MOCVD尾气处理的安全检测预警控制系统及方法技术方案

本发明专利技术提供一种MOCVD尾气处理的安全检测预警控制系统及方法，系统包括MOCVD设备和尾气处理设备，MOCVD设备设有第一控制模块、第一报警模块和尾气输出开关模块，尾气处理设备设有第二控制模块、第二报警模块、显示模块和温度传感器，温度传感器设于尾气处理设备的进气结构处，第二控制模块与第一控制模块电连接。本发明专利技术在尾气处理设备的进气结构处设置温度传感器，实时监测尾气处理设备的进气结构处温度，在尾气处理设备的进气结构处温度达到设定的报警温度值时进行报警，同时向MOCVD设备反馈远程停机信号，使得MOCVD设备接收到远程停机信号时进行停机报警，关断尾气输出，实现实时监测、提前预警的功能，从而便于检修人员及时检修，消除安全隐患，避免事故发生。避免事故发生。避免事故发生。

【技术实现步骤摘要】
MOCVD尾气处理的安全检测预警控制系统及方法


[0001]本专利技术涉及尾气处理
，尤其涉及一种MOCVD尾气处理的安全检测预警控制系统及方法。

技术介绍

[0002]MOCVD（Metal
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organic Chemical Vapor Deposition，金属有机化合物化学气相沉淀）设备主要用于化合物半导体材料与器件的生长。MOCVD设备应用中会排放含有砷烷、磷烷等成分的尾气，而该类有害气体的排放需要符合相关排放政策的要求。因此，业内常采用砷磷烷尾气处理设备对MOCVD设备的尾气进行净化处理。在砷磷烷尾气处理设备首次安装或维保后，可能出现管道接口密封不严的情况，导致外部空气进入尾气处理设备，接着空气中的氧气与砷磷烷尾气产生化学反应导致内燃，且生产过程为氢气环境，若内燃持续发生，可能造成燃爆等危险事故。但是，目前的尾气处理设备中，在设备外部无法监测或判断内燃现象是否发生，存在较大安全隐患。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种MOCVD尾气处理的安全检测预警控制系统及方法，实时监测尾气处理设备进气结构处温度，并在温度达到报警温度值时进行报警和停机，提前进行危险报警和预处置，消除安全隐患。
[0004]为实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：一种MOCVD尾气处理的安全检测预警控制系统，包括MOCVD设备和尾气处理设备，所述MOCVD设备的尾气输出端与所述尾气处理设备的进气结构连接；所述MOCVD设备设有第一控制模块、第一报警模块和尾气输出开关模块，所述第一报警模块、所述尾气输出开关模块分别与所述第一控制模块电连接；所述尾气处理设备设有第二控制模块、第二报警模块、显示模块和温度传感器，所述温度传感器设于所述尾气处理设备的进气结构处，所述第二报警模块、所述显示模块、所述温度传感器分别与所述第二控制模块电连接，所述第二控制模块还与所述第一控制模块电连接。
[0005]所述温度传感器用于检测所述尾气处理设备的进气结构处温度并将实时温度数据发送给所述第二控制模块；所述显示模块用于显示所述尾气处理设备的工作状态参数以及所述尾气处理设备的进气结构处实时温度数据；所述第二控制模块用于将所述尾气处理设备的实时温度数据与设定的报警温度值进行对比，并在所述尾气处理设备的进气结构处温度达到所述报警温度值时控制所述第二报警模块发出报警提示信号，以及向所述第一控制模块反馈远程停机信号；所述第一控制模块用于在接收到所述远程停机信号时控制所述MOCVD设备停机，并控制所述第一报警模块发出报警提示信号，以及向所述尾气输送开关模块发出关断信号，以使所述MOCVD设备停止向所述尾气处理设备输送尾气。
[0006]进一步地，所述报警温度值包括高温报警温度值和超高温报警温度值，所述第二报警模块对应设有高温警示级报警模式和超高温危险级报警模式；所述第二控制模块用于
在所述尾气处理设备的进气结构处温度达到所述高温报警温度值时，控制所述第二报警模块进入高温警示级报警模式，使其发出高温警示级报警信号；以及在所述尾气处理设备的进气结构处温度达到所述超高温报警温度值时，控制所述第二报警模块进入所述超高温危险级报警模式，使其发出超高温危险级报警信号。
[0007]进一步地，所述温度传感器的检测点位于所述尾气处理设备的进气结构的内壁或外壁。
[0008]进一步地，所述温度传感器采用焊接、螺纹连接、粘贴或夹持方式设于所述尾气处理设备的进气结构处。
[0009]根据本专利技术的另一面，还提供一种MOCVD尾气处理的安全检测预警控制系统的安全检测预警控制方法，包括：所述温度传感器检测所述尾气处理设备的进气结构处温度，并将实时温度数据发送给所述第二控制模块；所述第二控制模块接收所述温度传感器发来的实时温度数据，控制所述显示模块显示所述尾气处理设备的工作状态参数以及该实时温度数据，并将该实时温度数据与设定的报警温度值对比；当所述尾气处理设备的进气结构处实时温度达到所述报警温度值时，所述第二控制模块控制所述第二报警模块发出报警提示信号，并向所述第一控制模块反馈远程停机信号；当所述第一控制模块接收到所述远程停机信号时，所述第一控制模块控制所述MOCVD设备停机，并控制所述第一报警模块发出报警提示信号，以及向所述尾气输送开关模块发出关断信号，以使所述MOCVD设备停止向所述尾气处理设备输送尾气。
[0010]进一步地，所述报警温度值包括高温报警温度值和超高温报警温度值，所述第二报警模块对应设有高温警示级报警模式和超高温危险报警模式；当所述尾气处理设备的进气结构处温度达到所述高温报警温度值时，所述第二控制模块控制所述第二报警模块进入高温警示级报警模式，所述第二报警模块发出高温警示级报警信号；当所述尾气处理设备的进气结构处温度达到所述超高温报警温度值时，所述第二控制模块控制所述第二报警模块进入所述超高温危险级报警模式，所述第二报警模块发出超高温危险级报警信号。
[0011]与现有技术相比，本专利技术的有益效果为：本专利技术在尾气处理设备的进气结构处设置温度传感器，实时监测尾气处理设备的进气结构处温度，在尾气处理设备的进气结构处温度达到设定的报警温度值时进行报警，同时向MOCVD设备反馈远程停机信号，使得MOCVD接收到远程停机信号时进行停机报警，关断尾气输出，实现实时监测、提前预警的功能，从而便于检修人员及时检修，排除故障，从而消除安全隐患，避免事故发生。
附图说明
[0012]图1为本专利技术一实施例的MOCVD尾气处理的安全检测预警控制系统的结构示意图。
[0013]图2为本专利技术一实施例的MOCVD尾气处理的安全检测预警控制系统中尾气处理设备的结构示意图。
[0014]图3为本专利技术一实施例的MOCVD尾气处理的安全检测预警控制系统的安全检测预警控制方法的流程图。
[0015]图中，10
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MOCVD设备，11
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第一控制模块，12
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第一报警模块，13
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尾气输出开关模块，20
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尾气处理设备，21
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第二控制模块，22
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第二报警模块，23
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显示模块，24
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温度传感器。
实施方式
[0016]为使对本专利技术的目的、构造、特征及其功能有进一步的了解，兹配合实施例详细说明如下。
[0017]请参见图1，图1为本专利技术一实施例的MOCVD尾气处理的安全检测预警控制系统的结构示意图，本专利技术的一种MOCVD尾气处理的安全检测预警控制系统，包括MOCVD设备和尾气处理设备，MOCVD设备的尾气输出端与尾气处理设备的进气结构连接，尾气处理设备用于对MOCVD设备输出的尾气进行净化处理。
[0018]具体地，MOCVD设备10设有第一控制模块11、第一报警模块12和尾气输出开关模块13，第一报警模块12、尾气输出开关模块13分别与第一控制模块11电连接。在第一控本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MOCVD尾气处理的安全检测预警控制系统，其特征在于：包括MOCVD设备和尾气处理设备，所述MOCVD设备的尾气输出端与所述尾气处理设备的进气结构连接；所述MOCVD设备设有第一控制模块、第一报警模块和尾气输出开关模块，所述第一报警模块、所述尾气输出开关模块分别与所述第一控制模块电连接；所述尾气处理设备设有第二控制模块、第二报警模块、显示模块和温度传感器，所述温度传感器设于所述尾气处理设备的进气结构处，所述第二报警模块、所述显示模块、所述温度传感器分别与所述第二控制模块电连接，所述第二控制模块还与所述第一控制模块电连接；所述温度传感器用于检测所述尾气处理设备的进气结构处温度并将实时温度数据发送给所述第二控制模块；所述显示模块用于显示所述尾气处理设备的工作状态参数以及所述尾气处理设备的进气结构处实时温度数据；所述第二控制模块用于将所述尾气处理设备的实时温度数据与设定的报警温度值进行对比，并在所述尾气处理设备的进气结构处温度达到所述报警温度值时控制所述第二报警模块发出报警提示信号，以及向所述第一控制模块反馈远程停机信号；所述第一控制模块用于在接收到所述远程停机信号时控制所述MOCVD设备停机，并控制所述第一报警模块发出报警提示信号，以及向所述尾气输送开关模块发出关断信号，以使所述MOCVD设备停止向所述尾气处理设备输送尾气。2.如权利要求1所述的MOCVD尾气处理的安全检测预警控制系统，其特征在于：所述报警温度值包括高温报警温度值和超高温报警温度值，所述第二报警模块对应设有高温警示级报警模式和超高温危险级报警模式；所述第二控制模块用于在所述尾气处理设备的进气结构处温度达到所述高温报警温度值时，控制所述第二报警模块进入高温警示级报警模式，使其发出高温警示级报警信号；以及在所述尾气处理设备的进气结构处温度达到所述超高温报警温度值时，控制所述第二报警模块进入所述超高温危险级报警模式，使其发出超高温危险级报警信号。3.如权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘云华，杨晨光，王浩浩，
申请(专利权)人：华思蓝半导体设备苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：