本申请公开了一种全自动四维移动校准装置，包括X轴位移平台、Y轴位移平台、Z轴位移平台和用于安装基材的基材夹具，所述Y轴位移平台安装于所述X轴位移平台上，通过所述X轴位移平台驱动所述Y轴位移平台线性移动，所述Z轴位移平台安装于所述Y轴位移平台上，通过所述Y轴位移平台驱动所述Z轴位移平台线性移动，所述基材夹具安装于所述Z轴位移平台上。本申请通过X轴位移平台、Y轴位移平台、Z轴位移平台使基材实现自动化移动，使基材与探测光始终保持平行，并使基材尽可能靠近探测光，从而确保稳定的获取热信号的反馈峰值，本申请有实现了光热转换谱测试中基材自动化移动，简化了调试过程，提高了重复定位精度。提高了重复定位精度。提高了重复定位精度。
【技术实现步骤摘要】
一种全自动四维移动校准装置
[0001]本技术涉及光热转换谱测试领域，具体涉及一种全自动四维移动校准装置。
技术介绍
[0002]光热偏转谱是以单色激光为激发光源，基于光热效应进行分析检测的光谱分析技术。光热效应是由于可吸光物质吸收一强度随时间变化的光(能)束或其他能量束而被时变加热(即加热随时间而变化)时所引起的一系列效应，如光热折射率变化、表面形变等，由此建立了一系列相应的光热检测技术。而可吸光物质一般为半导体材料，其发热量与薄膜中能级缺陷态密切相关。半导体材料中的深能级是由晶体内部的局域不完整性引起。在化合物半导体中，人们对于晶体中的本征缺陷(如空位、反位、间隙原子及其络合物)引起的深能级非常重视。因为它们在晶体生长过程中容易生成，并且能够影响材料的电学性质(如载流子浓度、补偿度、迁移率和寿命)和光学性质(如发光或吸收)等。
[0003]因此，基于光热效应的光热偏转谱逐渐发展起来。如公开号为CN113109282A的中国专利文献公开了一种广波长覆盖的光热偏转光谱测试装置，公开号为CN115372291A的中国专利文献公开了一种高灵敏度的光热偏转光谱测试装置及校准方法。在光热偏转过程中，探测光与样品需要满足以下两点：(1)探测光与样品表面需要完全平行，才能获得热信号的反馈峰值；(2)在平行的前提下，探测光与样品表面需要尽可能靠近，才能获得最大的热信号。
[0004]因此，探测光与样品表面的平行度和距离非常关键。然而目前常规的测试装置中，通常是使用手动控制精密位移平台，获得测试信号，调试过程复杂及重复性差。
技术实现思路
[0005]本技术提供了一种全自动四维移动校准装置，用于解决目前光热转换谱测试中样品移动需要手动调节，导致调试过程复杂及重复性差的技术问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供了一种全自动四维移动校准装置，包括X轴位移平台、Y轴位移平台、Z轴位移平台和用于安装基材的基材夹具，所述Y轴位移平台安装于所述X轴位移平台上，通过所述X轴位移平台驱动所述Y轴位移平台线性移动，所述Z轴位移平台安装于所述Y轴位移平台上，通过所述Y轴位移平台驱动所述Z轴位移平台线性移动，所述基材夹具安装于所述Z轴位移平台上。
[0007]优选的，还包括角度位置平台，所述角度位置平台安装于所述Z轴位移平台上，通过所述Z轴位移平台上驱动所述角度位置平台线性移动，所述基材夹具安装于所述角度位置平台上，通过所述角度位置平台驱动所述基材夹具旋转。
[0008]优选的，所述X轴位移平台包括X轴驱动电机、第一安装座和第一运动平台，所述第一运动平台可移动地安装于所述第一安装座上，所述X轴驱动电机的转轴连接所述第一运动平台并驱动所述第一运动平台在所述第一安装座上线性移动。
[0009]优选的，所述Y轴位移平台包括Y轴驱动电机、第二安装座和第二运动平台，所述第
二安装座固定于所述第一运动平台上，所述第二运动平台可移动地安装于所述第二安装座上，所述Y轴驱动电机固定安装于所述第二安装座上，所述Y轴驱动电机的转轴连接所述第二运动平台并驱动所述第二运动平台在所述第二安装座上线性移动。
[0010]优选的，所述Z轴位移平台包括Z轴驱动电机、第三安装座和第三运动平台，所述第三安装座固定于所述第二运动平台上，所述第三运动平台可移动地安装于所述第三安装座上，所述Z轴驱动电机固定安装于所述第三安装座上，所述Z轴驱动电机的转轴连接所述第三运动平台并驱动所述第三运动平台在所述第三安装座上线性移动。
[0011]优选的，所述角度位置平台包括旋转电机和第四安装座，所述第四安装座固定安装于所述Z轴位移平台上，所述旋转电机固定安装于所述第四安装座上，所述旋转电机的转轴连接所述基材夹具，所述旋转电机用于驱动所述基材夹具旋转。
[0012]优选的，所述角度位置平台上还设有用于获取探测光与基材之间平行度和距离的扫描装置。
[0013]优选的，还包括固定底板，所述X轴位移平台安装于所述固定底板上。
[0014]优选的，还包括用于盛放热敏溶剂的比色皿，所述比色皿安装于所述固定底板上。
[0015]本技术具有以下有益效果：本技术的一种全自动四维移动校准装置，通过X轴位移平台、Y轴位移平台、Z轴位移平台使基材实现自动化移动，使基材与探测光始终保持平行，并使基材尽可能靠近探测光，从而确保稳定的获取热信号的反馈峰值，本技术有实现了光热转换谱测试中基材自动化移动，简化了调试过程，提高了重复定位精度。
[0016]除了上面所描述的目的、特征和优点之外，本技术还有其它的目的、特征和优点。下面将参照附图，对本技术作进一步详细的说明。
附图说明
[0017]构成本申请的一部分的附图用来提供对本技术的进一步理解，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中：
[0018]图1是本技术的全自动四维移动校准装置的结构示意图。
[0019]其中，附图标记如下：
[0020]1、固定底板；2、X轴位移平台；3、Y轴位移平台；4、Z轴位移平台；5、角度位置平台；6、基材夹具；7、基材；8、比色皿。
具体实施方式
[0021]以下结合附图对本技术的实施例进行详细说明，但是本技术可以由权利要求限定和覆盖的多种不同方式实施。
[0022]如图1所示，本实施例的全自动四维移动校准装置，包括X轴位移平台2、Y轴位移平台3、Z轴位移平台4和用于安装基材7的基材夹具6，Y轴位移平台3安装于X轴位移平台2上，通过X轴位移平台2驱动Y轴位移平台3线性移动，Z轴位移平台4安装于Y轴位移平台3上，通过Y轴位移平台3驱动Z轴位移平台4线性移动，基材夹具6安装于Z轴位移平台4上。
[0023]在本实施例中，X轴位移平台2驱动基材夹具6左右水平移动，Y轴位移平台3驱动基材夹具6前后水平移动，Z轴位移平台4驱动基材夹具6上下水平移动，由于基材7安装在基材
夹具6上，通过X轴位移平台2、Y轴位移平台3和Z轴位移平台4即可实现基材7全方位移动。
[0024]在本实施例的全自动四维移动校准装置中，还包括角度位置平台5，角度位置平台5安装于Z轴位移平台4上，通过Z轴位移平台4上驱动角度位置平台5线性移动，基材夹具6安装于角度位置平台5上，通过角度位置平台5驱动基材夹具6旋转，通过角度位置平台5使基材7在实现水平移动的同时还可以进行旋转，使基材7与探测光始终保持平行，并使基材7尽可能靠近探测光。
[0025]本实施例的全自动四维移动校准装置，还包括固定底板1，X轴位移平台2安装于固定底板1上，通过固定底板1使全自动四维移动校准装置实现一体化，更方便全自动四维移动校准装置整体移动。
[0026]在本实施例的全自动四维移动校准装置中，X轴位移平台2包括X轴驱动电机、第一安装座和第一运动平台，第一安装座固定于固定底板1上，第一运动平台可移动地安装于第一安装座上，X本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种全自动四维移动校准装置，其特征在于，包括X轴位移平台(2)、Y轴位移平台(3)、Z轴位移平台(4)和用于安装基材(7)的基材夹具(6)，所述Y轴位移平台(3)安装于所述X轴位移平台(2)上,通过所述X轴位移平台(2)驱动所述Y轴位移平台(3)线性移动，所述Z轴位移平台(4)安装于所述Y轴位移平台(3)上，通过所述Y轴位移平台(3)驱动所述Z轴位移平台(4)线性移动，所述基材夹具(6)安装于所述Z轴位移平台(4)上。2.根据权利要求1所述的一种全自动四维移动校准装置，其特征在于，还包括角度位置平台(5)，所述角度位置平台(5)安装于所述Z轴位移平台(4)上，通过所述Z轴位移平台(4)上驱动所述角度位置平台(5)线性移动，所述基材夹具(6)安装于所述角度位置平台(5)上，通过所述角度位置平台(5)驱动所述基材夹具(6)旋转。3.根据权利要求1所述的一种全自动四维移动校准装置，其特征在于，所述X轴位移平台(2)包括X轴驱动电机、第一安装座和第一运动平台，所述第一运动平台可移动地安装于所述第一安装座上，所述X轴驱动电机的转轴连接所述第一运动平台并驱动所述第一运动平台在所述第一安装座上线性移动。4.根据权利要求3所述的一种全自动四维移动校准装置，其特征在于，所述Y轴位移平台(3)包括Y轴驱动电机、第二安装座和第二运动平台，所述第二安装座固定于所述第一运动平台上，所述第二运动平台可移动地安装于所述第二安装座上...
【专利技术属性】
技术研发人员：童思超，张楚俊，张涛，
申请(专利权)人：湖南纳昇电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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