一种基于柔性衬底的气敏传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于柔性衬底的气敏传感器，包括衬底，所述衬底的上端开设有凹槽一，所述凹槽一内固定连接有下电极，所述下电极的上端通过气敏薄膜固定连接有上电极，所述上电极的下端开设有凹槽二，且所述凹槽二内固定连接有气敏薄膜。有益效果：通过设置的衬底为柔性衬底，使衬底具有高介电性能、高尺寸稳定性等优点，而在衬底上设置的下电极和上电极之间的气敏薄膜，可以通过气敏薄膜对空气中的特定气体进行吸附，通过导电率的改变计算空气中的气体成分，并且设置的多种吸附不同气体的气敏薄膜，可以对空气中的成分含量进行检测，使气敏传感器检测更加灵敏。使气敏传感器检测更加灵敏。使气敏传感器检测更加灵敏。

【技术实现步骤摘要】
一种基于柔性衬底的气敏传感器


[0001]本技术涉及气敏传感器
，具体来说，涉及一种基于柔性衬底的气敏传感器。

技术介绍

[0002]气敏传感器是用来检测气体浓度和成分的传感器，它对于环境保护和安全监督方面起着极重要的作用，所以对气敏传感器有下列要求：能够检测报警气体的允许浓度和其他标准数值的气体浓度，能长期稳定工作，重复性好，响应速度快，共存物质所产生的影响小等。
[0003]根据中国专利公开号CN215727852U公开的一种气敏传感器，本技术提供一种气敏传感器，该气敏传感器包括基板、器件层、导电柱和气敏模块；所述基板的第一表面设置有电路；所述器件层和所述导电柱均位于所述基板的第一表面上，所述器件层和所述导电柱均与所述电路电连接；所述导电柱的高度大于所述器件层的厚度；所述气敏模块位于所述导电柱远离所述基板的一侧，所述气敏模块与所述导电柱电连接，所述气敏模块用于检测气体的性能。本技术实施例提供的气敏传感器，可以减小气敏传感器的体积，提高气敏传感器的集成度。
[0004]根据上述专利，其通过减小气敏传感器的体积提高气敏传感器的集成度，但是在减小气敏传感器的体积的同时，也缩减了气敏传感器与空气的接触面积，一定程度上影响了气敏传感器对空气的监测灵敏度。
[0005]针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种基于柔性衬底的气敏传感器，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0007]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0008]一种基于柔性衬底的气敏传感器，包括衬底，所述衬底的上端开设有凹槽一，所述凹槽一内固定连接有下电极，所述下电极的上端通过气敏薄膜固定连接有上电极，所述上电极的下端开设有凹槽二，且所述凹槽二内固定连接有气敏薄膜。
[0009]进一步的，所述气敏薄膜为电导型气敏材料，且所述气敏薄膜用于选择性吸附空气中的气体。
[0010]进一步的，所述下电极、所述气敏薄膜和所述上电极为夹层结构设置。
[0011]进一步的，所述下电极、所述气敏薄膜和所述上电极设置有若干组，且均间隔设置在所述衬底上。
[0012]进一步的，若干组所述气敏薄膜分别选择性吸附不同气体，用于检测空气中的不同成分。
[0013]进一步的，所述气敏薄膜与所述上电极和所述下电极之间重掺杂接触，以便于形
成欧姆接触。
[0014]进一步的，所述下电极与所述上电极起到导电的作用，将气敏薄膜与外围电路相连接。
[0015]与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：
[0016](1)、通过设置的衬底为柔性衬底，使衬底具有高介电性能、高尺寸稳定性等优点，而在衬底上设置的下电极和上电极之间的气敏薄膜，可以通过气敏薄膜对空气中的特定气体进行吸附，通过导电率的改变计算空气中的气体成分，并且设置的多种吸附不同气体的气敏薄膜，可以对空气中的成分含量进行检测，使气敏传感器检测更加灵敏。
[0017](2)、通过在下电极上涂覆一层选择性吸附某气体的气敏薄膜，可以根据气敏薄膜吸附特定气体之后导电率的改变引起压电晶体的声表面波频率发生漂移，通过测量声表面波频率的变化就可以获得准确的反应气体浓度的变化值，从而测定气体的浓度，并且设定的气敏薄膜为多种选择性吸附不同气体的气敏薄膜，可以对空气中的成分也进行检测，使检测的效果更精准，并且将气敏薄膜与下电极之间重掺杂接触从而形成低阻值的欧姆接触，有利于电流的输入和输出。
[0018](3)、通过设置的下电极、气敏薄膜和上电极为夹层结构，可以使气敏薄膜的四周不受阻挡，增加气敏薄膜与空气的接触面，并且下电极、气敏薄膜和上电极间隔设置若干组，且气敏薄膜采用吸附不同气体的材料，可以增大气敏传感器集成度的同时不会影响到气敏传感器内的空气流通，使气敏传感器的检测效果更好。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1是根据本技术实施例的一种基于柔性衬底的气敏传感器的结构示意图；
[0021]图2是根据本技术实施例的一种基于柔性衬底的气敏传感器的布局结构示意图。
[0022]附图标记：
[0023]1、衬底；2、凹槽一；3、下电极；4、气敏薄膜；5、上电极；6、凹槽二。
具体实施方式
[0024]下面，结合附图以及具体实施方式，对专利技术做出进一步的描述：
[0025]实施例一：
[0026]请参阅图1
‑
2，根据本技术实施例的一种基于柔性衬底的气敏传感器，包括衬底1，所述衬底1的上端开设有凹槽一2，所述凹槽一2内固定连接有下电极3，所述下电极3的上端通过气敏薄膜4固定连接有上电极5，所述上电极5的下端开设有凹槽二6，且所述凹槽二6内固定连接有气敏薄膜4。
[0027]通过本技术的上述方案，通过设置的衬底1为柔性衬底，使衬底1具有高介电性能、高尺寸稳定性等优点，而在衬底1上设置的下电极3和上电极5之间的气敏薄膜4，可以
通过气敏薄膜4对空气中的特定气体进行吸附，通过导电率的改变计算空气中的气体成分，并且设置的多种吸附不同气体的气敏薄膜4，可以对空气中的成分含量进行检测，使气敏传感器检测更加灵敏。
[0028]实施例二：
[0029]请参阅图1
‑
2，所述气敏薄膜4为电导型气敏材料，且所述气敏薄膜4用于选择性吸附空气中的气体，若干组所述气敏薄膜4分别选择性吸附不同气体，用于检测空气中的不同成分，所述气敏薄膜4与所述上电极5和所述下电极3之间重掺杂接触，以便于形成欧姆接触。
[0030]通过本技术的上述方案，通过在下电极3上涂覆一层选择性吸附某气体的气敏薄膜4，可以根据气敏薄膜4吸附特定气体之后导电率的改变引起压电晶体的声表面波频率发生漂移，通过测量声表面波频率的变化就可以获得准确的反应气体浓度的变化值，从而测定气体的浓度，并且设定的气敏薄膜4为多种选择性吸附不同气体的气敏薄膜4，可以对空气中的成分也进行检测，使检测的效果更精准，并且将气敏薄膜4与下电极3之间重掺杂接触从而形成低阻值的欧姆接触，有利于电流的输入和输出。
[0031]实施例三：
[0032]请参阅图1
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2，所述下电极3、所述气敏薄膜4和所述上电极5为夹层结构设置，所述下电极3、所述气敏薄膜4和所述上电极5设置有若干组，且均间隔设置在所述衬底1上，所述下电极3与所述上电极5起到导电的作用，将气敏薄膜4与外围电路相连接。
[0033]通过本技术的上述方案，通过设置的下电极3、气敏薄膜4和上电极5为夹层结构，可以使气敏薄膜4的四周不受阻本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于柔性衬底的气敏传感器，其特征在于，包括衬底(1)，所述衬底(1)的上端开设有凹槽一(2)，所述凹槽一(2)内固定连接有下电极(3)，所述下电极(3)的上端通过气敏薄膜(4)固定连接有上电极(5)，所述上电极(5)的下端开设有凹槽二(6)，且所述凹槽二(6)内固定连接有气敏薄膜(4)。2.根据权利要求1所述的一种基于柔性衬底的气敏传感器，其特征在于，所述气敏薄膜(4)为电导型气敏材料，且所述气敏薄膜(4)用于选择性吸附空气中的气体。3.根据权利要求1所述的一种基于柔性衬底的气敏传感器，其特征在于，所述下电极(3)、所述气敏薄膜(4)和所述上电极(5)为夹层结构设置。4.根据权利要求1所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李静，程金生，邓勇辉，黄俊豪，雷文韬，林嘉怡，侯观娣，吴诗妍，张誉铃，林婉琪，郑捷亭，孙文滢，陈晓娜，
申请(专利权)人：韶关学院，
类型：新型
国别省市：