一种基于纳米光栅干涉式二维加速度传感装置制造方法及图纸

本发明专利技术属于加速度传感装置技术领域，具体涉及一种基于纳米光栅干涉式二维加速度传感装置，所述激光器包括第一激光器和第二激光器，所述分束镜设置在第一激光器和第二激光器的光路方向上，所述第一激光器经分束镜的反射光路上设置有第一金属反射结构，所述第二激光器经分束镜的反射光路上设置有第一光栅加速度计结构，所述第一激光器经分束镜的透射光路上设置有第二金属反射结构，所述第二激光器经分束镜的透射光路上设置有第二光栅加速度计结构。本发明专利技术利用纳米光栅衍射光强的变化来实现微位移测量，进而检测加速度的大小，使测量系统具有更高的灵敏度和分辨率。系统具有更高的灵敏度和分辨率。系统具有更高的灵敏度和分辨率。

【技术实现步骤摘要】
一种基于纳米光栅干涉式二维加速度传感装置


[0001]本专利技术属于加速度传感装置
，具体涉及一种基于纳米光栅干涉式二维加速度传感装置。

技术介绍

[0002]作为加速度、速度和位置测量的标度，加速度计不仅是惯性导航系统的关键部件，而且在汽车安全、地震监测、重力检测、航向指示、姿态测量等广泛应用中发挥着至关重要的作用。二十世纪八十年代以来，随着人们对更高性能和功能以及小型化需求的不断增加，MEMS加速度计凭借体积小、质量轻、集成度高且具有高灵敏度、低噪声等性能优势，已成为加速度计的热门发展方向之一，逐步成熟并广泛应用于军用战术导弹、惯性导航系统以及汽车、消费电子产品、医疗等民用领域。
[0003]从目前MEMS加速度计的发展来看，加速度计的发展主要分为两个方面，一方面是研制基于新原理/效应的加速度计以突破现有商用电容式加速度计的极限，另一方面是对现有加速度计进行改进，往更高性能、高精度的方向发展。可以预见在未来较长时间内，加速度计仍将会在中、高精度惯性导航等领域的应用中发挥重要作用，其未来发展趋势是在进一步微小型化的同时提高其性能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于纳米光栅干涉式二维加速度传感装置，其特征在于：包括激光器(1)、分束镜(2)、第一金属反射结构(3)、第二金属反射结构(5)、第一光栅加速度计结构(4)、第二光栅加速度计结构(6)，所述激光器(1)包括第一激光器(101)和第二激光器(102)，所述分束镜(2)设置在第一激光器(101)和第二激光器(102)的光路方向上，所述第一激光器(101)经分束镜(2)的反射光路上设置有第一金属反射结构(3)，所述第二激光器(102)经分束镜(2)的反射光路上设置有第一光栅加速度计结构(4)，所述第一激光器(101)经分束镜(2)的透射光路上设置有第二金属反射结构(5)，所述第二激光器(102)经分束镜(2)的透射光路上设置有第二光栅加速度计结构(6)。2.根据权利要求1所述的一种基于纳米光栅干涉式二维加速度传感装置，其特征在于：包括第一光电探测器(7)和第二光电探测器(8)，所述第一金属反射结构(3)的反射光路上设置有第一光电探测器(7)，所述第一光栅加速度计结构(4)的反射光路上设置有第二光电探测器(8)。3.根据权利要求2所述的一种基于纳米光栅干涉式二维加速度传感装置，其特征在于：所述分束镜(2)设置在第一金属反射结构(3)与第一光电探测器(7)之间，所述分束镜(2)设置在第一光栅加速度计结构(4)与第二光电探测器(8)之间。4.根据权利要求3所述的一种基于纳米光栅干涉式二维加速度传感装置，其特征在于：所述激光器(1)、分束镜(2)、第一金属反射结构(3)、第二金属反射结构(5)、第一光栅加速度计结构(4)、第二光栅加速度计结构(6)、第一光电探测器(7)和第二光电探测器(8)均设置在屏蔽外壳(9)内。5.根据权利要求1所述的一种基于纳米光栅干涉式二维加速度传感装置，其特征在于：所述分束镜(2)采用格兰棱镜。6.根据权利要求1所述的一种基于纳米光栅干涉式二维加速度传感装置，其特征在于：所述第一光栅加速度计结构(4)和第二光栅加速度计结构(6)均包括光栅(401)、反射镜(402)，所述反射镜(402)设置在光栅(401)的光路方向上。7.根据权利要求1
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6任一项所述的一种基于纳米光栅干涉式二维加速度传感装置的测量方法，其特征在于：包括下列步骤：S1、第一激光器发出的激光通过分束...

【专利技术属性】
技术研发人员：金丽，张晓玉，李孟委，王策，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：