一种超表面结构及其制备方法技术

本申请公开一种超表面结构及其制备方法，本申请的制备方法采用热压法和热缩法相结合，包括：模板设计、热压、打磨、热缩、镀金。通过对模板的设计，在热压和热缩后，简单、高效的得到更高纵横比的超表面结构。更高纵横比的超表面结构。更高纵横比的超表面结构。

【技术实现步骤摘要】
一种超表面结构及其制备方法


[0001]本申请涉及超材料
，具体涉及一种超表面结构及其制备方法。

技术介绍

[0002]超表面是指一种厚度小于波长的人工层状材料，可视为超材料的二维对应。超表面可实现对电磁波偏振、振幅、相位、极化方式、传播模式等特性的灵活有效调控。
[0003]根据面内的结构形式，超表面可以分为两种:一种具有横向亚波长的微细结构，一种为均匀膜层。
[0004]根据调控的波的种类，超表面可分为光学超表面、声学超表面、机械超表面等。光学超表面是最常见的一种类型，它可以通过亚波长的微结构来调控电磁波的偏振、相位、振幅、频率等特性，是一种结合了光学与纳米科技的新兴技术。
[0005]高纵横比的超表面结构在微流路器件、红外光电探测器以及超表面吸收器等方面有着重要的应用前景。
[0006]目前，高纵横比的超表面结构通常采用离子体刻蚀或激光等方法制备。其中，等离子体刻蚀等工艺制备高纵横比的超表面结构，其原理是暴露在电子区域的气体形成等离子体，由此产生的电离气体和释放高能电子组成的气体，从而形成了等离子或离本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超表面结构的制备方法，其特征在于，采用热压法和热缩法相结合；包括：模板设计、热压、打磨、热缩、镀金。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述热压法和热缩法相结合包括：在模板材料上设计模板图案后，进行仿真测试；使用模板图案对基底材料进行热压，得到与模板图案相耦合的基底；对基底进行打磨抛光；将打磨后的基底进行热缩；使用离子束对热缩后的基底进行镀金，制得超表面结构。3.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述模板材料融化温度大于200℃；优选地，所述模板材料为镍或铬。4.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述基底材料为收缩型聚合物；优选地，所述聚合物选自：聚苯乙烯、聚乙烯、聚对苯二甲酸乙二醇酯、聚烯烃或聚氯乙烯。5.根据权利要求2所述的制备方法，其特征在于，所述热压温度为100
‑
120℃；热压压力为：5
‑
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【专利技术属性】
技术研发人员：尤睿，张峻豪，卞晓蒙，赵晓光，
申请(专利权)人：北京信息科技大学，
类型：发明
国别省市：