固晶机的取晶方法技术

本发明专利技术涉及一种固晶机的取晶方法，其中，包括：S1、更换或放置新的晶元台；S2、读取Mapping文件，并对应Mapping文件设定参考点和起点；S3、执行晶元台机械轴寻找起点的流程，先根据预先设定的参考点和预设起点之差得到行偏移与列偏移；从参考点开始，取相机视野中心的晶元作为基点，并获得取相机视野中其他晶元与基点的位置关系，计算出需要的图像坐标，并根据图像坐标相应减少行偏移或列偏移；运动控制系统收到该需要的图像坐标后，移动晶元台机械轴的相机视野中心至该图像坐标，并获相机视野中心的晶元作为新的基点；直至行偏移和列偏移均为0，则找到起点，并执行步骤S4；S4、基于所找到的起点位置开始取晶。找到的起点位置开始取晶。找到的起点位置开始取晶。

【技术实现步骤摘要】
固晶机的取晶方法


[0001]本专利技术涉及芯片技术，特别涉及一种固晶机的取晶方法。

技术介绍

[0002]在不具备Wafer Mpaping取晶方法前，在检测机对wafer做完检测之后，需要人工手动对检测内容进行标记，即对不合格芯片进行墨点标记。在标记墨点的过程中，有可能会出现墨水量不够、人工误差等问题，导致不良晶元流入了市场。
[0003]而在具有自动识别wafer mapping的取晶方式后，如何保证mapping文件里的标记与实物晶元一一对应成了关键。现有技术中都是人工手动协助机械臂找到起始点，然后从起始点开始生产。但是由于晶元较小、晶元外观都是一致的，人工操作的方式有时候很难准确的找到起始点。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种固晶机的取晶方法，用于解决上述wafer mapping的取晶方式很难准确的找到起始点的问题。
[0005]本专利技术一种固晶机的取晶方法，其中，包括：S1、更换或放置新的晶元台；S2、读取Mapping文件，并对应Mapping文件设定参考点和起点；S3、执本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种固晶机的取晶方法，其特征在于，包括：S1、更换或放置新的晶元台；S2、读取Mapping文件，并对应Mapping文件设定参考点和起点；S3、执行晶元台机械轴寻找起点的流程，先根据预先设定的参考点和预设起点之差得到行偏移与列偏移；从参考点开始，取相机视野中心的晶元作为基点，并获得取相机视野中其他晶元与基点的位置关系，计算出需要的图像坐标，并根据图像坐标相应减少行偏移或列偏移；运动控制系统收到该需要的图像坐标后，移动晶元台机械轴的相机视野中心至该图像坐标，并获相机视野中心的晶元作为新的基点；直至行偏移和列偏移均为0，则找到起点，并执行步骤S4；S4、基于所找到的起点位置开始取晶。2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤S1具体包括：卸载旧晶元台，把新的未使用的晶元台放入晶元台夹具中，用热风机软化，并锁紧蓝膜。3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤S2具体包括：在读取mapping文件，导入放置的晶元台对应的mapping文件后，通过遍历的方式获取OK晶元，选择左上的OK晶元作为mapping起始点，再选择mapping文件中晶元图像较为靠中部的OK晶元作为参考点。4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，根据预先设定的参考点和起点之差得到行偏移与列偏移包括：分别获取mapping的起始点和参考点所在的行列位置，起始点的行号和列号，对应减去参考点的行号和列号，得到参考点至起始点的行偏移与列偏移。5.如权利要求4所述的方法，其特征在于，得到行偏移与列偏移后，移动晶元台机械轴，使得相机视野中心对准参考点晶元所在的位置，进行图像采集。6.如权利要求4所述的方法，其特征在于，步骤S3中确定行偏移与列偏移后，晶元台机械轴寻找起点的流程包括：S331、通过形状匹配的识别算法，找到相机视野中9个晶元的图像；S332、取相机视野中心的晶元作为基点，对位于基点正上、正下、正左以及正右四个方向的晶元坐标进行分类；S333、根据参考点至起始点的行偏移与列偏移及晶元与基点的位置关系，计算出需要的图像坐标，若行偏移Δx大于0，则输出基点正上方的晶元的图像坐标给运动控制系统，行偏移的绝对值减1；若行偏移Δx小于0，则输出基点正下方的晶元的图像坐标给运动控制系统，行偏移的绝对值减1；若行偏移Δx等于0，则根据列偏移Δy输出，其中，列偏移Δy大于0...

【专利技术属性】
技术研发人员：李健扬，王文耀，刘少君，黄博才，黎振升，
申请(专利权)人：广州市锲致智能技术有限公司，
类型：发明
国别省市：