离子源的阳极结构制造技术

本实用新型专利技术揭示了一种离子源的阳极结构，其包括阳极部、进水部、出水部、分隔部以及盖板部；阳极部设有阳极放电室以及主体，阳极放电室贯穿设于主体的中心位置，主体的内壁套设于阳极放电室外，且主体的内壁与阳极放电室的外壁之间具有间隔空间。进水部包括进水孔以及第一调节孔，进水孔分别与第一调节孔以及间隔空间连通。并与进水部相邻，出水部包括出水孔以及第二调节孔，出水孔分别与第二调节孔以及间隔空间连通。分隔部设于间隔空间内，且位于进水孔与出水孔之间的位置。盖板部覆设于间隔空间。进水孔、间隔空间、出水孔以及盖板部配合形成了冷却水道。本申请结构简单，简化了生产制造的步骤，还使得阳极离子源结构紧凑，体积小。体积小。体积小。

【技术实现步骤摘要】
离子源的阳极结构


[0001]本技术涉及离子源
，具体地，涉及一种离子源的阳极结构。

技术介绍

[0002]离子源是一门用途广，类型多、涉及科学多、工艺技术性强、发展十分迅速的应用科学技术。霍尔离子源是阳极在一个强轴向磁场的协作下将工艺气体等离子化，等离子化后的气体通过阳极的加速，将气体离子分离并形成离子束。
[0003]霍尔离子源作为一种十分常用的离子源类型，多应用于薄膜沉积领域，作为沉积辅助部件，提高薄膜物理特性，随着薄膜材料和表面处理技术的发展，人们对离子源的应用需求不断提高，阳极离子源技术也得到了快速的发展。在现有的线性阳极离子源中，其水冷系统采用的是在阳极内部埋设6mm
‑
8mm直径的空心管，通过向空心管内提供大流量的循环冷却水对阳极进行间接冷却，但是这种水冷系统不仅制造复杂，而且对阳极的冷却效果并不好。

技术实现思路

[0004]针对现有技术的不足，本技术提供一种离子源的阳极结构。
[0005]本技术公开的一种离子源的阳极结构包括：
[0006]阳极部，其设有阳极放电室以及主体，阳极放电室贯穿设于主体的中心位置，主体的内壁套设于阳极放电室外，且主体的内壁与阳极放电室的外壁之间具有间隔空间；
[0007]进水部，其与主体的外壁连接，进水部包括进水孔以及第一调节孔，进水孔分别与第一调节孔以及间隔空间连通；
[0008]出水部，其与主体的外壁连接，并与进水部相邻，出水部包括出水孔以及第二调节孔，出水孔分别与第二调节孔以及间隔空间连通；<br/>[0009]分隔部，其设于间隔空间内，且位于进水孔与出水孔之间的位置
[0010]盖板部，其覆设于间隔空间；
[0011]进水孔、间隔空间、出水孔以及盖板部配合形成了冷却水道。
[0012]根据本技术一实施方式，间隔空间底部设有第一连接孔，分隔部内设有第二连接孔，第一连接孔与第二连接孔连通。
[0013]根据本技术一实施方式，阳极部还包括安装槽，安装槽设于间隔空间上，且安装槽与间隔空间连通；盖板部包括第一盖板以及第二盖板，第二盖板与第一盖板的底部连接，第一盖板设于安装槽内，第二盖板设于间隔空间内。
[0014]根据本技术一实施方式，第一盖板的宽度大于第二盖板的宽度。
[0015]根据本技术一实施方式，进水部为圆柱，进水孔沿进水部的直径方向设置，第一调节孔沿进水部的轴向设置。
[0016]根据本技术一实施方式，出水部为圆柱，出水孔沿出水部的直径方向设置，第二调节孔沿出水部的轴向设置。
[0017]根据本技术一实施方式，阳极部的纵截面为圆形。
[0018]根据本技术一实施方式，阳极部还包括多个安装孔，多个安装孔分设于阳极部的边缘。
[0019]本申请的有益效果在于：冷却水道是由进水孔、间隔空间、出水孔以及盖板部配合形成，结构简单，使得阳极离子源在制造过程中无需埋设空心管，简化了生产制造的步骤的同时，还使得阳极离子源结构紧凑，体积小，且通过设置分隔部将间隔空间分开，使得冷却水进入自进水孔进入冷却水道后，不会直接由出水孔流出，而是沿着冷却水道流动一圈后再通过出水孔流出，保证了阳极离子源的冷却效果。
附图说明
[0020]此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
[0021]图1为实施例中离子源的阳极结构的结构示意图；
[0022]图2为实施例中离子源的阳极结构的爆炸图；
[0023]图3为实施例中离子源的阳极结构的剖视图；
[0024]图4为实施例中离子源的阳极结构另一角度的剖视图。
具体实施方式
[0025]以下将以图式揭露本技术的多个实施方式，为明确说明起见，许多实务上的细节将在以下叙述中一并说明。然而，应了解到，这些实务上的细节不应用以限制本技术。也就是说，在本技术的部分实施方式中，这些实务上的细节是非必要的。此外，为简化图式起见，一些习知惯用的结构与组件在图式中将以简单的示意的方式绘示之。
[0026]需要说明，本技术实施例中所有方向性指示诸如上、下、左、右、前、后
……
仅用于解释在某一特定姿态如附图所示下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0027]另外，在本技术中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，并非特别指称次序或顺位的意思，亦非用以限定本技术，其仅仅是为了区别以相同技术用语描述的组件或操作而已，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。
[0028]为能进一步了解本技术的
技术实现思路
、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下：
[0029]参照图1
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图3，图1为实施例中离子源的阳极结构的结构示意图，图2为实施例中离子源的阳极结构的爆炸图，图3为实施例中离子源的阳极结构的剖视图。本实施例中的离子源的阳极结构包括阳极部1、进水部2、出水部3、分隔部4以及盖板部5；阳极部1设有阳极放电室11以及主体15，阳极放电室11贯穿设于主体15的中心位置，主体15的内壁套设于阳极放电室外，且主体15的内壁与阳极放电室11的外壁之间具有间隔空间12。进水部2与主体15
的外壁连接，进水部2包括进水孔21以及第一调节孔22，进水孔21分别与第一调节孔22以及间隔空间12连通。出水部3与主体15的外壁连接，并与进水部2相邻，出水部3包括出水孔31以及第二调节孔32，出水孔31分别与第二调节孔32以及间隔空间12连通。分隔部4设于间隔空间12内，且位于进水孔21与出水孔31之间的位置。盖板部5覆设于间隔空间12。进水孔21、间隔空间12、出水孔31以及盖板部5配合形成了冷却水道6。
[0030]冷却水道6是由进水孔21、间隔空间12、出水孔31以及盖板部5配合形成，结构简单，使得阳极离子源在制造过程中无需埋设空心管，简化了生产制造的步骤的同时，还使得阳极离子源结构紧凑，体积小。
[0031]参照图1
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图4，图4为实施例中离子源的阳极结构另一角度的剖视图。间隔空间12底部设有第一连接孔121，分隔部4内设有第二连接孔41，第一连接孔121与第二连接孔41连通。通过设置第一连接孔121和第二连接孔41，使得可以借助螺丝等连接工具将分隔部4固定连接在间隔空间12底部。通过设置分隔部4将间隔空间12分开，使得冷却水进入自进水孔21进入冷本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种离子源的阳极结构，其特征在于，包括：阳极部(1)，其设有阳极放电室(11)以及主体(15)，所述阳极放电室(11)贯穿设于所述主体(15)的中心位置，所述主体(15)的内壁套设于所述阳极放电室外，且所述主体(15)的内壁与所述阳极放电室(11)的外壁之间具有间隔空间(12)；进水部(2)，其与所述主体(15)的外壁连接，所述进水部(2)包括进水孔(21)以及第一调节孔(22)，所述进水孔(21)分别与所述第一调节孔(22)以及所述间隔空间(12)连通；出水部(3)，其与所述主体(15)的外壁连接，并与所述进水部(2)相邻，所述出水部(3)包括出水孔(31)以及第二调节孔(32)，所述出水孔(31)分别与所述第二调节孔(32)以及所述间隔空间(12)连通；分隔部(4)，其设于所述间隔空间(12)内，且位于所述进水孔(21)与所述出水孔(31)之间的位置盖板部(5)，其覆设于所述间隔空间(12)；所述进水孔(21)、所述间隔空间(12)、所述出水孔(31)以及所述盖板部(5)配合形成了冷却水道(6)。2.根据权利要求1所述的离子源的阳极结构，其特征在于，所述间隔空间(12)底部设有第一连接孔(121)，所述分隔部(4)内设有第二连接孔(41)，所述第一连接孔(121)与所述第二连接孔(41)连通。3.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：苗丁，
申请(专利权)人：惠州市奥普康真空科技有限公司，
类型：新型
国别省市：