一种无轴承弧形压电电机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种无轴承弧形压电电机；其包括尺蠖压电驱动模组和C字弧形动子；弧形动子的内弧面和内侧面交界处进行45

【技术实现步骤摘要】
一种无轴承弧形压电电机


[0001]本技术涉及精密执行器
，尤其涉及一种无轴承弧形压电电机。

技术介绍

[0002]在聚焦离子束
‑
电子束双束显微镜中，扫描电子束(SEM)主要功能是观察和寻找样品感兴趣特征区(如缺陷、界面等)，而聚焦离子束(FIB)则是对特征区域进行微纳米加工。在真空腔体中，SEM和FIB共心呈一定角度分布。在加工过程中，加工样品放置在五轴真空工作台上，五轴工作台需要根据上位机命令调整位姿，调节五轴工作台的共心运动实现，实现工作台上样品的检侧和加工功能。因此，要求五轴工作台需同时具有X和Y轴运动、Z轴调焦运动、旋转轴运动、仰俯轴运动的功能。其中仰俯轴主要是为了执行SEM和FIB的模式切换，因此，工作台仰俯轴行程需大于SEM和FIB共心角度。在设计仰俯轴时，传统方案是采用直线驱动电机和弧形导向装置相结合的方案。但是，由于双束显微镜真空、无磁、无热、大仰俯运动行程的工作要求，弧形导向装置的选择受限，进而影响了仰俯轴的设计。因此，如何设计一个大行程、集成化、紧凑型、无磁、无热、高精度弧形运动轴，对于五轴真空工本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种无轴承弧形压电电机，其特征在于，其包括基座，尺蠖压电驱动模组和C字弧形动子；尺蠖压电驱动模组安装在基座上，尺蠖压电驱动模组包括两个内倒角面尺蠖压电驱动模组，一个外侧面尺蠖压电驱动模组和一个外弧面尺蠖压电驱动模组，C字弧形动子设置在内倒角面尺蠖压电驱动模组、外侧面尺蠖压电驱动模组和外弧面尺蠖压电驱动模组之间，C字弧形动子的内弧面和内侧面交界处进行45
°
倒角形成内倒角面，以作为接触面和内倒角面尺蠖压电驱动模组接触，内倒角面尺蠖压电驱动模组沿弧线在C字弧形动子内倒角面同心弧度上
±
25
°
位置布置，外侧面尺蠖压电驱动模组在C字弧形动子外侧面0
°
位置布置，外弧面尺蠖压电驱动模组在C字弧形动子外弧面0
°
位置布置，用于共同完成C字弧形动子的约束和导向；其中：所述内倒角面尺蠖压电驱动模组，外侧面尺蠖压电驱动模组和外弧面尺蠖压电驱动模组均分别由柔性铰链壳体和两个压电叠堆腿组成；所述柔性铰链壳体包括给压电叠堆提供固定刚度的柔性铰链和用于固定压电模组的壳体；所述压电叠堆腿均分别由实现切向往返运动的切向陶瓷...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐云浪，郭亮，杨晓峰，
申请(专利权)人：复旦大学，
类型：新型
国别省市：