具有活塞模式设计和静电放电保护的声表面波谐振器制造技术

本公开的某些方面提供了一种具有活塞模式设计和静电放电(ESD)保护的声表面波(SAW)谐振器。一种示例电声器件通常包括压电材料和设置在压电材料上方的第一电极结构。第一电极结构包括被布置在具有第一区域和第二区域的有源区域内的第一电极指。第一电极指中的至少一个第一电极指在第一区域中具有与在第二区域中相比不同的宽度或不同的高度中的至少一者，并且第一电极指包括在第二区域中的宽度或高度小于第一电极指中的至少一个第一电极指在第二区域中的对应宽度或高度的第一电极指。在第二区域中的对应宽度或高度的第一电极指。在第二区域中的对应宽度或高度的第一电极指。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有活塞模式设计和静电放电保护的声表面波谐振器


[0001]本公开的各方面涉及电子设备，并且更具体地涉及具有活塞模式设计和静电放电(ESD)保护的声表面波(SAW)谐振器。

技术介绍

[0002]电子设备包括传统计算设备，诸如台式电脑、笔记本电脑、平板电脑、智能手机、如智能手表等可穿戴设备、互联网服务器等。这些各种电子设备为人类用户提供信息、娱乐、社交、保密性、安全性、生产力、运输、制造和其他服务。这些各种电子设备的很多功能都依赖于无线通信。无线通信系统和设备被广泛部署以提供各种类型的通信内容，诸如语音、视频、分组数据、消息传递、广播等。无线通信设备可以经由各种合适的无线电接入技术(RAT)中的任何一种来传输和/或接收射频(RF)信号，包括但不限于5G新无线电(NR)，长期演进(LTE)、码分多址(CDMA)、时分多址(TDMA)、宽带CDMA(WCDMA)、全球移动系统(GSM)、Bluetooth、Bluetooth低能耗(BLE)、ZigBee、无线局域网(WLAN)RAT(例如，IEEE 802.11)等。
[0003]这些电子设备中使用的无线通信收发器通常包括多个射频(RF)滤波器，这些RF滤波器用于对特定频率或频率范围的信号进行滤波。电声器件(例如，“声学滤波器”)在很多应用中用于对高频(例如，通常大于500MHz)信号进行滤波。通过使用压电材料作为振动介质，声学谐振器通过将沿着电导体传播的电信号波变换为经由压电材料传播的声波来操作。声波以大小明显小于电磁波的传播速度的大小的速度传播。通常，波的传播速度的大小与波的波长的大小成比例。因此，在将电信号转换为声信号之后，声信号波的波长明显小于电信号波的波长。所得到的声学信号的较小波长使得能够使用较小的滤波器器件来执行滤波。这允许在具有尺寸限制的电子设备中使用声谐振器，诸如上面列举的电子设备(例如，特别地包括便携式电子设备，诸如蜂窝电话)。
[0004]随着无线通信中使用的频带数目的增加和滤波器的期望频带的拓宽，声学滤波器的性能对于减少电阻损耗、增加带外信号的衰减和提高电子设备的整体性能变得越来越重要。因此，具有改进性能的声学滤波器受到追捧。

技术实现思路

[0005]本公开的系统、方法和设备每个有若干方面，其中没有一个方面单独负责其期望属性。在不限制如以下权利要求所表达的本公开的范围的情况下，现在将简要讨论一些特征。在考虑了这一讨论之后，特别是在阅读了题为“具体实施方式”的部分之后，人们将能够理解本公开的特征如何提供包括具有期望静电放电(ESD)强度的电声器件的优点。
[0006]本公开的某些方面可以在一种电声器件中实现。该电声器件通常包括压电材料和被设置在压电材料上方的第一电极结构。第一电极结构包括被布置在具有第一区域和第二区域的有源区域内的多个第一电极指。多个第一电极指中的至少一个第一电极指在第一区域中具有与在第二区域中相比不同的宽度或不同的高度中的至少一者，并且多个第一电极
指包括在第一区域和第二区域中具有相同厚度的第一电极指。
[0007]本公开的某些方面可以在一种电声器件中实现。该电声器件通常包括压电材料、第一叉指状电极结构和第二叉指状电极结构。第一叉指状电极结构被设置在压电材料上方。第一电极结构包括被布置在具有第一区域和第二区域的有源区域内的多个第一电极指。多个第一电极指中的至少一个第一电极指在第一区域中具有与在第二区域中相比不同的宽度或不同的高度中的至少一者，并且多个第一电极指包括如下第一电极指，该第一电极指在第二区域中的宽度或高度小于多个第一电极指中的至少一个第一电极指在第二区域中的对应宽度或高度。第二叉指状电极结构被设置在压电材料上方并且与第一电极结构相邻地被设置。第二电极结构包括被布置在有源区域内的多个第二电极指。多个第二电极指中的至少一个第二电极指在第一区域中具有与在第二区域中相比不同的宽度或不同的高度中的至少一者，并且多个第二电极指包括与第一电极结构的第一电极指相邻地被设置的第二电极指。
[0008]本公开的某些方面可以作为一种制造电声器件的方法来实现。该方法通常包括在压电材料上方形成第一电极结构，其中形成第一电极结构包括形成被布置在具有第一区域和第二区域的有源区域内的多个第一电极指。形成多个第一电极指包括形成在第一区域中具有与在第二区域中相比不同的宽度或不同的高度中的至少一者的多个第一电极指中的至少一个第一电极指，以及形成在第二区域中的宽度或高度小于多个第一电极指中的至少一个第一电极指在第二区域中的对应宽度或高度的第一电极指。
[0009]为了实现上述和相关目的，一个或多个方面包括以下权利要求中充分描述和特别指出的特征。以下描述和附图详细阐述了一个或多个方面的某些说明性特征。然而，这些特征仅指示可以采用各个方面的原理的各种方式中的一些方式。
附图说明
[0010]为了详细理解本公开的上述特征，可以通过参考各方面来进行更具体的描述，如上文简要总结的，其中的一些方面在附图中示出。然而，应当注意，附图仅示出了本公开的某些典型方面，并且因此不应当被认为是对其范围的限制，因为说明书可以承认其他同样有效的方面。
[0011]图1A是概念性地示出根据本公开的某些方面的示例电声器件的图。
[0012]图1B是示出根据本公开的某些方面的图1A的示例电声器件的横截面的图。
[0013]图2A是示出根据本公开的某些方面的具有没有活塞模式锤头的特定电极指的示例电声器件的图。
[0014]图2B是示出根据本公开的某些方面的图2A的示例电声器件的横截面的图。
[0015]图3是示出根据本公开的某些方面的示例电声器件的各种过渡区域的曲线图，其中电极指可以被配置为没有活塞模式锤头。
[0016]图4A和图4B是示出根据本公开的某些方面的具有没有活塞模式锤头的特定电极指的示例电声器件的部分的图。
[0017]图5A
‑
图5F是根据本公开的某些方面的示例过渡区域的图，其中电极指具有各种活塞模式波导布置。
[0018]图6是示出根据本公开的某些方面的具有没有活塞模式锤头的特定电极指的另一
示例电声器件的图。
[0019]图7是根据本公开的某些方面的可以包括图2A、图4A或图6的电声器件的示例电声滤波器电路的示意图。
[0020]图8是示出根据本公开的某些方面的用于制造电声器件的示例操作的流程图。
[0021]图9是根据本公开的某些方面的可以在其中采用图7的电声滤波器的示例收发器的图。
[0022]图10是根据本公开的某些方面的无线通信网络的图，该无线通信网络包括具有诸如图9的收发器等收发器的无线通信设备。
[0023]为了便于理解，在可能的情况下，使用相同的附图标记来表示附图中常见的相同元素。可以设想，在一个方面公开的元素可以有益地用于其他方面而无需具体阐述。
具体实施方式
[0024]本公开的各方面提供了一种具有静电放电(ESD)保护的具有活塞模式的电声器件。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种电声器件，包括：压电材料；以及第一电极结构，被设置在所述压电材料上方，所述第一电极结构包括被布置在有源区域内的多个第一电极指，所述有源区域具有第一区域和第二区域，其中：所述多个第一电极指中的至少一个第一电极指在所述第一区域中具有与在所述第二区域中相比不同的宽度或不同的高度中的至少一者；并且所述多个第一电极指包括如下第一电极指，该第一电极指在所述第二区域中的宽度或高度小于所述多个第一电极指中的所述至少一个第一电极指在所述第二区域中的对应宽度或高度。2.根据权利要求1所述的电声器件，其中所述多个第一电极指中的所述至少一个第一电极指是所述多个第一电极指中的大多数。3.根据权利要求1所述的电声器件，其中所述多个第一电极指以叉指状方式被布置。4.根据权利要求3所述的电声器件，还包括第二电极结构，所述第二电极结构被设置在所述压电材料上方并且与所述第一电极结构相邻地被设置，所述第二电极结构包括布置在所述有源区域内的多个第二电极指，其中：所述多个第二电极指中的至少一个第二电极指在所述第一区域中具有与在所述第二区域中相比不同的宽度或不同的高度中的至少一者；并且所述多个第二电极指包括与所述第一电极结构的所述第一电极指相邻地被设置的第二电极指。5.根据权利要求4所述的电声器件，其中所述第二电极指在所述第二区域中的宽度或高度小于所述多个第二电极指中的所述至少一个第二电极指在所述第二区域中的对应宽度或高度。6.根据权利要求4所述的电声器件，其中所述第一电极指耦合到被配置为具有第一电压的第一节点，其中所述第二电极指耦合到被配置为具有第二电压的第二节点，并且其中所述第一电压不同于所述第二电压。7.根据权利要求6所述的电声器件，其中所述多个第一电极指包括第三电极指，所述第三电极指与所述第一电极指相邻地被布置并且耦合到被配置为具有参考电压的第三节点，并且其中所述参考电压不同于所述第一电压和所述第二电压。8.根据权利要求4所述的电声器件，其中：所述多个第一电极指具有在所述多个第一电极指之间的第一间隔；所述多个第二电极指具有在所述多个第二电极指之间的第二间隔；并且所述第一电极指与所述第二电极指以不同于所述第一间隔和所述第二间隔的第三间隔被间隔开。9.根据权利要求8所述的电声器件，其中所述第三间隔小于所述第一间隔或所述第二间隔中的至少一者。10.根据权利要求4所述的电声器件，其中所述第二电极结构是反射器光栅。11.根据权利要求4所述的电声器件，其中所述多个第二电极指以叉指状方式被布置。12.根据权利要求1所述的电声器件，其中所述多个第一电极指中的所述至少一个第一电极指在所述第二区域中具有与在所述第一区域中相比更大的宽度和更大的高度。
13.根据权利要求4所述的电声器件，其中以下中的至少一项：所述多个第一电极指中的大多数在所述第二区域中具有与在所述第一区域中相比更大的宽度和更大的高度；或者所述多个第二电极指中的大多数在所述第二区域中具有与在所述第一区域中相比更大的宽度和更大的高度。14.根据权利要求3所述的电声器件，其中所述电声器件是声表面波谐振器。15.根据权利要求4所述的电声器件，其中：所述有源区域包括第三区域；所述第一区域被设置在所述第二区域与所述第三区域之间；所述多个第一电极指中的所述至少一个第一电极指在所述第一区域中具有与在所述第三区域中相比不同的宽度或不同的高度中的至少一者；并且所述多个第二电极指中的所述至少一个第二电极指在所述第一区域中具有与在所述第三区域中相比不同的宽度或不同的高度中的至少一者。16.根据权利要求15所述的电声器件，其中所述多个第一电极指中的大多数在所述第二区域和所述第三区域中具有与在所述第一区域中相比更大的宽度和更大的高度，使得所述第一电极结构包括活塞模式电极结构。17.根据权利要求15所述的电声器件，其中：所述第一电极指在所述第二区域和所述第三区域中的宽度或高度小于所述多个第一电极指中的所述至少一个第一电极指在所述第二区域和所述第三区域中的对应宽度或高度；并且所述第二电极指在所述第一区域中具有与在所述第二区域和所述第三区域中相比不同的宽度或不同的高度中的至少一者。18.根据权利要求15所述的电声器件，其中：所述第一电极指在所述第二区域中的宽度或高度小于所述多个第一电极指中的所述至少一个第一电极指在所述第二区域中的对应宽度或高度，并且所述第一电极指在所述第一区域中具有与在所述第三区域中相比不同的宽度或高度；并且所述第二电极指在所述第三区域中的宽度或高度小于所述多个第二电极指中的所述至少一个第二电极指在所述第三区域中的对应宽度或高度，并且所述第二电极指在所述第一区域中具有与在所述第二区域中相比不同的宽度和高度。19.根据权利要求15所述的电声器件，其中：所述第一电极指在所述第二区域和所述第三区域中的宽度或高度小于所述多个第一电极指中的所述至少一个第一电极指在所述第二区域和所述第三区域中的对应宽度或高度；并且所述第二电极...

【专利技术属性】
技术研发人员：V，
申请(专利权)人：RF三六零新加坡私人有限公司，
类型：发明
国别省市：