本发明专利技术公开了一种获取准分子激光器的最优工作参数的装置，其特征在于，所述装置包括：控制模块，用于控制高压电源，气阀；所述高压电源，用于对电容进行充电；电容，用于对激光腔进行激励；所述气阀，用于控制激光腔内的气压；激光腔，用于在电容放电激励下产生激光；光强检测装置，用于检测所述激光的光强，将所述光强发送至控制模块；气压检测装置，用于检测激光腔内的气压，将所述气压发送至控制模块。通过所述装置自动化的获取准分子激光器的最优充电时间和气压，提高了调试的效率。提高了调试的效率。提高了调试的效率。
【技术实现步骤摘要】
获取准分子激光器的最优工作参数的装置及方法
[0001]本专利技术涉及准分子激光器
，特别涉及获取准分子激光器的最优工作参数的装置及方法。
技术介绍
[0002]准分子激光器在医疗、工业、科研等领域得到了广泛应用。准分子激光器的充电电压、工作气体压强是影响其稳定性的重要因素。充电时间直接控制充电电压，为保证出光稳定性，研究人员通常根据放电结果不断调整充电时间和气压，以慢慢找到合适的充电时间和气压使出光能量稳定性好，此外精准控制激光能量也需要获得充电时间与出光能量的关系。采用人工慢慢调试的方式需要耗费大量的时间，效率不高且记录、处理数据都增加了相当大的工作量。
[0003]获取最优的充电时间和工作气体气压是准分子激光器研发过程中一个重要的环节，采用人员不断试验的方式需要耗费大量资源。
技术实现思路
[0004]本专利技术提供一种获取准分子激光器的最优工作参数的装置及方法，通过所述装置自动化的获取准分子激光器的最优充电时间和气压，提高了调试的效率，解决了人工慢慢调试的方式需要耗费大量的时间，效率不高的技术问题。
[0005]根据本公开的一方面，提供了一种获取准分子激光器的最优工作参数的装置，所述装置包括：控制模块，用于控制高压电源，气阀；所述高压电源，用于对电容进行充电；电容，用于对激光腔进行激励；所述气阀，用于控制激光腔内的气压；激光腔，用于在电容放电激励下产生激光；光强检测装置，用于检测所述激光的光强，将所述光强发送至控制模块；气压检测装置，用于检测激光腔内的气压，将所述气压发送至控制模块。
[0006]在一种可能的实现方式中，所述控制模块用于控制所述高压电源对电容的充电时间，所述控制模块还用于控制所述气阀来控制激光腔内的气压。
[0007]在一种可能的实现方式中，所述控制模块还用于确定不同条件下激光腔的出光能量稳定性，其中，所述条件包括电容充电时间和/或激光腔气压。
[0008]在一种可能的实现方式中，控制模块通过如下方式确定激光腔的出光能量稳定性：设置电容充电时间和激光腔气压不变，记录每次电容充电放电过程激光器输出的光能，计算多次电容充电放电过程激光器输出的光能的均值及标准差，所述标准差与均值的比值作为出光能量稳定性。
[0009]在一种可能的实现方式中，所述控制模块还用于改变气压和/或充电时间，获取不同工作条件下的出光能量稳定性，光能量稳定性的值最小时对应的电容充电时间和气压作为准分子激光器的最优工作条件。
[0010]在一种可能的实现方式中，所述控制模块包括处理器和存储器，所述存储器与所述处理器连接，所述存储器用于存储充电时间数据，气压数据及光能量稳定性数据；所述存储器还用于存储计算机程序，所述处理器用于执行计算机程序。
[0011]根据本公开的一方面，提供了一种获取准分子激光器的最优工作参数的方法，所述方法应用于所述获取准分子激光器的最优工作参数的装置，所述方法包括：步骤一，激光腔内充入气压值为第一气压阈值的工作气体；步骤二，设置初始充电时间，设置相同的充电时间和气压条件下充放电次数；步骤三，记录当前充电时间和气体气压，检测并记录当前充电时间和气体气压条件下每次激光器发出激光的光强；步骤四，计算当前充电时间和当前气压条件下出光能量稳定性；步骤五，增加充电时间；步骤六，判断充电时间是否大于第一充电时间阈值，若是，则执行步骤七，若否，则执行步骤三；步骤七，降低气压，判断气压值是否小于第二气压阈值，若否，则执行步骤二，若是，则执行步骤八；步骤八，保存光能量稳定性的最小值及其对应的充电时间数据及气压数据。
[0012]在一种可能的实现方式中，所述步骤三之后还包括：判断所述光强是否小于第一光强阈值，若是，则执行步骤五，若否，则执行步骤四。
[0013]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：本公开实施例的获取准分子激光器的最优工作参数的装置，通过控制模块控制电容的充电时间以及激光腔内的气压，通过多次自动测试不同的充电时间以及激光腔气压条件下，激光腔的出光光强，确定激光腔的最优的出光性能下对应的充电时间及气压参数，及通过自动化测试的方式获取准分子激光器的最优工作参数（充电时间及气压）。这样，本公开实施例的获取准分子激光器的最优工作参数的装置提高了准分子激光器研发效率及调试的效率，解决了人工慢慢调试的方式需要耗费大量的时间，效率不高的技术问题。
附图说明
[0014]图1示出本公开一实施例的一种获取准分子激光器的最优工作参数的装置框图。
[0015]图2示出本公开一实施例的一种获取准分子激光器的最优工作参数的方法的流程图。
[0016]图3示出本公开一实施例的一种获取准分子激光器的最优工作参数的方法的流程图。
具体实施方式
[0017]以下将参考附图详细说明本公开的各种示例性实施例、特征和方面。附图中相同的附图标记表示功能相同或相似的元件。尽管在附图中示出了实施例的各种方面，但是除
非特别指出，不必按比例绘制附图。
[0018]在这里专用的词“示例性”意为“用作例子、实施例或说明性”。这里作为“示例性”所说明的任何实施例不必解释为优于或好于其它实施例。
[0019]另外，为了更好的说明本公开，在下文的具体实施方式中给出了众多的具体细节。本领域技术人员应当理解，没有某些具体细节，本公开同样可以实施。在一些实例中，对于本领域技术人员熟知的方法、手段、元件和电路未作详细描述，以便于凸显本公开的主旨。
[0020]图1示出本公开一实施例的一种获取准分子激光器的最优工作参数的装置框图，如图1所示，所述装置包括：控制模块，用于控制高压电源，气阀；例如，控制高压电源向电容充电的时间长短；所述高压电源，用于对电容进行充电；电容，用于对激光腔进行激励；所述气阀，用于控制激光腔内的气压，举例来说，通过控制气阀的打开或关闭的状态，释放激光腔内的气压，从而实现对激光腔内气压的控制；激光腔，用于在电容放电激励下产生激光，所述激光腔是准分子激光器中的重要器件。光强检测装置，用于检测所述激光的光强，将所述光强发送至控制模块；气压检测装置，用于检测激光腔内的气压，将所述气压发送至控制模块。
[0021]本公开实施例的获取准分子激光器的最优工作参数的装置，通过控制模块控制电容的充电时间以及激光腔内的气压，通过多次自动测试不同的充电时间以及激光腔气压条件下，激光腔的出光光强，确定激光腔的最优的出光性能下对应的充电时间及气压参数，及通过自动化测试的方式获取准分子激光器的最优工作参数（充电时间及气压）。这样，本公开实施例的获取准分子激光器的最优工作参数的装置提高了准分子激光器研发效率及调试的效率，解决了人工慢慢调试的方式需要耗费大量的时间，效率不高的技术问题。
[0022]在一种可能的实现方式中，所述控制模块包括处理器和存储器，所述存储器与所述处理器连接，所述存储器用于存储充电时间数据，气压数据及光能量稳定性数据；所述存储器还用于存储计算机程序，所述处理器用于执行计算机程序。
[0023]在一种可能的本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种获取准分子激光器的最优工作参数的装置，其特征在于，所述装置包括：控制模块，用于控制高压电源，气阀；所述高压电源，用于对电容进行充电；电容，用于对激光腔进行激励；所述气阀，用于控制激光腔内的气压；激光腔，用于在电容放电激励下产生激光；光强检测装置，用于检测所述激光的光强，将所述光强发送至控制模块；气压检测装置，用于检测激光腔内的气压，将所述气压发送至控制模块。2.根据权利要求1所述的获取准分子激光器的最优工作参数的装置，其特征在于，所述控制模块用于控制所述高压电源对电容的充电时间，所述控制模块还用于控制所述气阀来控制激光腔内的气压。3.根据权利要求2所述的获取准分子激光器的最优工作参数的装置，其特征在于，所述控制模块还用于确定不同条件下激光腔的出光能量稳定性，其中，所述条件包括电容充电时间和/或激光腔气压。4.根据权利要求3所述的获取准分子激光器的最优工作参数的装置，其特征在于，控制模块通过如下方式确定激光腔的出光能量稳定性：设置电容充电时间和激光腔气压不变，记录每次电容充电放电过程激光器输出的光能，计算多次电容充电放电过程激光器输出的光能的均值及标准差，所述标准差与均值的比值作为出光能量稳定性。5.根据权利要求4所述的获取准分子激光器的最优工作参数的装置，其特征在于，所述控制模块还用于改变气压和/或充电时间，获取不同工作条件下的出光能量稳定性，光能量稳定性的值最小时对...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴科科，张胜虎，
申请(专利权)人：安徽雷彻科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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