本发明专利技术提供粘合薄膜位置检测器以及粘合薄膜粘贴装置。其中，将光斜向照射在粘合薄膜的端部。利用沿粘合薄膜的垂直方向设置的ＣＣＤ照相机拍摄自该端部发生了漫反射的反射光。在粘合薄膜的背景中配置黑色的板，因此只是粘合薄膜的端部被反射光显示成白色线状。根据该端部的线定位粘合薄膜，由于利用了来自粘合薄膜的端部的反射光，因此无论粘合薄膜以及粘贴有粘合薄膜的基膜是否有色或无论颜色的深浅如何、均能够进行准确的定位。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及作为半导体基板、液晶显示装置用的玻璃基板 等各种基板的表面处理的一个工序、将形状对应于基板形状的 粘合薄膜粘贴在基板表面上时所用的粘合薄膜位置检观'J器以及 粘合薄膜粘贴装置。
技术介绍
以往，公开有用于将形状对应于基板形状的粘合薄膜粘贴 在各种基板表面上的各种薄膜粘贴装置。例如，在日本国特开平7-195527号公报上公开了下述内容借助薄膜输送部件输送 粘贴于透明基带上的有色的粘合薄膜，在达到一定位置时利用 薄膜检测机构进行检测。该薄膜检测机构根据其检测结果停止 输送基带，或在该停止位置检测粘合薄膜与基板的相对位置以 及相对角度的偏差。之后，补正该位置偏差，对基板和基带进 行同步输送，从而将在带折返端自基带不断地剥离下的粘合薄 膜粘贴在基板表面上。在上述公报所述的粘合薄膜粘贴装置的薄膜检测机构中， 在输送薄膜供给带的期间、利用反射型光传感器来检测粘合薄 膜的存在。并且，根据粘合薄膜的尺寸利用另一个反射型光传 感器、在检测出粘合薄膜的后端缘的时刻停止输送薄膜供给带， 将该停止位置视为规定的粘贴位置。另外，采用CCD照相机作为用于检测粘合薄膜的位置偏差 的检测部件。在停止了薄膜供给带之后，利用CCD照相机拍摄 有色的粘合薄膜，领'J量从预先设定的基准线^ ij粘合薄膜的端面 的距离，检测位置偏差。但是，在专利文献l所公开的技术中，仍然存在下述无法 解决的问题点。在上述文献所公开的粘合薄膜粘贴装置中，在粘合薄膜由 透明、半透明的薄膜构成并具有透光性的情况下，难以利用反 射型光传感器等光学传感器稳定地检测粘合薄膜。即、由于基 带是透明的，因此若粘贴在该基带上的粘合薄膜也是透明或半 透明的话，则无法利用光传感器识别来自基带的光的反射量与 来自粘合薄膜的光的反射量的差异。因而，存在无法将粘合薄 膜稳定地配置在粘贴位置上的问题。另外，在上述文献中，是利用CCD照相机来检测位置偏差 的，但在粘合薄膜是透明或浅色的情况下，也难以利用该检测 方法检测粘合薄膜的端面。由于不能清楚地识别透明基带与透 明或浅色的粘合薄膜之间的深浅差异，因此无法检测粘合薄膜 的端面。从而不能测量自基准线到粘合薄膜的端面的距离，无 法检测粘合薄膜的准确位置。
技术实现思路
本专利技术的目的在于，提供无论粘合薄膜以及基膜有无颜 色、或无论所带颜色的种类、深浅乃至透明度如何、均可以高 精度地将粘合薄膜粘贴在基板上的粘合薄膜位置检测器以及粘 合薄膜粘贴装置。本专利技术为了实现上述目的，采用下述构成。 一种粘合薄膜位置检测器，其中， 上述粘合薄膜位置检测器包括下述构成部件 照明部件，其自斜向对沿基膜上的长度方向以规定间隔粘 贴在上述基膜上的规定形状的粘合薄膜的端部照射光；板，其为黑色，设在被上述照明部件照射光的上述基膜的下表面上；调光部件，其用于调节上述照明部件的光的强度； 照明角度调节部件，其用于调节上迷照明部件的光的照射 角度；拍摄部件，其相对于上述粘合薄膜设在垂直上方；自上述照明部件射出的光在上述粘合薄膜的端部发生漫反射，利用上述拍摄部件接收被漫反射了的光，从而检测粘合薄膜的位置。采用本专利技术的粘合薄膜位置检测器，将光斜向照射在粘合 薄膜的端部上，从而拍摄自粘合薄膜的端部发生了漫反射的光。 结果能够高精度地检测粘合薄膜的端部的位置。另外，在上述检测器中，作为拍摄部件的一个优选例，可 以举出CCD照相机。通过利用CCD照相机进行拍摄，能够以画 面的点单位测量来自粘合薄膜的端部的反射光。即、能够准确 地测量粘合薄膜的端面的位置。另外，作为照明部件的一个优选例，可以举出由中心频率 不同的红色、蓝色、以及绿色的光构成的照明部件。作为其具 体例，可以举出3波长荧光灯或集合红色、蓝色和绿色的单波 长LED的光而成的部件。使照明部件具有红色、蓝色和绿色各 光的波长的峰值，从而无论粘合薄膜或基膜有无颜色、都能够 检测粘合薄膜的端部的位置。另外，粘合薄膜和基膜均可以是透明的。另外，粘合薄膜 和基膜均可以是无色的。这样，即使在粘合薄膜和基膜是透明 或无色的那样的、以往难以检测的结构中，利用本专利技术的检测 器也能够准确地检测粘合薄膜的端部的位置。作为板的一个优选例，可以举出无光泽的板。由于设在基 膜下表面上的黑色的板是没有光泽的，因此能够进 一 步减小来自板的反射光所产生的影响。因而，能够更明确地检测粘合薄 膜的端部。另外，本专利技术为了实现上述目的，还采用下迷构成。 一种粘合薄膜粘贴装置，其中，上述粘合薄膜粘贴装置包括下述构成部件技术方案1所述的粘合薄膜位置检测器；带输送部件，其用于输送薄膜供给带，该薄膜供给带是将 上述粘合薄膜沿上述基膜的长度方向以规定间隔粘贴在上述基 膜上而得到的；薄膜剥离部件，其折返引导上述薄膜供给带，并由其折返端将上述粘合薄膜自上述基膜剥离；粘贴辊，其能上下移动地配置在上述折返端的近旁位置上； 粘贴台，其用于载置粘贴有上述粘合薄膜的基板； 控制部件，其根据自上述粘合薄膜位置检测器输出的粘合薄膜的位置信号停止输送薄膜供给带，且由该停止位置测量粘合薄膜的位置偏移，修正上述粘贴台的位置。采用该结构，根据利用粘合薄膜位置检测器检测出的粘合薄膜的位置信号停止输送薄膜供给带，并且测量粘合薄膜的位置偏差，从而修正粘贴台的位置。因而，能够准确地将粘合薄膜粘贴在半导体基板上。另外，上述结构也可以进一步如下所述地构成。例如，上述粘合薄膜检领'J器检领'J粘合薄膜输送方向的前后端部中的至少后端部；上述控制部件根据预先设定的基准位置信息与上述后端部的实测结果之间的偏差进行位置的修正。另外，基板是半导体基板，其具有用于检测该半导体基板的定位平面或凹口的^f立置的^r测部件；上述控制部件根据上述检测部件的检测结果修正半导体基 板的绕中'"、轴线的位置偏差。附图说明图示的是用于说明本专利技术而举出的现阶段较佳的若干实 施方式，但本专利技术并不限定于所图示的那样的结构以及方法。 图l是实施例的粘合薄膜位置检测器的概略纵剖侧视图。图2A 2B是拍摄在粘合薄膜的端部发生了漫反射的光的 说明图。图3A~ 3C是表示利用粘合薄膜位置检测器而获得的图像 的图。图4是粘合薄膜粘贴装置的概略主视图。 图5是粘合薄膜粘贴单元的概略主视图。 图6是表示粘合薄膜的折返部的概略立体图。 图7是表示粘合薄膜粘贴装置的驱动系统的框图。 图8是表示实施例的粘合薄膜粘贴装置的动作的流程图。 图9A 9E是通过拍摄来自薄膜供给带的反射光而获得的 图像的说明图。具体实施方式下面，参照附图说明本专利技术的实施例。 另外，在本实施例中，以粘贴与半导体基板大致相同形状 的粘合薄膜的情况为例进行说明。 粘合薄膜位置检测器如图l所示，粘合薄膜位置检测器l包括照明器7，其用 于向粘合薄膜5的后端部照射光，该粘合薄膜5粘贴在向图l的 左方输送的基膜3上；调光器9，其用于调整照明器7的光的色度以及照度；照明角度调整机构8 (参照图7),其用于调整自 照明器7照射的光的照射角度；CCD照相机ll,自照明器7射出 的光在粘合薄膜5的后端部发生漫反射，CCD照相机11用于拍 摄射向粘合薄膜5的垂直上方的反射光。另外，在基膜3的下表 面上设有黑色且没有光泽的板13。 CCD照相机11相当于本专利技术 中的拍摄部件。另外，薄膜供给带6在基膜3上本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种粘合薄膜位置检测器，其中， 上述粘合薄膜位置检测器包括下述构成部件： 照明部件，其自斜向对沿基膜上的长度方向以规定间隔粘贴在上述基膜上的规定形状的粘合薄膜的端部照射光； 板，其为黑色，设在被上述照明部件照射光的上述基膜的下 表面上； 调光部件，其用于调节上述照明部件的光的强度； 照明角度调节部件，其用于调节上述照明部件的光的照射角度； 拍摄部件，其相对于上述粘合薄膜设在垂直上方； 自上述照明部件射出的光在上述粘合薄膜的端部发生漫反射，利 用上述拍摄部件接收被漫反射了的光，从而检测粘合薄膜的位置。
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：山本雅之，池田谕，
申请(专利权)人：日东电工株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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