移相器及其制备方法技术

技术编号：38750249 阅读：17 留言：0更新日期：2023-09-09 11:16

本申请提供了一种移相器及其制备方法，涉及微机电系统技术领域，移相器能降低水珠引发的粘附作用，进而提高产品性能，同时提升在潮湿环境中工作的可靠性。该移相器包括：基底；设置在基底一侧的第一走线和第二走线；第一走线相对的两侧分别设置第二走线，第一走线和第二走线平行设置、且相互绝缘；疏水导电部；疏水导电部与第一走线交叉设置、且相互绝缘；疏水导电部的至少一端与位于第一走线一侧的第二走线搭接、且相互绝缘；亲水部，亲水部在基底上的正投影与疏水导电部中未与第二走线交叠的部分在基底上的正投影沿第一方向的最小距离小于或者等于预设值，第一方向与第一走线的设置方向平行。方向平行。方向平行。方向平行。