【技术实现步骤摘要】
一种采用活动支撑的微镜结构及制造方法
[0001]本专利技术涉及微机电系统(MEMS)
，尤其涉及一种采用活动支撑的微镜结构及制造方法。
技术介绍
[0002]MEMS微镜是MEMS产品中的一个热点产品，其应用广泛，包括光通讯、3D相机、投影仪等。尤其在近些年，MEMS微镜已成为车载车载激光雷达中的重要部件，且随着自动驾驶技术的发展，对MEMS微镜的市场需求越来越大，对其技术也提出了更高的要求。
[0003]MEMS微镜的支撑结构一般采用双端固定支撑扭臂(Hinge)的结构形式，且一般使用静电驱动模式，驱动微镜围绕扭臂进行旋转，实现对微镜偏转角度的控制。然而，由于扭臂的两端是固定支撑在支撑柱上的，在采用静电驱动器驱动微镜镜面发生偏转的时候，需要克服扭臂结构的刚度，这导致微镜的吸合电压较高，使得器件的工作电压较高。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种采用活动支撑的微镜结构及制造方法。
[0005]为实现上述目的，本专利技术的技术方案如下：
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种采用活动支撑的微镜结构，其特征在于，包括：设于衬底上的微桥结构，所述微桥结构包括支撑及电连接柱，和活动支撑于所述支撑及电连接柱上的微桥桥面；所述微桥桥面上设有微镜镜面，所述微镜镜面与所述支撑及电连接柱之间形成电连接，所述支撑及电连接柱电连接所述衬底，所述微镜镜面受驱动时，带动所述微桥桥面在所述支撑及电连接柱上绕活动支撑处偏转。2.根据权利要求1所述的采用活动支撑的微镜结构，其特征在于，所述支撑及电连接柱为两个，所述支撑及电连接柱上设有导电轴套，所述微桥桥面连接在导电扭臂的侧面上，所述扭臂通过两端穿设于两个所述支撑及电连接柱的所述轴套中形成活动支撑配合，所述微镜镜面通过所述扭臂、所述轴套和所述支撑及电连接柱电连接所述衬底。3.根据权利要求2所述的采用活动支撑的微镜结构，其特征在于，所述微桥桥面包括第一子微桥桥面和第二子微桥桥面，所述第一子微桥桥面和所述第二子微桥桥面共面设置，并分别连接在所述扭臂的两侧上，所述第一子微桥桥面上设有第一子微镜镜面，所述第二子微桥桥面上设有第二子微镜镜面。4.根据权利要求3所述的采用活动支撑的微镜结构，其特征在于，所述第一子微镜镜面和所述第二子微镜镜面下方的所述衬底上对应设有寻址电极。5.根据权利要求2所述的采用活动支撑的微镜结构，其特征在于，所述扭臂的两端上设有支撑部，所述轴套上设有轴孔，所述扭臂的两端通过所述支撑部支撑在所述轴孔的底部上，所述微镜镜面受驱动时，带动所述微桥桥面作以所述支撑部为支点的偏转。6.根据权利要求1所述的采用活动支撑的微镜结构，其特征在于，所述支撑部具有矩形、锥形或弧形截面。7.根据权利要求1所述的采用活动支撑的微镜结构，其特征在于，所述支撑及电连接柱形成于沟槽中，所述沟槽设于牺牲层中，所述牺牲层位于所述衬底与所述微桥桥面之间，所述支撑及电连接柱包括形成于所述沟槽的部分侧壁表面上的导电体和位于所述导电体内侧的支撑体，所述微桥桥面活动支撑于所述支撑体和所述导电体上，所述微镜镜面通过所述导电体电连接所述衬底，所述微桥结构通过去除所述牺牲层得以释放；其中，所述微镜结构在所述衬底上按行列方式排列形成阵列，位于同行或同列的任意两个相邻的所述微镜结构之间共用同一个所述支撑及电连接柱，或者，位于同行或同列的任意两个相邻的所述微镜结构的各自一个所述支撑及电连接柱相靠近设置，并形成于同一个所述沟槽的相对侧的侧壁上。8.一种采用活动支撑的微镜结构制造方法，其特征在于，包括：提供衬底；在所述衬底上形成牺牲层，在所述牺牲层中形成位于所述衬底上的两个支撑及电连接柱，和位于每个所述支撑及电连接柱上的导电轴套，以及通过两端并保持间距地穿设于两个所述轴套中的导电扭臂，和连接在所述扭臂侧面上的微镜镜面；去除所述牺牲层，使所述扭臂及其连接的所述微镜镜...
【专利技术属性】
技术研发人员：程正喜，徐鹤靓，陈永平，马斌，
申请(专利权)人：中国科学院上海技术物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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