一种拼接型高纯铝管靶的焊接方法技术

本发明专利技术提供一种拼接型高纯铝管靶的焊接方法，所述焊接方法包括以下步骤：分别使用焊料对不锈钢内管以及高纯铝外管进行浸润处理；将密封圈套入所述不锈钢内管的密封槽处，将所述高纯铝外管套入所述不锈钢内管，所述高纯铝外管压置于所述密封圈；将焊料倒入所述不锈钢内管与高纯铝外管形成的缝隙处，冷却后完成焊接。所述焊接方法可以保障焊接层厚度，提高钎焊合格率，且能够有效保障管靶间的焊接缝隙以及焊接后产品同心度。及焊接后产品同心度。及焊接后产品同心度。

【技术实现步骤摘要】
一种拼接型高纯铝管靶的焊接方法


[0001]本专利技术属于靶材制造领域，涉及一种管靶的焊接方法，尤其涉及一种拼接型高纯铝管靶的焊接方法。

技术介绍

[0002]半导体用拼接型高纯铝管靶由于结构特殊，分为两部分，内衬管为不锈钢材质，外管为分段式高纯铝。内管与外管必须经过钎焊焊接结合，才能在客户端溅射机台正常使用。然而铝管靶焊接时由于内外管存在间隙易导致焊料无法留存，焊接时需保持竖直状态，此外，分段式管靶之间也需对焊接同心度进行控制。因此对于如何设计一种焊接方法是铝管靶焊接时无法避免的实际问题与难点。
[0003]CN109807452B公开了一种高纯铝旋转靶的焊接方法，所述焊接方法分三步对端头焊接口或尾盖焊接口进行焊接，第一步为点焊接，第二步为弧段焊接，第三步为圆周焊接。该方法能防止高纯铝旋转靶材变形，铝合金端头与高纯旋转靶材的同轴度高，有效降低内应力的产生，铝合金端头与高纯旋转靶材的接口焊接效果好，焊接接口气密性好。
[0004]CN106270866B公开了一种旋转钼靶材的焊接方法，该方法包括：材料准备、在竖直方向上的第一旋转钼靶材的焊接、将焊接装置倒立后的第二旋转钼靶材的焊接以及第三旋转钼靶材的焊接该技术方案中采用的铟基钎料可完全满足靶材的导电导热性能要求，铟基钎料及背管可以循环使用，采用竖立钎焊方式可方便操作者对旋转钼靶材与背管相对稳定尺寸的获得，靶材内部残余应力较低，工艺操作简单，方便实用，适宜进一步推广应用。

技术实现思路

[0005]为解决现有技术中存在的技术问题，本专利技术提供一种拼接型高纯铝管靶的焊接方法，所述焊接方法可以保障焊接层厚度，提高钎焊合格率，且能够有效保障管靶间的焊接缝隙以及焊接后产品同心度。
[0006]为达到上述技术效果，本专利技术采用以下技术方案：
[0007]本专利技术提供一种拼接型高纯铝管靶的焊接方法，所述焊接方法包括以下步骤：
[0008]分别使用焊料对不锈钢内管以及高纯铝外管进行浸润处理；
[0009]将密封圈套入所述不锈钢内管的密封槽处，将所述高纯铝外管套入所述不锈钢内管，所述高纯铝外管压置于所述密封圈；
[0010]将焊料倒入所述不锈钢内管与高纯铝外管形成的缝隙处，冷却后完成焊接。
[0011]本专利技术中，高纯铝靶材的纯度为99.999％～99.9995％。
[0012]本专利技术中，密封圈同时承受焊料与外管重量，使得焊接过程中内外管底部边缘以及外管拼接处完全密封，焊料无法泄漏，从而达到保障焊接层厚度，提高钎焊合格率的目的。
[0013]作为本专利技术优选的技术方案，所述不锈钢内管的浸润处理的温度为250～280℃，如255℃、260℃、265℃、270℃或275℃等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他
未列举的数值同样适用。
[0014]作为本专利技术优选的技术方案，所述不锈钢内管的浸润处理在超声条件下进行。
[0015]作为本专利技术优选的技术方案，所述高纯铝外管包括至少2段，各段所述高纯铝外管分别独立地进行浸润处理。其中，所述高纯铝外管的段数可以是3段、4段、5段或6段等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0016]作为本专利技术优选的技术方案，所述高纯铝外管的浸润处理的温度为230～270℃，如230℃、235℃、240℃、245℃、250℃、255℃、260℃、265℃或270℃等，但并不仅限于所列举的数值，该数值范围内其他未列举的数值同样适用。
[0017]作为本专利技术优选的技术方案，所述高纯铝外管的浸润处理在超声条件下进行。
[0018]本专利技术中，浸润处理时超声条件的频率和时间等，可以根据靶材的尺寸和性质等进行调整，在此不做具体限定。
[0019]作为本专利技术优选的技术方案，所述密封圈套入所述不锈钢内管后，将所述不锈钢内管由固定装置固定。
[0020]本专利技术中，所述固定装置可以是底座或夹具等，不锈钢内管可通过螺纹、夹持、铆接等方式固定于所述固定装置上，以便于后续外管的套入以及焊料的灌入和冷却。
[0021]作为本专利技术优选的技术方案，相邻所述高纯铝外管间设置有垫片。
[0022]本专利技术中，垫片不仅可以进一步防止焊料由各段外管之间的缝隙流出，同时也可用于调节各段外管的间距。
[0023]优选地，所述垫片包括特氟龙垫片。
[0024]作为本专利技术优选的技术方案，所述焊料倒入前，在所述不锈钢内管与高纯铝外管形成的缝隙间放置入铜丝。
[0025]作为本专利技术优选的技术方案，所述拼接型高纯铝管靶的焊接方法包括以下步骤：
[0026]分别使用焊料对不锈钢内管以及高纯铝外管进行浸润处理；
[0027]所述不锈钢内管的浸润处理在超声条件下进行，温度为250～280℃；
[0028]所述高纯铝外管包括至少2段，各段所述高纯铝外管的浸润处理分别独立地在超声条件下进行，温度为230～270℃；
[0029]将密封圈套入所述不锈钢内管的密封槽处，将所述不锈钢内管由固定装置固定，将所述高纯铝外管套入所述不锈钢内管，所述高纯铝外管压置于所述密封圈，相邻所述高纯铝外管间设置有特氟龙垫片；
[0030]将焊料倒入所述不锈钢内管与高纯铝外管形成的缝隙处，冷却后完成焊接。
[0031]与现有技术相比，本专利技术至少具有以下有益效果：
[0032]本专利技术提供一种拼接型高纯铝管靶的焊接方法，所述焊接方法可以保障焊接层厚度，提高钎焊合格率，焊接结合强度达到8
‑
10MPa，且能够有效保障管靶间的焊接缝隙以及焊接后产品同心度。
附图说明
[0033]图1为本专利技术提供的拼接型高纯铝管靶的焊接结构示意图。
[0034]下面对本专利技术进一步详细说明。但下述的实例仅仅是本专利技术的简易例子，并不代表或限制本专利技术的权利保护范围，本专利技术的保护范围以权利要求书为准。
具体实施方式
[0035]为更好地说明本专利技术，便于理解本专利技术的技术方案，本专利技术的典型但非限制性的实施例如下：
[0036]实施例1
[0037]本实施例提供一种拼接型高纯铝管靶的焊接方法，所述焊接方法包括以下步骤：
[0038]分别使用焊料对不锈钢内管以及高纯铝外管进行浸润处理；
[0039]所述不锈钢内管的浸润处理在超声条件下进行，温度为250℃；
[0040]所述高纯铝外管包括2段，各段所述高纯铝外管的浸润处理分别独立地在超声条件下进行，温度为230℃；
[0041]将密封圈套入所述不锈钢内管的密封槽处，将所述不锈钢内管由固定装置固定，将所述高纯铝外管套入所述不锈钢内管，所述高纯铝外管压置于所述密封圈，相邻所述高纯铝外管间设置有特氟龙垫片；
[0042]将焊料倒入所述不锈钢内管与高纯铝外管形成的缝隙处，冷却后完成焊接。
[0043]实施例2
[0044]本实施例提供一种拼接型高纯铝管靶的焊接方法，所述焊接方法包括以下本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种拼接型高纯铝管靶的焊接方法，其特征在于，所述焊接方法包括以下步骤：分别使用焊料对不锈钢内管以及高纯铝外管进行浸润处理；将密封圈套入所述不锈钢内管的密封槽处，将所述高纯铝外管套入所述不锈钢内管，所述高纯铝外管压置于所述密封圈；将焊料倒入所述不锈钢内管与高纯铝外管形成的缝隙处，冷却后完成焊接。2.根据权利要求1所述的焊接方法，其特征在于，所述不锈钢内管的浸润处理的温度为250～280℃。3.根据权利要求1或2所述的焊接方法，其特征在于，所述不锈钢内管的浸润处理在超声条件下进行。4.根据权利要求1
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3任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述高纯铝外管包括至少2段，各段所述高纯铝外管分别独立地进行浸润处理。5.根据权利要求1
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4任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述高纯铝外管的浸润处理的温度为230～270℃。6.根据权利要求1
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5任一项所述的焊接方法，其特征在于，所述高纯铝外管的浸润处理在超声条件下进行。7.根据权利要求1
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6任一项所述的焊接方法...

【专利技术属性】
技术研发人员：姚力军，潘杰，边逸军，王学泽，周鹏飞，
申请(专利权)人：宁波江丰电子材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：