本发明专利技术提供一种在利用照相机拍摄激光时，能够减轻盖玻璃的背面反射所导致的干涉条纹的产生的技术。光检测部(60a)能够检测激光。光检测部(60a)具有扩散板(61)和照相机(63)。扩散板(61)保持入射的激光(L1)的强度分布的形状并且使激光(L1)扩散。照相机(63)包括图像传感器(631)和盖玻璃(633)。图像传感器(631)拍摄在扩散板(61)中扩散的激光。盖玻璃(633)位于扩散板(61)与图像传感器(631)之间。于扩散板(61)与图像传感器(631)之间。于扩散板(61)与图像传感器(631)之间。
【技术实现步骤摘要】
光检测装置、光照射装置、以及光检测方法
[0001]本说明书所公开的主题涉及光检测装置、光照射装置以及光检测方法。
技术介绍
[0002]以往，提出了一种光照射装置，该光照射装置利用照相机拍摄激光，根据该激光的像测定光束直径、平行度，来调整激光(例如，专利文献1)。
[0003]专利文献1：日本特开2021
‑
089383号公报
[0004]然而，在利用照相机拍摄激光的情况下，存在由用于密封CMOS或CCD等图像传感器的盖玻璃进行背面反射的激光与原来的激光干涉而产生干涉条纹的情况。若产生这样的干涉条纹，则难以高精度地检测激光的中心。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的在于提供一种在利用照相机拍摄激光时，能够减轻盖玻璃中的背面反射所导致的干涉条纹的产生的技术。
[0006]为了解决上述课题，第一方式是检测激光的光检测装置，具有：扩散部，保持入射的激光的强度分布的形状并且使所述激光扩散；以及照相机，具有对在所述扩散部中扩散后的所述激光进行拍摄的图像传感器和位于所述扩散部与所述图像传感器之间的盖玻璃。
[0007]第二方式根据第一方式的光检测装置，所述图像传感器是二维图像传感器。
[0008]第三方式根据第二方式的光检测装置，所述光检测装置还具备中心位置计算部，所述中心位置计算部基于由所述图像传感器获取的图像，计算所述激光的中心位置。
[0009]第四方式根据第一方式至第三方式中任一项的光检测装置，所述照相机还具有框体，所述框体设置有供所述激光通过的开口，所述图像传感器位于所述框体内，所述盖玻璃堵塞所述开口。
[0010]第五方式根据第四方式的光检测装置，所述扩散部安装于所述框体。
[0011]第六方式根据第一方式至第五方式中任一项的光检测装置，所述扩散部包括磨砂玻璃。
[0012]第七方式根据第一方式至第五方式中任一项的光检测装置，所述扩散部包括微透镜阵列。
[0013]第八方式是光照射装置，具有：保持部，保持基材；激光光源，输出激光；光学系统，将从所述激光光源输出的所述激光引导至保持在所述保持部上的所述基材；以及至少一个光检测部，检测所述激光，所述至少一个光检测部具有：扩散部，保持入射的激光的强度分布的形状并且使所述激光扩散；以及照相机，具有对在所述扩散部中扩散后的所述激光进行拍摄的图像传感器和位于所述扩散部与所述图像传感器之间的盖玻璃。
[0014]第九方式根据第八方式的光照射装置，所述光学系统包括：第一分束器，使从所述激光光源输出的所述激光分支；以及第二分束器，使由所述第一分束器分支后的所述激光分支，所述至少一个光检测部包括：第一光检测部，检测由所述第一分束器分支出的所述激
光；以及第二光检测部，检测由所述第二分束器分支出的所述激光。
[0015]第十方式是检测激光的光检测方法，包括：工序a)，保持激光的强度分布的形状并且使所述激光扩散；以及工序b)，在通过所述工序a)扩散后，利用图像传感器对透过了盖玻璃的激光进行拍摄。
[0016]根据第一方式至第七方式的光检测装置，通过使激光扩散，即使在盖玻璃产生背面反射，也能够减轻干涉条纹的产生。另外，由于保持扩散前的强度分布的形状，因此能够根据强度分布高精度地确定激光的位置。
[0017]根据第二方式的光检测装置，能够二维地检测激光的强度分布。
[0018]根据第三方式的光检测装置，能够检测激光的光轴的位置。
[0019]根据第六方式的光检测装置，能够通过磨砂玻璃容易地使光均匀地扩散。
[0020]根据第七方式的光检测装置，能够通过微透镜阵列来控制激光的扩展角以及形状。
[0021]根据第八方式的光照射装置，通过使激光扩散，即使在盖玻璃产生背面反射，也能够减轻干涉条纹的产生。另外，由于保持扩散前的强度分布的形状，因此能够根据强度分布高精度地确定激光的位置。
[0022]根据第九方式的光照射装置，能够基于由第一光检测部以及第二光检测部检测出的激光的位置，测定激光的平行度。
[0023]根据第十方式的光检测方法，通过使激光扩散，即使在盖玻璃产生背面反射，也能够减轻干涉条纹的产生。另外，由于保持扩散前的强度分布的形状，因此能够根据强度分布高精度地确定激光的位置。
附图说明
[0024]图1是概略地表示实施方式的光照射装置的结构的立体图。
[0025]图2是表示图1所示的光照射装置所具备的真空腔室的内部结构以及周边结构的剖视图。
[0026]图3是概略地表示图1及图2所示的光照射部的结构的立体图。
[0027]图4是概略地表示光检测部的结构的剖视图。
[0028]图5是表示由光检测部获取的激光的图像和该图像的虚线所示的位置处的亮度分布的图。
[0029]图6是表示比较例的光检测部的图。
[0030]图7是表示由比较例的光检测部获取的激光的图像和该图像的虚线所示的位置处的亮度分布的图。
[0031]附图标记说明
[0032]1：光照射装置
[0033]18：光照射部
[0034]22：控制部(中心位置计算部)
[0035]31：激光光源
[0036]35：光学系统
[0037]42：载物台(保持部)
[0038]60a：光检测部(第一光检测部)
[0039]60b：光检测部(第二光检测部)
[0040]61：扩散板(扩散部)
[0041]63：照相机
[0042]350a：分束器(第一分束器)
[0043]350b：分束器(第二分束器)。
[0044]631：图像传感器
[0045]633：盖玻璃
[0046]635：框体
[0047]636：开口
具体实施方式
[0048]以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。此外，本实施方式所记载的构成要素只是示例，并不意在将本专利技术的范围仅限定于此。另外，在附图中，为了容易理解，存在根据需要夸大或简化各部分的尺寸或数量而进行图示的情况。
[0049]在图1以及以后的各图中，有时示出分别表示相互交叉的X轴、Y轴、以及Z轴的箭头。X轴、Y轴、以及Z轴优选正交。另外，将各箭头的前端朝向的一侧设为+(正)侧，将+侧的相反侧设为
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(负)侧。
[0050]在以下的说明中，将沿着Z轴的方向设为铅垂方向，将沿着X轴及Y轴的各方向设为与水平面平行的水平方向。另外，将+Z侧作为“上侧”，将
‑
Z侧作为“下侧”进行说明。但是，这些各方向并不限定装置结构的位置关系。
[0051]＜1.实施方式＞
[0052]图1是概略地表示实施方式的光照射装置1的结构的立体图。在图1中，为了方便而省略支承真空腔室12的腔室框架、或者实际连接的布线等的图示。
[0053]如图1所示，光照射装置1具备真空腔室12、外部固定部1本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光检测装置，检测激光，其特征在于，具有：扩散部，保持入射的激光的强度分布的形状并且使所述激光扩散；以及照相机，具有对在所述扩散部中扩散后的所述激光进行拍摄的图像传感器和位于所述扩散部与所述图像传感器之间的盖玻璃。2.根据权利要求1所述的光检测装置，其特征在于，所述图像传感器是二维图像传感器。3.根据权利要求2所述的光检测装置，其特征在于，所述光检测装置还具备中心位置计算部，所述中心位置计算部基于由所述图像传感器获取的图像，计算所述激光的中心位置。4.根据权利要求1至3中任一项所述的光检测装置，其特征在于，所述照相机还具有框体，所述框体设置有供所述激光通过的开口，所述图像传感器位于所述框体内，所述盖玻璃堵塞所述开口。5.根据权利要求4所述的光检测装置，其特征在于，所述扩散部安装于所述框体。6.根据权利要求1至5中任一项所述的光检测装置，其特征在于，所述扩散部包括磨砂玻璃。7.根据权利要求1至5中任一项所述的光检测装置，其特征在于，所述扩散部包括微透镜阵列。8.一种光照射装...
【专利技术属性】
技术研发人员：小田晃司，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：
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