一种光阻喷涂装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及液晶显示技术领域，公开了一种光阻喷涂装置。光阻喷涂装置包括光阻供应机构、驱动机构和喷涂机构，光阻供应机构为喷涂机构供应光阻，驱动机构能够驱动喷涂机构沿预设方向运动，喷涂机构包括第一喷嘴组件和第二喷嘴组件，第一喷嘴组件和第二喷嘴组件均能够喷涂光阻，第二喷嘴组件设置在第一喷嘴组件沿前进方向的后方，第二喷嘴组件的喷涂流量可调。本实用新型专利技术的光阻喷涂装置，第二喷嘴组件可以对第一喷嘴组件喷涂的光阻厚度进行补偿，从而保证其在基板上喷涂的光阻厚度均匀、准确。确。确。

【技术实现步骤摘要】
一种光阻喷涂装置


[0001]本技术涉及液晶显示
，尤其涉及一种光阻喷涂装置。

技术介绍

[0002]在晶片的生产过程中，需要采用微影成像技术在基板表面形成预设图像，具体地，先在基板表面均匀喷覆光阻材料，而后再放置于曝光机下进行曝光，以使紫外线光源透过光罩照射于光阻而得到感光图像，最后再以药剂进行显影而得到实际图像。
[0003]图1是现有技术提供的光阻喷涂装置的示意图，如图1所示，光阻喷涂装置包括驱动机构(未图示)和喷嘴20，喷嘴20设置在基板10的上方，喷嘴20的开口呈线性且沿X向延伸，驱动机构驱动喷嘴20沿垂直于X向的Y向运动，从而实现对整个基板10表面的喷涂。在喷涂前，需要预先设定好喷嘴20的喷涂厚度，图2是现有技术提供的光阻喷涂装置在基板上喷涂的光阻厚度的分布图，如图2所示，图中的直线表示预设喷涂厚度，实折线表示喷嘴20的实际喷涂厚度，由图2可见，在喷嘴20的起刀位置(即喷嘴20开启的预设时间内)，其喷涂量会出现不稳定的情况，导致在开始的预设时间内喷嘴20喷涂在基板10上的光阻厚度大于预设喷涂厚度，进而影响产品质量。
[0004]因此，亟待需要一种光阻喷涂装置来解决上述技术问题。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提出一种光阻喷涂装置，在基板上喷涂的光阻厚度均匀、准确。
[0006]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0007]一种光阻喷涂装置，包括光阻供应机构、驱动机构和喷涂机构，所述光阻供应机构为所述喷涂机构供应光阻，所述驱动机构能够驱动所述喷涂机构沿预设方向运动，所述喷涂机构包括第一喷嘴组件和第二喷嘴组件，所述第一喷嘴组件和所述第二喷嘴组件均能够喷涂光阻，所述第二喷嘴组件设置在所述第一喷嘴组件沿前进方向的后方，所述第二喷嘴组件的喷涂流量可调。
[0008]作为一个可选的方案，所述第二喷嘴组件包括第二喷嘴本体和流量控制阀，所述流量控制阀的进口端与所述光阻供应机构连接，所述流量控制阀的出口端与所述第二喷嘴本体连接。
[0009]作为一个可选的方案，所述第一喷嘴组件包括第一喷嘴本体和第一启闭阀，所述第一启闭阀的进口端与所述光阻供应机构连接，所述第一启闭阀的出口端与所述第一喷嘴本体连接。
[0010]作为一个可选的方案，所述喷涂机构还包括三通管，所述三通管一端与所述光阻供应机构连通，所述三通管的另外两端分别与所述第一喷嘴组件和所述第二喷嘴组件连通。
[0011]作为一个可选的方案，所述第一喷嘴组件的第一喷涂出口和所述第二喷嘴组件的
第二喷涂出口均为线型且相互平行，所述第一喷涂出口的延伸方向和第二喷涂出口的延伸方向均垂直于所述预设方向。
[0012]作为一个可选的方案，所述光阻供应机构包括：
[0013]储存罐，所述储存罐内容纳有光阻；
[0014]出料管，所述出料管的出口端与所述喷涂机构相连通；
[0015]第一泵组件，所述第一泵组件一端与所述储存罐连接，另一端与所述出料管的入口端相连接，所述第一泵组件能将所述储存罐内的光阻泵出。
[0016]作为一个可选的方案，所述光阻供应机构还包括：
[0017]缓存罐和过滤组件，所述过滤组件的两端分别与所述第一泵组件和所述缓存罐连接，所述第一泵组件能将经过滤组件过滤的光阻泵入所述缓存罐中；
[0018]第二泵组件，所述第二泵组件一端与所述缓存罐连接，另一端与所述出料管相连接，所述第二泵组件能够将所述缓存罐内的光阻泵送至所述出料管。
[0019]作为一个可选的方案，所述光阻供应机构还包括：
[0020]第二启闭阀，所述第二启闭阀连接在所述过滤组件与所述缓存罐之间；和/或
[0021]第三启闭阀，所述第三启闭阀设置在所述缓存罐与所述第二泵组件之间。
[0022]作为一个可选的方案，所述光阻喷涂装置还包括冲洗机构，所述冲洗机构包括：
[0023]冲洗液罐，所述冲洗液罐容纳有冲洗液；
[0024]第三泵组件，所述第三泵组件的一端与所述冲洗液罐连接，另一端与所述出料管连接，所述第三泵组件能将所述冲洗液罐内的冲洗液泵入所述出料管内。
[0025]作为一个可选的方案，所述冲洗机构还包括三通阀，所述三通阀包括第一入口端、第二入口端和总出口端，所述第一入口端与所述第二泵组件连接，所述第二入口端与所述第三泵组件连接，所述总出口端与所述出料管连接。
[0026]本技术有益效果为：
[0027]本技术的光阻喷涂装置，通过光阻供应机构能够为喷涂机构提供光阻，通过驱动机构能够驱动喷涂机构相对于基板沿预设方向运动，此过程中喷涂机构工作能够实现在基板表面喷涂光阻。喷涂机构的第一喷嘴组件可以先对基板表面进行喷涂，而第二喷嘴可以根据第一喷嘴组件在沿预设方向的各个位置喷涂的光阻厚度，在适当的时间以适当的流量进行喷涂，从而对第一喷嘴组件喷涂的光阻厚度进行补偿，进而保证在第一喷嘴组件和第二喷嘴组件均喷涂结束后，基板上各个位置处喷涂的光阻的厚度均匀、准确。
附图说明
[0028]图1是现有技术提供的光阻喷涂装置的示意图；
[0029]图2是现有技术提供的光阻喷涂装置在基板上喷涂的光阻厚度的分布图；
[0030]图3是本技术具体实施方式提供的光阻喷涂装置的结构示意图；
[0031]图4是本技术具体实施方式提供的喷涂机构的局部结构示意图；
[0032]图5是本技术具体实施方式提供的光阻喷涂装置在基板上喷涂的光阻厚度的分布图。
[0033]图中：
[0034]10、基板；20、喷嘴；
[0035]1、光阻供应机构；11、储存罐；12、出料管；13、第一泵组件；14、缓存罐；15、过滤组件；16、第二泵组件；17、第二启闭阀；18、第三启闭阀；
[0036]2、喷涂机构；21、第一喷嘴组件；211、第一喷嘴本体；2111、第一喷涂出口；212、第一启闭阀；22、第二喷嘴组件；221、第二喷嘴本体；2211、第二喷涂出口；222、流量控制阀；23、三通管；
[0037]3、冲洗机构；31、冲洗液罐；32、第三泵组件；33、三通阀；331、第一入口端；332、第二入口端；333、总出口端。
具体实施方式
[0038]下面结合附图和实施例对本技术作进一步的详细说明。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。另外还需要说明的是，为了便于描述，附图中仅示出了与本技术相关的部分而非全部结构。
[0039]在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光阻喷涂装置，其特征在于，包括光阻供应机构(1)、驱动机构和喷涂机构(2)，所述光阻供应机构(1)为所述喷涂机构(2)供应光阻，所述驱动机构能够驱动所述喷涂机构(2)沿预设方向运动，所述喷涂机构(2)包括第一喷嘴组件(21)和第二喷嘴组件(22)，所述第二喷嘴组件(22)设置在所述第一喷嘴组件(21)沿前进方向的后方，所述第二喷嘴组件(22)的喷涂流量可调。2.如权利要求1所述的光阻喷涂装置，其特征在于，所述第二喷嘴组件(22)包括第二喷嘴本体(221)和流量控制阀(222)，所述流量控制阀(222)的进口端与所述光阻供应机构(1)连接，所述流量控制阀(222)的出口端与所述第二喷嘴本体(221)连接。3.如权利要求1所述的光阻喷涂装置，其特征在于，所述第一喷嘴组件(21)包括第一喷嘴本体(211)和第一启闭阀(212)，所述第一启闭阀(212)的进口端与所述光阻供应机构(1)连接，所述第一启闭阀(212)的出口端与所述第一喷嘴本体(211)连接。4.如权利要求1所述的光阻喷涂装置，其特征在于，所述喷涂机构(2)还包括三通管(23)，所述三通管(23)一端与所述光阻供应机构(1)连通，所述三通管(23)的另外两端分别与所述第一喷嘴组件(21)和所述第二喷嘴组件(22)连通。5.如权利要求1所述的光阻喷涂装置，其特征在于，所述第一喷嘴组件(21)的第一喷涂出口(2111)和所述第二喷嘴组件(22)的第二喷涂出口(2211)均为线型且相互平行，所述第一喷涂出口(2111)的延伸方向和第二喷涂出口(2211)的延伸方向均垂直于所述预设方向。6.如权利要求1
‑
5任一项所述的光阻喷涂装置，其特征在于，所述光阻供应机构(1)包括：储存罐(11)，所述储存罐(11)内容纳有光阻；出料管(12)，所述出料管(12)的出口端与所述喷涂机构(2)相连通；第一泵组件...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈富军，戴巧云，
申请(专利权)人：昆山龙腾光电股份有限公司，
类型：新型
国别省市：