缝模和薄膜的制造方法技术

本发明专利技术提供一种能够在防止制造成本增加的同时抑制涂布不均的缝模和使用了上述缝模的薄膜的制造方法。本发明专利技术的一个实施方式的缝模具备：上游侧块、下游侧块、以及由上游侧块和下游侧块中的对置的内表面形成的涂布液的流路，下游侧块具有润湿扩散保持部，该润湿扩散保持部在靠近涂布液的喷出口的位置规定涂布液的润湿扩散范围，并且保持润湿扩散的位置，下游侧块的外侧面具有：第一区域，其包含于润湿扩散保持部；以及第二区域，其与第一区域连接，是从第一区域观察与喷出口相反侧的区域，第一区域是从第一区域与第二区域的第一连接部朝向喷出口倾斜的倾斜面，包含下游侧块的内表面的喷出口侧的下端且与涂布液的喷出方向正交的假想平面与第一区域所成的角度为20度以上70度以下。以上70度以下。以上70度以下。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】缝模和薄膜的制造方法


[0001]本专利技术涉及缝模和薄膜的制造方法。

技术介绍

[0002]作为本
的现有技术，有专利文献1所记载的涂敷用模头。在专利文献1所记载的技术中，使位于喷出涂布液的狭缝的两侧的前端面(下端面)与模头的前端侧面的润湿性不同。由此，在专利文献1所记载的技术中，在涂布液的涂布时涂布液从前端面绕到前端侧面且抑制涂布液在前端侧面上移动，从而实现涂布不均的消除。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本专利第4601918号

技术实现思路

[0006]专利技术所要解决的课题
[0007]在专利文献1的技术中，为了使前端面(下端面)与前端侧面的润湿性不同，需要实施含有氟树脂的化学镀镍处理等特殊的表面加工。因此，模具的制造成本增加。
[0008]因此，本专利技术的目的在于提供一种能够在防止制造成本增加的同时抑制涂布不均的缝模和使用了上述缝模的薄膜的制造方法。
[0009]用于解决课题的手段
[0010]根据本专利技术的一个方式，涉及一种缝模，其涂布涂布液，其中，该缝模具备：上游侧块；以及下游侧块，其在上述涂布液的涂布方向上相对于上述上游侧块对置地配置在下游侧，通过上述上游侧块和上述下游侧块中的相互对置的内表面形成上述涂布液的流路，上述下游侧块具有润湿扩散保持部，该润湿扩散保持部在靠近上述涂布液的喷出口的位置规定上述涂布液的润湿扩散范围，并且保持润湿扩散的位置，上述下游侧块的外侧面具有：第一区域，其包含于上述润湿扩散保持部；以及第二区域，其与上述第一区域连接，是从上述第一区域观察与上述喷出口相反侧的区域，上述第一区域是从上述第一区域与上述第二区域的第一连接部朝向上述喷出口倾斜的倾斜面，包含上述下游侧块的内表面的上述喷出口侧的下端且与上述涂布液的喷出方向正交的假想平面与上述第一区域所成的角度为20度以上70度以下。
[0011]在上述缝模中，下游侧块具有上述润湿扩散保持部。润湿扩散保持部具有外侧面中的第一区域。第一区域通过第一连接部与外侧面的上述第二区域连接，是从第一连接部朝向喷出口侧倾斜的倾斜面。第一区域与上述假想平面所成的角度为20度以上70度以下。通过润湿扩散保持部具有这样的第一区域，润湿扩散保持部能够规定在涂布液的涂布中涂布液润湿扩散到外侧面侧时的润湿扩散范围，并且能够在第一连接部保持润湿扩散的位置。因此，能够抑制与涂布液的涂布中的润湿扩散位置变动相伴的涂布不均。在缝模中，利用包含作为倾斜面的第一区域的润湿扩散保持部来规定润湿扩散。因此，不需要缝模本身
的特殊的表面处理。因此，能够防止缝模的制造成本的增加。
[0012]上述润湿扩散保持部可以形成为在上述第一连接部的位置保持上述涂布液的润湿扩散。
[0013]上述喷出方向上的上述假想平面与上述第一连接部之间的距离可以为10μm以上3000μm以下。由此，能够更可靠地保持润湿扩散位置。
[0014]也可以是，上述润湿扩散保持部具有前端面，该前端面在上述下端与上述下游侧块的内表面连接并且与上述第一区域连接，上述前端面与上述第一区域的第二连接部与上述假想平面在上述喷出方向上的距离为0μm以上1000μm以下。
[0015]上述涂布方向上的上述前端面的长度可以为10μm以上2000μm以下。
[0016]上述假想平面与上述第一连接部之间的距离、以及上述涂布方向上的上述第二连接部与上述第一连接部之间的距离可以设定为在上述第一连接部的位置保持上述涂布液的润湿扩散。由此，能够更可靠地保持润湿扩散位置。
[0017]上述第一区域与上述第二区域之间的角度可以为110度以上160度以下。由此，能够更可靠地保持润湿扩散位置。
[0018]也可以是，上述下游侧块具有：第一块部；以及第二块部，其与上述第一块一体化，包含上述第一区域以及上述第二区域的一部分，上述第二块部的上述涂布方向的长度比上述第一块部的上述涂布方向的长度短。
[0019]上述第二块部的上述涂布方向的长度可以为10μm以上3000μm以下。
[0020]本专利技术的另一方式涉及的薄膜的制造方法具有薄膜形成工序，从上述缝模向涂布对象物上涂布涂布液，在上述涂布对象物上形成薄膜。
[0021]在上述制造方法中，从上述缝模向涂布对象物上涂布涂布液。通过从上述缝模涂布涂布液，能够抑制涂布不均。其结果，能够制造膜厚更均匀的薄膜。如上所述，上述缝模防止了制造成本的增加，因此也能够防止薄膜的制造成本的增加。
[0022]在上述薄膜形成工序中，可以在将上述涂布液的润湿扩散保持在上述第一连接部的位置的状态下，向上述涂布对象物涂布上述涂布液。由此，能够进一步抑制涂布不均。
[0023]上述涂布液的粘度可以为0.002Pa
·
s以上1Pa
·
s以下。在这样的粘度的涂布液中，润湿扩散的位置容易变动，但通过使用上述缝模涂布涂布液，能够防止润湿扩散的位置变动。其结果，即使使用具有上述粘度的涂布液也能够抑制涂布不均，其结果，容易制造具有均匀的膜厚的薄膜。
[0024]上述涂布液的涂布速度可以为0.1m/min以上200m/min以下。
[0025]专利技术效果
[0026]根据本专利技术，能够提供能够在防止制造成本增加的同时抑制涂布不均的缝模和使用了上述缝模的薄膜的制造方法。
附图说明
[0027]图1是示出使用了一个实施方式的缝模的油墨(涂布液)的涂布工序的图。
[0028]图2是用于说明图1所示的缝模所具备的润湿扩散保持部的概略图。
[0029]图3是示出用高速照相机拍摄使用比较用的缝模在基板上涂布油墨时的状态的结果的图。
[0030]图4是示出用高速照相机拍摄使用具有润湿扩散保持部的缝模在基板上涂布油墨时的状态的结果的图。
[0031]图5是示出在实验例中使用的不具有润湿扩散保持部的缝模的一例的概略结构的图。
[0032]图6是示出在实验例中使用的不具有润湿扩散保持部的缝模的另一例的概略结构的图。
[0033]图7是示出实验例中使用的条件和实验例的结果的图表。
具体实施方式
[0034]下面，参照附图说明本专利技术的实施方式。在附图中，对相同或相当的部分标注相同的符号，并省略重复的说明。附图的尺寸比率并非必需与所说明的内容一致。
[0035]图1是示出使用了一个实施方式的缝模的油墨(涂布液)的涂布工序的图。
[0036]如图1所示，缝模1是用于在基板(涂布对象物)3中的油墨(涂布液)2的涂布面3a涂布油墨2而形成薄膜5的装置。薄膜5通过对由涂布于涂布面3a的油墨2形成的涂布膜4进行干燥而得到。
[0037]油墨2是包含用于形成半导体领域等中的器件所具有的功能层的功能性材料(例如树脂)的涂布液。油墨2的粘度的例子为0.002Pa
·
s以上1Pa
·
s以下。油墨2的粘度的例子可以为0.0本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种缝模，其涂布涂布液，其中，该缝模具备：上游侧块；以及下游侧块，其在所述涂布液的涂布方向上相对于所述上游侧块对置地配置在下游侧，通过所述上游侧块和所述下游侧块中的相互对置的内表面形成所述涂布液的流路，所述下游侧块具有润湿扩散保持部，该润湿扩散保持部在靠近所述涂布液的喷出口的位置规定所述涂布液的润湿扩散范围，并且保持润湿扩散的位置，所述下游侧块的外侧面具有：第一区域，其包含于所述润湿扩散保持部；以及第二区域，其与所述第一区域连接，是从所述第一区域观察与所述喷出口相反侧的区域，所述第一区域是从所述第一区域与所述第二区域的第一连接部朝向所述喷出口倾斜的倾斜面，包含所述下游侧块的内表面的所述喷出口侧的下端且与所述涂布液的喷出方向正交的假想平面与所述第一区域所成的角度为20度以上70度以下。2.根据权利要求1所述的缝模，其中，所述润湿扩散保持部形成为在所述第一连接部的位置保持所述涂布液的润湿扩散。3.根据权利要求1或2所述的缝模，其中，所述喷出方向上的所述假想平面与所述第一连接部之间的距离为10μm以上3000μm以下。4.根据权利要求1～3中任一项所述的缝模，其中，所述润湿扩散保持部在所述下端具有与所述下游侧块的内表面连接并且与所述第一区域连接的前端面，所述前端面与所述第一区域的第二连接部与所述假想平面在所述喷出方向上的距离为0μm以上1000μm以下。5.根据权利要求4所述的缝模，其中，所述前端面在所述涂布方向上的长度为10μm以上2000...

【专利技术属性】
技术研发人员：岩原大，立川哲子，
申请(专利权)人：住友化学株式会社，
类型：发明
国别省市：