衬底处理装置及衬底处理方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种衬底处理装置及衬底处理方法。衬底处理装置(100)具备罐(50)、包含第1路径(C1)的路径(70)、加热器(61)、过氧化氢溶液供给路径(C3)及控制部(102)。第1路径(C1)从罐(50)将硫酸供给到喷嘴(36)。加热器(61)对第1路径(C1)的加热区域(R1)进行加热。控制部(102)将经加热器(61)加热的硫酸与过氧化氢溶液混合后从喷嘴(36)喷出到衬底(W)，然后将温度比所述经加热的硫酸低的硫酸与过氧化氢溶液混合后从喷嘴(36)喷出到衬底(W)。液混合后从喷嘴(36)喷出到衬底(W)。液混合后从喷嘴(36)喷出到衬底(W)。

【技术实现步骤摘要】
衬底处理装置及衬底处理方法


[0001]本专利技术涉及一种衬底处理装置及衬底处理方法。

技术介绍

[0002]以往，在半导体装置及液晶显示装置之类的包含衬底的装置的制造工序中，是使用对衬底进行处理的衬底处理装置。衬底例如为半导体晶圆或液晶显示装置用玻璃衬底。
[0003]专利文献1中记载了一种衬底处理装置，该衬底处理装置对衬底表面供给硫酸过氧化氢溶液混合液，该硫酸过氧化氢溶液混合液是相对于流量为1的170℃以上的硫酸混合流量为0.1～0.35的过氧化氢溶液而生成的。
[0004][
技术介绍
文献][0005][专利文献][0006][专利文献1]日本专利特开2009
‑
16497号公报

技术实现思路

[0007][专利技术要解决的问题][0008]如专利文献1记载的衬底处理装置，在将硫酸过氧化氢溶液混合液供给到衬底表面的情况下，当硫酸与过氧化氢溶液混合时硫酸与过氧化氢溶液发生反应，而硫酸过氧化氢溶液混合液变为高温。将该高温的硫酸过氧化氢溶液混合液供给到衬底而对衬底进行处理后，利用过氧化氢溶液冲洗衬本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种衬底处理装置，通过从喷嘴将处理液供给到衬底而对所述衬底进行处理，具备：第1罐，贮存硫酸；路径，包含从所述第1罐将所述硫酸供给到所述喷嘴的第1路径；第1阀，介插于所述第1路径；第1加热器，对所述第1路径的加热区域进行加热；过氧化氢溶液供给路径，将过氧化氢溶液供给到所述喷嘴；过水阀，介插于所述过氧化氢溶液供给路径；以及控制部，通过控制所述第1阀及所述过水阀的打开及关闭，来控制向所述喷嘴供给所述硫酸及所述过氧化氢溶液；且所述控制部是将经所述第1加热器加热的硫酸与所述过氧化氢溶液混合后从所述喷嘴喷出到所述衬底，然后，将温度比所述经加热的硫酸低的硫酸与所述过氧化氢溶液混合后从所述喷嘴喷出到所述衬底。2.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中所述路径还包含不经由所述加热区域而从所述第1罐将所述硫酸供给到所述喷嘴的第2路径，所述衬底处理装置还具备介插于所述第2路径的第2阀，所述控制部通过控制所述第1阀、所述第2阀及所述过水阀的打开及关闭，来控制向所述喷嘴供给所述硫酸及所述过氧化氢溶液，经过所述第2路径的硫酸以比经过所述第1路径的硫酸低的温度合流到所述过氧化氢溶液，所述控制部是以如下方式控制所述第1阀、所述第2阀及所述过水阀，即，将经过所述第1路径而被所述第1加热器加热的所述硫酸与所述过氧化氢溶液混合后从所述喷嘴喷出到所述衬底，然后，将经过所述第2路径的所述硫酸与所述过氧化氢溶液混合后从所述喷嘴喷出到所述衬底。3.根据权利要求2所述的衬底处理装置，其还具备：第1合流部，配置在所述加热区域与所述喷嘴的喷出口之间，将所述第1路径与所述过氧化氢溶液供给路径合流；以及第2合流部，配置在所述加热区域与所述第1合流部之间，将所述第1路径与所述第2路径合流。4.根据权利要求2所述的衬底处理装置，其中所述第1路径与所述第2路径相对于所述加热区域在所述硫酸的流通方向的上游侧分支，且相对于所述加热区域在所述硫酸的流通方向的下游侧合流。5.根据权利要求1所述的衬底处理装置，其中通过所述控制部将所述第1加热器设为第1输出，而使经过所述第1路径的硫酸具有第1温度，通过所述控制部将所述第1加热器设为比所述第1输出低的第2输出，而使经过所述第1路径的硫酸具有比所述第1温度低的第2温度。6.根据权利要求5所述的衬底处...

【专利技术属性】
技术研发人员：东克栄，远藤亨，竹松佑介，髙木圭将，吉原直彦，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：