基板检测装置、基板处理装置及基板检测方法制造方法及图纸

提供一种用户能够容易识别异常种类的基板检测装置、基板处理装置及基板检测方法。基板检测装置(102)具备照明部(60)、摄像头(50)、报知部(70)和控制部(103)。照明部(60)向包含插入于多个保持槽中的多个基板(W)在内的拍摄区域照射照明光，多个保持槽包含于基板保持部并沿着规定的排列方向排列。摄像头(50)对拍摄区域进行拍摄而生成拍摄图像数据。控制部(103)进行检测处理，即基于拍摄图像数据检测多个基板(W)中的某一个基板(W)斜着插入的斜插异常、以及在多个保持槽中的某一个保持槽中插入了两个以上基板(W)的多插异常中的至少某一方，并使报知部(70)报知所检测出的异常。并使报知部(70)报知所检测出的异常。并使报知部(70)报知所检测出的异常。

【技术实现步骤摘要】
基板检测装置、基板处理装置及基板检测方法


[0001]本专利技术涉及基板检测装置、基板处理装置及基板检测方法。

技术介绍

[0002]以往，提出有一种将多个基板浸渍于处理液并对多个基板一并执行处理的成批式(批量式)的基板处理装置(例如专利文献1、2)。专利文献1、2的基板处理装置包括一并搬送多个基板的搬送装置和收取由搬送装置搬送的多个基板并使其浸渍到处理槽中的引导部(升降机)。另外，在该基板处理装置中，设有对由搬送装置保持的多个基板进行拍摄的摄像头。基板处理装置基于来自摄像头的拍摄图像来判断搬送装置中有无基板的脱落。
[0003]现有技术文献
[0004]专利文献
[0005]专利文献1：日本特开2000
‑
100904号公报
[0006]专利文献2：日本特开2009
‑
32832号公报

技术实现思路

[0007]然而，在保持多个基板的装置中，关于保持状态的异常不仅仅为基板的脱落。例如，也存在产生在原本应该插入一片基板的部位(可称为插槽)重叠插入多个基板的多插异常的情况，或者也存在产生基板的姿势倾斜的斜插异常的情况。
[0008]用户为了确认这样的异常的种类而必须确认实际的装置，从而耗费工夫。
[0009]因此，本专利技术的目的在于提供一种用户能够容易地识别异常种类的技术。
[0010]第1方案为一种基板检测装置，具备：照明部，其向包含插入于多个保持槽中的多个基板在内的拍摄区域照射照明光，其中上述多个保持槽包含于基板保持部并沿着规定的排列方向排列；摄像头，其对上述拍摄区域进行拍摄并生成拍摄图像数据；报知部；以及控制部，其进行基于上述拍摄图像数据检测如下异常的检测处理，并使上述报知部报知所检测出的异常，其中，上述异常为，上述多个基板中的某一个基板斜着插入的斜插异常、以及在上述多个保持槽中的某一个保持槽中插入了两个以上基板的多插异常中的至少某一方。
[0011]第2方案为，在第1方案的基板检测装置中，上述控制部作为上述检测处理而进行以下处理：在上述拍摄图像数据中的表示在上述多个基板的侧面处的反射光的多个光点区域中的某一个光点区域的位置位于上述多个保持槽中的相邻二者之间时，判断成产生了上述斜插异常。
[0012]第3方案为，在第1或第2方案的基板检测装置中，上述控制部作为上述检测处理而进行以下处理：在上述拍摄图像数据中的表示在上述多个基板的侧面处的反射光的多个光点区域中的至少一个光点区域的宽度为规定的宽度阈值以上时，判断成产生了上述多插异常。
[0013]第4方案为，在第3方案的基板检测装置中，上述控制部在上述多个光点区域中的至少一个光点区域的宽度为上述宽度阈值以上、且未检测到上述多个保持槽中的与上述多
个光点区域的上述至少一个光点区域相对应的第1保持槽的相邻的第2保持槽所对应的上述光点区域时，判断成产生了上述多插异常。
[0014]第5方案为，在第1至第4中任一方案的基板检测装置中，具备存储部，上述存储部存储表示上述多个基板各自的基准位置的基准位置数据，上述控制部在上述拍摄图像数据中，确定表示在上述多个基板的侧面处的反射光的多个光点区域，基于上述多个光点区域求出上述多个基板的检测位置，在上述检测位置与上述基准位置之差为差阈值以上时，进行上述检测处理。
[0015]第6方案为，在第5方案的基板检测装置中，上述控制部求出上述多个光点区域的重心位置作为上述检测位置。
[0016]第7方案为，在第6方案的基板检测装置中，上述控制部在上述多个光点区域中的相邻二者的间隔为规定的缺口阈值以下时，基于上述二者求出一个上述检测位置。
[0017]第8方案为，在第1至第7中任一方案的基板检测装置中，还具备设于上述摄像头与上述拍摄区域之间的偏振滤光片。
[0018]第9方案为一种基板处理装置，具备第1至第8中任一方案的基板检测装置、上述基板保持部、和蓄留使上述多个基板浸渍的处理液的处理槽。
[0019]第10方案为一种基板检测方法，包括以下工序：在照明部向包含插入于多个保持槽中的多个基板在内的拍摄区域照射照明光的状态下，摄像头对上述拍摄区域进行拍摄并生成拍摄图像数据的工序，其中，上述多个保持槽包含于基板保持部并沿着规定的排列方向排列；进行检测处理的工序，在该检测处理中，基于上述拍摄图像数据检测上述多个基板中的某一个基板斜着插入的斜插异常、以及在上述多个保持槽的某一个保持槽中插入了两个以上基板的多插异常中的至少某一方；以及使报知部报知所检测出的异常的工序。
[0020]专利技术效果
[0021]根据第1、第9及第10方案，用户能够通过报知部的报知而识别作为异常种类的斜插异常及多插异常。
[0022]根据第2方案，能够妥当地检测出斜插异常。
[0023]根据第3方案，由于基于光点区域的宽度检测多插异常，所以能够以简单处理检测出多插异常。
[0024]根据第4方案，能够以更高精度检测出多插异常。
[0025]根据第5方案，由于在产生了异常时进行检测处理，所以能够抑制不必要的检测处理的执行。因此，能够减轻控制部的处理负荷。
[0026]根据第6方案，能够更简单地计算出检测位置。
[0027]根据第7方案，即使在基板形成有缺口，也能够妥当地求出基板的检测位置。
[0028]根据第8方案，能够通过偏振滤光片降低来自拍摄区域的不需要的反射光。由此，在拍摄图像中，能够使多个基板更清晰。
附图说明
[0029]图1是概略地表示第1实施方式的基板处理装置的结构的一例的图。
[0030]图2是概略地表示一对保持部件的结构的一例的俯视图。
[0031]图3是表示基板检测装置的动作的一例的流程图。
[0032]图4是概略地表示拍摄图像的一例的图。
[0033]图5是表示位置计算工序的具体的一例的流程图。
[0034]图6是概略地表示二值化图像的一部分的一例的图。
[0035]图7是表示保持状态确定工序的一例的流程图。
[0036]图8是表示事前的录入处理的一例的流程图。
[0037]图9是概略地表示产生了斜插异常时的基板的保持状态及二值化图像、以及正常基准位置的一例的图。
[0038]图10是概略地表示产生了多插异常时的基板W的保持状态及二值化图像、以及正常基准位置的一例的图。
[0039]图11是概略地表示产生了晶圆脱落异常时的基板W的保持状态及二值化图像、以及正常基准位置的一例的图。
[0040]图12是概略地表示形成有缺口的基板的结构的一例的图。
[0041]图13是概略地表示对包含形成有缺口的多个基板在内的拍摄区域进行了拍摄时的二值化图像的一例的图。
[0042]图14是表示基板的检测位置的求出方法的一例的流程图。
[0043]图15是概略地表示第2实施方式的基板处理装置的结构的一例的图。
[0044]附图标记说明本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基板检测装置，其特征在于，具备：照明部，其向包含插入于多个保持槽中的多个基板在内的拍摄区域照射照明光，其中所述多个保持槽包含于基板保持部并沿着规定的排列方向排列；摄像头，其对所述拍摄区域进行拍摄并生成拍摄图像数据；报知部；以及控制部，其进行基于所述拍摄图像数据检测如下异常的检测处理，并使所述报知部报知所检测出的异常，其中，所述异常为，基于所述拍摄图像数据检测所述多个基板中的某一个基板斜着插入的斜插异常、以及在所述多个保持槽中的某一个保持槽中插入了两个以上基板的多插异常中的至少某一方。2.根据权利要求1所述的基板检测装置，其特征在于，所述控制部作为所述检测处理而进行以下处理：在所述拍摄图像数据中的表示在所述多个基板的侧面处的反射光的多个光点区域中的某一个光点区域的位置位于所述多个保持槽中的相邻二者之间时，判断成产生了所述斜插异常。3.根据权利要求1或2所述的基板检测装置，其特征在于，所述控制部作为所述检测处理而进行以下处理：在所述拍摄图像数据中的表示在所述多个基板的侧面处的反射光的多个光点区域中的至少一个光点区域的宽度为规定的宽度阈值以上时，判断成产生了所述多插异常。4.根据权利要求3所述的基板检测装置，其特征在于，所述控制部在所述多个光点区域中的至少一个光点区域的宽度为所述宽度阈值以上、且未检测到所述多个保持槽中的与所述多个光点区域的所述至少一个光点区域相对应的第1保持槽的相邻的第2保持槽所对应的所述光点区域时，判断成产生了所述多插异常。5.根据权利要求1或2所...

【专利技术属性】
技术研发人员：清水进二，山田亮，增井达哉，出羽裕一，宫胁美和，
申请(专利权)人：株式会社斯库林集团，
类型：发明
国别省市：