H/2以内的范围内，且配置于所述固定框上。2.根据权利要求1所述的微镜器件，其中，四个所述压电传感器用于通过将从以所述第1轴或所述第2轴为中心呈线对...

【专利技术属性】
技术研发人员：青岛圭佑，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：