一种晶圆加工用水套生产的排屑结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆加工用水套生产的排屑结构，涉及晶圆加工用水套生产术领域，包括加工柜和排屑组件，所述加工柜的顶部架设有装置架，所述排屑组件设置于加工柜内部中央，且排屑组件的左右两侧设置有排料通道，而且排屑组件的底部表面安装有压料组件，并且排屑组件的底部连接设置有集屑组件。该晶圆加工用水套生产的排屑结构，通过将工作台设置于排屑组件的内部，不仅可以在一定程度上限制加工作业时废屑的飘散范围，同时配合内部各个结构可以在加工作业的同时快速将废屑汇聚于作业仓内，即可快速排屑游客将废屑集中回收至集屑组件之中以便后期处理，而压料组件可以将收集箱内的废屑尽可能压缩，以便于可以同时存放更多的废屑。更多的废屑。更多的废屑。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆加工用水套生产的排屑结构


[0001]本技术涉及晶圆加工用水套生产术领域，具体为一种晶圆加工用水套生产的排屑结构。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，在晶圆加工生产中会用到一种水套结构，此结构的加工生产中会被切削打磨处理。
[0003]在对晶圆加工用水套生产的过程中会产生大量的废屑，常规的加工设备一般靠抽气装置或是承接的料斗结构进行集屑排屑，但考虑到工件再加工生产过程中，受加工装置的运作带动，大量的废屑会四处飘散或是溅射，使得设备周围的环境受到影响，同时难以将废屑集中排开。
[0004]于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提出一种晶圆加工用水套生产的排屑结构。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种晶圆加工用水套生产的排屑结构，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆加工用水套生产的排屑结构，包括加工柜和排屑组件，所述加工柜的顶部架设有装置架，所述排屑组件设置于加工柜内部中央，且排屑组件的左右两侧设置有排料通道，而且排屑组件的底部表面安装有压料组件，并且排屑组件的底部连接设置有集屑组件，所述排屑组件包括作业仓、细网隔断、负压风机、防护网、吸料管和离心风机，所述作业仓的顶部架设安装有细网隔断，且作业仓的底部安装有负压风机，而且负压风机的顶部设置有防护网，并且作业仓的内壁左右两侧连接安装有吸料管，同时吸料管远离作业仓垂直中轴线的一侧连接设置有离心风机。
[0007]进一步的，所述装置架的底部中央安装有加工机组，所述排屑组件的内侧底部中央安装有工作台。
[0008]进一步的，所述吸料管连接于离心风机的吸力输出端，且离心风机与排料通道相连通。
[0009]进一步的，所述加工机组的下半端设置于作业仓的内部中央，且加工机组贯穿于细网隔断的中央。
[0010]进一步的，所述工作台设置于加工机组的正下方，且负压风机以工作台的垂直中轴线为对称轴左右对称设置安装。
[0011]进一步的，所述吸料管和离心风机均以作业仓的垂直中轴线为对称轴左右对称设置安装，所述作业仓的底部呈倒梯形结构。
[0012]进一步的，所述压料组件包括步进电机、推杆和压板，所述步进电机的动力输出端连接有推杆，且推杆的底部固定安装有压板，压料组件以排屑组件的垂直中轴线为对称轴左右对称设置安装。
[0013]进一步的，所述集屑组件包括回收仓、收集箱、滚轮和导轨，所述回收仓的内部设置有收集箱，且收集箱的上下两侧的左右两端均安装有滚轮，而且滚轮远离收集箱的一侧设置有导轨。
[0014]本技术提供了一种晶圆加工用水套生产的排屑结构，具备以下有益效果：
[0015]1、本技术，考虑到加工机组对工件进行切削打磨时会产生大量废屑，同时在加工机组的作用下废屑会四处扩散，利用细网隔断使加工机组的输出端与工作台一同限制在作业仓的内部，使得加工机组作业时能够尽可能减少废屑扩散，而作业仓底部的负压风机可以将废屑尽可能汇聚在作业仓内，防护网则是避免负压风机被废屑所影响，同时配合离心风机产生的强力的吸力通过吸料管将汇聚在作业仓底部的废料经过排料通道尽数排出传输到集屑组件之中，以便于后期回收处理。
[0016]2、本技术，当离心风机通过吸料管将作业仓底部的废料抽送至集屑组件之中，常规情况下废料在逐步堆积在收集箱内，由于废屑相互之间堆叠，企之间的间隙较大，使得收集箱内的空间无法有效利用，导致收集箱需要频繁处理，利用步进电机带动推杆使压板垂直向下挤压，使得蓬松堆叠的废料可以尽可能压缩以充分利用收集箱的空间，同时为了方面移出回收仓内的收集箱，通过在收集箱的上下两侧左右两端分别设置的滚轮配合导轨辅助，可以相对轻松的对其进行推移。
附图说明
[0017]图1为本技术一种晶圆加工用水套生产的排屑结构的本体内部侧视结构示意图；
[0018]图2为本技术一种晶圆加工用水套生产的排屑结构的图1的A处放大结构示意图；
[0019]图3为本技术一种晶圆加工用水套生产的排屑结构的排屑组件的部分立体结构示意图。
[0020]图中：1、加工柜；2、装置架；3、加工机组；4、排屑组件；401、作业仓；402、细网隔断；403、负压风机；404、防护网；405、吸料管；406、离心风机；5、工作台；6、排料通道；7、压料组件；701、步进电机；702、推杆；703、压板；8、集屑组件；801、回收仓；802、收集箱；803、滚轮；804、导轨。
具体实施方式
[0021]下面结合附图和实施例对本技术的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本技术，但不能用来限制本技术的范围。
[0022]如图1至图3所示，一种晶圆加工用水套生产的排屑结构，包括加工柜1和排屑组件4，加工柜1的顶部架设有装置架2，排屑组件4设置于加工柜1内部中央，且排屑组件4的左右两侧设置有排料通道6，而且排屑组件4的底部表面安装有压料组件7，并且排屑组件4的底部连接设置有集屑组件8，装置架2的底部中央安装有加工机组3，排屑组件4的内侧底部中
央安装有工作台5，排屑组件4包括作业仓401、细网隔断402、负压风机403、防护网404、吸料管405和离心风机406，作业仓401的顶部架设安装有细网隔断402，且作业仓401的底部安装有负压风机403，而且负压风机403的顶部设置有防护网404，并且作业仓401的内壁左右两侧连接安装有吸料管405，同时吸料管405远离作业仓401垂直中轴线的一侧连接设置有离心风机406，吸料管405连接于离心风机406的吸力输出端，且离心风机406与排料通道6相连通，加工机组3的下半端设置于作业仓401的内部中央，且加工机组3贯穿于细网隔断402的中央，工作台5设置于加工机组3的正下方，且负压风机403以工作台5的垂直中轴线为对称轴左右对称设置安装，吸料管405和离心风机406均以作业仓401的垂直中轴线为对称轴左右对称设置安装，作业仓401的底部呈倒梯形结构，当物料放置于工作台5后，装置架2的底部安装的加工机组3会开始对物料进行加工作业，在此期间产生的废屑会四处飘散，在细网隔断402的阻隔下，会被限制在作业仓401内，同时负压风机403会将飘散的废屑集中吸附在作业仓401的底部，与此同时离心风机406会进行同步运作，带动空气流动从而产生强力的吸力，通过吸料管405将作业仓401底部聚集的废料进行抽取，随后经过排料通道6输送至整个排屑组件4正下方设置的集屑组件8的内部。
[0023]压料组件7包括步进电机701、推杆702和压板703，步进电机701的动力输出端连接有推杆702，且推杆702的底部固定安装有压板703，压料组件7以排屑组件4的垂直中轴线为对称轴左本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆加工用水套生产的排屑结构，包括加工柜(1)和排屑组件(4)，其特征在于：所述加工柜(1)的顶部架设有装置架(2)，所述排屑组件(4)设置于加工柜(1)内部中央，且排屑组件(4)的左右两侧设置有排料通道(6)，而且排屑组件(4)的底部表面安装有压料组件(7)，并且排屑组件(4)的底部连接设置有集屑组件(8)，所述排屑组件(4)包括作业仓(401)、细网隔断(402)、负压风机(403)、防护网(404)、吸料管(405)和离心风机(406)，所述作业仓(401)的顶部架设安装有细网隔断(402)，且作业仓(401)的底部安装有负压风机(403)，而且负压风机(403)的顶部设置有防护网(404)，并且作业仓(401)的内壁左右两侧连接安装有吸料管(405)，同时吸料管(405)远离作业仓(401)垂直中轴线的一侧连接设置有离心风机(406)。2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用水套生产的排屑结构，其特征在于，所述装置架(2)的底部中央安装有加工机组(3)，所述排屑组件(4)的内侧底部中央安装有工作台(5)。3.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用水套生产的排屑结构，其特征在于，所述吸料管(405)连接于离心风机(406)的吸力输出端，且离心风机(406)与排料通道(6)相连通。4.根据权利要求2所述的一种晶圆加工用水套生产的排屑结构，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏健波，谢银，苏叶明，夏任波，徐波，
申请(专利权)人：常州心匠智能装备有限公司，
类型：新型
国别省市：