一种半导体工艺设备的控制方法、设备和下位机技术

本发明专利技术实施例提供了一种半导体工艺设备的控制方法、工半导体工艺设备和下位机，所该方法应用于下位机，包括：接收上位机发送配置文件，配置文件包括硬件信息、业务需求信息；根据硬件信息，配置实现硬件控制逻辑的控制类；控制类提供调用接口；根据业务需求信息，配置实现业务逻辑的业务类，并为业务类关联硬件对应的控制类提供的调用接口，以控制硬件。本发明专利技术可以根据上位机发送的配置文件，配置控制类和业务类，同时为业务类关联硬件对应的控制类提供调用接口，以控制硬件，本发明专利技术多种半导体工艺设备可以共用控制类业务类，避免了使用不同机台时需要重新开发软件，提高了软件开发的效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体工艺设备的控制方法、设备和下位机


[0001]本专利技术涉及半导体
，特别是涉及一种半导体工艺设备的控制方法、设备和下位机。

技术介绍

[0002]随着半导体行业迅猛发展，设备的类型越来越多样化；当前的半导体工艺设备软件在开发过程中，由于不同产品的软件架构不同，导致每个不同的半导体产品都有对应的软件，软件之间不具备通用性和可移植性，在有新的半导体工艺设备时，需要开发新的软件，提高了人力成本和时间消耗。

技术实现思路

[0003]鉴于上述问题，提出了本专利技术实施例以便提供一种克服上述问题或者至少部分地解决上述问题的一种半导体工艺设备的控制方法、设备和下位机。
[0004]为了解决上述问题，本专利技术实施例公开了一种半导体工艺设备的控制方法，应用于下位机，所述方法包括：
[0005]接收上位机发送的配置文件，所述配置文件包括硬件信息、业务需求信息；
[0006]根据所述硬件信息，配置实现硬件控制逻辑的控制类；所述控制类提供调用接口；
[0007]根据所述业务需求信息，配置实现业务逻辑本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体工艺设备的控制方法，其特征在于，应用于下位机，所述方法包括：接收上位机发送的配置文件，所述配置文件包括硬件信息、业务需求信息；根据所述硬件信息，配置实现硬件控制逻辑的控制类；所述控制类提供调用接口；根据所述业务需求信息，配置实现业务逻辑的业务类，并为所述业务类关联硬件对应的控制类提供的调用接口，以控制所述硬件。2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述下位机部署的软件包括项目模块，所述项目模块包括物理层，所述物理层提供控制类，所述控制类包括父类和子类，其中父类提供接口和抽象方法，子类在抽象方法中实现具体控制逻辑；所述根据所述硬件信息，配置实现硬件控制逻辑的控制类，包括：根据所述硬件信息，从物理层提供的控制类中查找匹配的目标控制类并进行配置。3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述项目模块还包括功能层，所述功能层提供业务类；所述根据所述业务需求信息，配置实现业务逻辑的业务类，包括：根据所述业务需求信息，从所述功能层提供的业务类中查找匹配的目标业务类并进行配置。4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：若所述物理层提供的控制类中，不存在与所述配置文件的硬件信息匹配的目标控制类，则在所述物理层创建实现硬件信息对应硬件控制逻辑的控制类。5.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：若所述功能层提供的业务类中，不存在...

【专利技术属性】
技术研发人员：王毅恒，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：发明
国别省市：