一种便于调节镀膜厚度的真空溅射机制造技术

本实用新型专利技术涉及真空溅射机技术领域，公开了一种便于调节镀膜厚度的真空溅射机，包括外壳，外壳正面设有料门，料门与外壳之间通过铰链相连接，外壳内部设有溅射设备，溅射设备上方设有旋转组件，旋转组件包括设置在外壳外的电机，电机输出端设有转轴，转轴设置在外壳内，且转轴外套设有套筒，套筒外沿轴心等距分布设有多个扇板，相邻扇板之间设有平板。将板料插入两个卡条之间，并由弹簧及垫板对其挤压固定，电机控制转轴转动，根据溅射镀膜的时间，来控制镀膜的厚度，当达到镀膜时间时，由电机自动控制转轴旋转一定角度，始终保证平板的齐平，本方案结构新颖，自动化程度较高，能够对镀膜的厚度进行有效控制，提升装置实用性，省时省力。省力。省力。

【技术实现步骤摘要】
一种便于调节镀膜厚度的真空溅射机


[0001]本技术涉及真空溅射机
，具体为一种便于调节镀膜厚度的真空溅射机。

技术介绍

[0002]溅射是以一定能量的粒子(离子或中性原子、分子)轰击固体表面，使固体近表面的原子或分子获得足够大的能量而最终逸出固体表面的工艺。
[0003]目前，在对镀膜作业中，尤其涉及板件的镀膜加工，而现有的镀膜装置并不能有效的对镀膜厚度进行调整，大都采用人工观察的方式，控制膜厚度，该方式费时费力，实用性不高。
[0004]因此，基于上述技术问题，本领域的技术人员有必要研发一种便于调节镀膜厚度的真空溅射机。

技术实现思路

[0005]本技术目的是提供一种便于调节镀膜厚度的真空溅射机，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0007]一种便于调节镀膜厚度的真空溅射机技术方案，包括外壳，所述外壳正面设有料门，所述料门与外壳之间通过铰链相连接，所述外壳内部设有溅射设备，所述溅射设备上方设有旋转组件，所述旋转组件包括设置在外壳外的电机，所述电机输出端设有转轴，所述转轴设置在外壳内，且转轴外套设有套筒，所述套筒外沿轴心等距分布设有多个扇板，相邻所述扇板之间设有平板。
[0008]优选的，每个所述平板上均设有卡料组件，所述卡料组件包括呈相对状分布的卡条，相对两个卡条内壁设有垫板。
[0009]优选的，所述卡条呈L型设置，所述垫板与卡条之间设有弹簧。
[0010]优选的，所述料门正面设有观察窗，所述料门边缘处设有把手。
[0011]优选的，所述电机外设有电机壳，所述电机壳与外壳相连接。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0013]本技术为一种便于调节镀膜厚度的真空溅射机，设置的旋转组件及卡料组件，将板料插入两个卡条之间，并由弹簧及垫板对其挤压固定，电机控制转轴转动，根据溅射镀膜的时间，来控制镀膜的厚度，当达到镀膜时间时，由电机自动控制转轴旋转一定角度，始终保证平板的齐平，本方案结构新颖，自动化程度较高，能够对镀膜的厚度进行有效控制，提升装置实用性，省时省力。
附图说明
[0014]图1为本技术的整体结构示意图；
[0015]图2为图1中内部结构示意图；
[0016]图3为图1中旋转组件结构示意图。
[0017]附图标记中：1、外壳；11、溅射设备；2、电机壳；21、电机；22、转轴；23、套筒；24、扇板；25、平板；3、料门；31、铰链；32、观察窗；33、把手；41、卡条；42、垫板；43、弹簧。
具体实施方式
[0018]下面将详细描述本技术的各个方面的特征和示例性实施例，为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及具体实施例，对本技术进行进一步详细描述。应理解，此处所描述的具体实施例仅被配置为解释本技术，并不被配置为限定本技术。对于本领域技术人员来说，本技术可以在不需要这些具体细节中的一些细节的情况下实施。下面对实施例的描述仅仅是为了通过示出本技术的示例来提供对本技术更好的理解。
[0019]请参阅图1
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3所示，本技术提供一种便于调节镀膜厚度的真空溅射机技术方案：包括外壳1，外壳1正面设置有料门3，料门3正面设置有观察窗32，料门3边缘处设置有把手33，料门3与外壳1之间通过铰链31相连接，外壳1内部设置有溅射设备11，溅射设备11上方设置有旋转组件，旋转组件包括设置在外壳1外的电机21，具体的，电机21为伺服电机，能够控制转动角度，电机21外设置有电机壳2，电机壳2与外壳1相连接，电机21输出端设置有转轴22，转轴22设置在外壳1内，且转轴22外套设置有套筒23，套筒23外沿轴心等距分布设置有多个扇板24，相邻扇板24之间设置有平板25，每个平板25上均设置有卡料组件，卡料组件包括呈相对状分布的卡条41，相对两个卡条41内壁设置有垫板42，卡条41呈L型设置，垫板42与卡条41之间设置有弹簧43。
[0020]在本实施方式中，将板料插入两个卡条41之间，并由弹簧43及垫板42对其挤压固定，电机21控制转轴22转动，根据溅射镀膜的时间，来控制镀膜的厚度，当达到镀膜时间时，由电机21自动控制转轴22旋转一定角度，并带动扇板24及平板25转动一定角度，始终保证平板25的齐平，从而使底部的板料与溅射设备11配合，实现镀膜。
[0021]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
[0022]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“同轴”、“底部”、“一端”、“顶部”、“中部”、“另一端”、“上”、“一侧”、“顶部”、“内”、“前部”、“中央”、“两端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0023]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置”、“连接”、“固定”、“旋接”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0024]依照本技术如上文的实施例，这些实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该技术仅为的具体实施例。显然，根据以上描述，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本技术的原理和实际应用，从而使所属
技术人员能很好地利用本技术以及在本技术基础上的修改使用。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于调节镀膜厚度的真空溅射机，其特征在于，包括外壳(1)，所述外壳(1)正面设有料门(3)，所述料门(3)与外壳(1)之间通过铰链(31)相连接，所述外壳(1)内部设有溅射设备(11)，所述溅射设备(11)上方设有旋转组件，所述旋转组件包括设置在外壳(1)外的电机(21)，所述电机(21)输出端设有转轴(22)，所述转轴(22)设置在外壳(1)内，且转轴(22)外套设有套筒(23)，所述套筒(23)外沿轴心等距分布设有多个扇板(24)，相邻所述扇板(24)之间设有平板(25)。2.根据权利要求1所述的一种便于调节镀膜厚度的真空溅射机，其特征在于：每个所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李山春，石明佳，李祥安，刘哲，
申请(专利权)人：珠海思特自动化系统工程有限公司，
类型：新型
国别省市：