一种真空泵自动检测系统技术方案

本申请公开了一种真空泵自动检测系统，其包括：真空泵，用于生成负压；真空系统，与真空泵连接，真空系统包括真空管道、真空阀门、若干第一真空计和若干第一流量计；检测罐，与真空泵和真空系统连接，检测罐上设置有与大气连通的流量孔和控制流量孔开闭的第一电控阀；控制模块，能够实时采集若干第一流量计和若干第一真空计的示数；还能够生成若干第一流量计和若干所述第一真空计的示数变化曲线，并在若干第一流量计和若干第一真空计的示数偏离预设公差允许范围时发出报警信息。通过本申请能够方便准确地完成真空系统的检测，避免了人工记录节奏慢、精度低、实时性差、容易出现误差、人员劳动强度大等一系列问题。劳动强度大等一系列问题。劳动强度大等一系列问题。

【技术实现步骤摘要】
一种真空泵自动检测系统


[0001]本申请涉及真空系统的
，具体为一种真空泵自动检测系统。

技术介绍

[0002]真空系统一般由真空泵、储气罐、真空管道、真空阀门和各类仪表等组成。该系统广泛应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。
[0003]真空系统使用时间久后，真空性能下降，判断真空泵系统的性能和故障主要依赖于真空系统中的各类仪表如真空计等。
[0004]传统测量时，完全通过人工观察仪表数据，人工记录，这种方式节奏慢、精度低、实时性差、容易出现误差，且人员劳动强度大。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要针对上述技术问题，提出一种真空泵自动检测系统。
[0006]本申请提出的一种真空泵自动检测系统，其包括:真空泵，用于生成负压；真空系统，与所述真空泵连接，所述真空系统包括真空管道、真空阀门、若干第一真空计和若干第一流量计；检测罐，与所述真空泵和所述真空系统连接，所述检测罐上设置有与大气连通的流量孔和控制所述流量孔开闭的第一电控阀；控制模块，与所述第一电控阀、若干所述第一流量计和若干本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空泵自动检测系统，其特征在于,包括：真空泵，用于生成负压；真空系统，与所述真空泵连接，所述真空系统包括真空管道、真空阀门、若干第一真空计和若干第一流量计；检测罐，与所述真空泵和所述真空系统连接，所述检测罐上设置有与大气连通的流量孔和控制所述流量孔开闭的第一电控阀；控制模块，与所述第一电控阀、若干所述第一流量计和若干所述第一真空计电连接，能够控制所述第一电控阀的开闭，并实时采集若干所述第一流量计和若干所述第一真空计的示数；还能够基于所述控制模块实时采集的数据，生成若干所述第一流量计和若干所述第一真空计的示数变化曲线，并在若干所述第一流量计和若干所述第一真空计的示数偏离预设公差允许范围时发出报警信息。2.根据权利要求1所述的真空泵自动检测系统，其特征在于,所述流量孔设置有多个，且多个所述流量孔的孔径区别设置，所述第一电控阀设置有多个并与多个所述流量孔一一对应设置。3.根据权利要求1所述的真空泵自动检测系统，其特征在于,还包括：第一真空管、第二真空管和第三真空管，分别与所述真空泵的空气吸入口、所述真空系统的空气出口和所述检测罐的空气出口连接，且所述第一真空管、所述第二真空管和所述第三真空管三通连接。4.根据权利要求3所述的真空泵自动检测系统，其特征在于，还包括：第二电控阀、第三电控阀和第四电控阀，分别设置于所述第一真空管、第二真空管和第三真空管上，且所述第二电控阀、所述第三电控阀和所述第四电控阀与所述控制模块电连接，所述控制模块能够控制所述第二电控阀、所述第三电控阀...

【专利技术属性】
技术研发人员：佟冰，张虎，商亚丹，赵腾，
申请(专利权)人：中国重型机械研究院股份公司，
类型：发明
国别省市：