一种多波长超短脉冲锁模激光器制造技术

本发明专利技术实施例公开了一种多波长超短脉冲锁模激光器。多波长超短脉冲锁模激光器包括增益芯片和无源外腔芯片，增益芯片的N个输出端与无源外腔芯片的N个输入端一一对接耦合；增益芯片包括锁模激光器阵列，锁模激光器阵列包括N个锁模激光单元，锁模激光单元包括饱和吸收体区和增益区，N个饱和吸收体区和N个增益区在外部调制信号的驱动下锁模，输出N个波长的脉冲激光；无源外腔芯片包括N个输入端和1个输出端，N个波长的脉冲激光由无源外腔芯片的N个输入端耦入，在无源外腔芯片内传输并调制后，由无源外腔芯片的输出端输出；其中，N为大于或等于2的整数。本发明专利技术实施例提供的锁模激光器具有尺寸小、成本低、损耗低、激射阈值低的优点。点。点。

【技术实现步骤摘要】
一种多波长超短脉冲锁模激光器


[0001]本专利技术涉及激光器
，尤其涉及一种多波长超短脉冲锁模激光器。

技术介绍

[0002]现阶段无源光网络(PON)技术中的光源主要采用可调谐的分布反馈布拉格(DFB)半导体激光器，但采用的是DFB激光器阵列的形式，每个波长需要单独监控和调谐，系统维护复杂。
[0003]目前已经实现了高质量的单片集成多波长通道超短脉冲锁模激光器，可以代替PON中大量的单波长光源，能够大幅降低系统成本。然而，现有单片集成多波长超短脉冲锁模激光器中，有以下问题：首先，现有技术中所制造的InP基单片集成锁模激光器中，InP无源波导的损耗较大，且存在双光子吸收效应，会导致锁模器件的激射阈值较大；其次，InP基无源阵列波导光栅(AWG)器件弯曲半径较大，可达几百μm，导致器件整体尺寸较大。

技术实现思路

[0004]本专利技术实施例提供了一种多波长超短脉冲锁模激光器，该多波长超短脉冲锁模激光器利用双芯片混合集成，相比于单片集成的多波长锁模激光器，采用SOI无源外腔结构，无源波导损耗相比于InP基无源波导本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种多波长超短脉冲锁模激光器，其特征在于，包括增益芯片和无源外腔芯片，所述增益芯片的N个输出端与所述无源外腔芯片的N个输入端一一对接耦合；所述增益芯片包括锁模激光器阵列，所述锁模激光器阵列包括N个锁模激光单元，所述锁模激光单元包括饱和吸收体区和增益区，N个所述饱和吸收体区和N个所述增益区在外部调制信号的驱动下锁模，输出N个波长的脉冲激光；所述无源外腔芯片包括N个输入端和1个输出端，N个波长的所述脉冲激光由所述无源外腔芯片的N个输入端耦入，在所述无源外腔芯片内传输并调制后，由所述无源外腔芯片的输出端输出；其中，N为大于或等于2的整数。2.根据权利要求1所述的多波长超短脉冲锁模激光器，其特征在于，所述无源外腔芯片包括沿光束传输方向耦合连接的相位调制器、光延迟线、1
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N的阵列波导光栅和多模干涉仪；所述相位调制器和所述光延迟线与所述阵列波导光栅的输出波导维度相同，用于补偿N个通道不同波长所述脉冲激光由于色散效应导致的光程差；所述阵列波导光栅进行锁模激光器的腔内选模，同时对不同波长的增益光进行多路复用，将N路所述脉冲激光复用为一路脉冲光；所述多模干涉仪用于产生双重高斯型的场分布，提高不同波长所述脉冲激光的传输带宽。3.根据权利要求2所述的多波长超短脉冲锁模激光器，其特征在于，所述无源外腔芯片还包括设置于输出端的布拉格光栅反射镜，所述布拉格光栅反射镜在所述无源外腔芯片上构成F
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【专利技术属性】
技术研发人员：杜旭东，宫敏，吉晨，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：