具有用于机械地安装元件的解耦接头的组件制造技术

本发明专利技术关于一组件，其具有在操作或运输过程中在至少一个负载方向上受到机械应力的元件以及用于机械地安装该元件的解耦接头，其中解耦接头在负载方向上实现至少部分解耦，其中该解耦接头由多个单独的接头段(110,210,310,510,511,512,510

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有用于机械地安装元件的解耦接头的组件
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求于2001年1月11日申请的德国专利申请DE102021200131.9的优先权。该申请的内容通过引用并入本文。


[0003]本专利技术关于具有一元件以及用于机械地安装该元件的解耦接头的组件。元件可为光学元件，特别是反射镜或反射镜阵列，其例如在微光刻投射曝光装置中。元件或组件也可进一步为用于其他应用的元件或组件，例如用于计量学、精密机械或医疗技术。

技术介绍

[0004]微光刻用于生产微结构部件，例如集成电路或LCD。微光刻工艺在所谓的投射曝光装置中执行，其具有照明装置和投射镜头。由照明装置所照明的掩模(＝掩模母版)的像在此处通过投射镜头被投射到基板(例如硅晶片)上，该基板涂有光敏层(光刻胶)并配置在投射镜头的像平面中，以将掩模结构转印到基板的光敏涂层上。
[0005]在针对EUV(例如，针对例如约13.5nm或以下的波长)而设计的投射曝光装置中，由于缺少透光材料，反射镜被使用作为成像过程的光学部件。在设计用于在EUV范围内操作的微光刻投射曝光装置的照明装置中，特别地，使用形式为场分面反射镜(field facet mirror)和光瞳分面反射镜的分面反射镜作为射束引导部件是已知的，例如从DE 10 2008 009 600 A1已知。这类分面反射镜由多个个别的反射镜或反射镜分面构成，其可设计为在各种情况下都可通过挠曲件和致动器进行倾斜，以用于调整或实现特定的照明角度分布。
[0006]实践中出现的一个问题是，除其他外，EUV反射镜由于吸收了EUV光源所发射的辐射而被加热，并随之发生热膨胀或变形，这反过来又会导致光学系统的成像特性受到损害。
[0007]已知有多种方法可用于避免由于热输入到EUV反射镜而引起的表面变形和相关的光学像差。这些特别地包含了主动直接冷却或立即电加热。在此实践中出现的另一个问题是，在特定应用情况下直接冷却反射镜或反射镜阵列可能是不可行或不是期望的。与辐射相关的加热有关的反射镜或反射镜阵列的热膨胀接着导致约束力或机械张力，这可能是由于例如反射镜或反射镜阵列的不同热膨胀以及由于
‑
通常是冷却的
‑
机械环绕所造成的。
[0008]为了防止与应力相关的变形，解耦接头的使用是已知的，其旨在在各个反射镜或反射镜阵列的机械连接的情况下“吸收”各个光学元件的热引起的膨胀并以这种方式避免机械张力。然而，根据具体的应用场景，在不引入约束力或机械张力的情况下，通过这种解耦接头进行“解耦”的自由度可能不足以确保自由热膨胀。
[0009]此处在实践中可能出现的问题是，在解耦接头中发生并伴随光学元件或反射镜的热膨胀的解耦接头的变形导致解耦接头中可能超过临界值的高机械应力。此外，由于在相应的光学系统中可用的安装空间通常非常有限，因此还可能使解耦接头的应力优化构造变得更加困难。因此，解耦接头相对于光学元件或反射镜或反射镜阵列的适当构造和配置在实践中已被证明是相当大的挑战。如果由于剩余的约束力而发生光学有效表面的变形和/
或位移，它们可能导致光学特性或相应光学系统(例如，投射曝光装置)的性能受损。

技术实现思路

[0010]本专利技术的一目的为提供一组件，其可减少与应力相关的不希望的变形，同时避免上述问题。
[0011]此目的通过独立权利要求1的特征来实现。
[0012]根据本专利技术的一组件具有：
[0013]‑
在操作或运输过程中在至少一个负载方向上受到机械应力的元件；以及
[0014]‑
用于机械地安装该元件的解耦接头，其中解耦接头在负载方向上实现至少部分解耦；
[0015]‑
其中此解耦接头由多个单独的接头段构成；以及
[0016]‑
其中该接头段的其中至少两个以一阶梯式配置(steppedarrangement)在该负载方向上相对于彼此移动。
[0017]在本专利技术的实施例中，元件可特别为具有光学使用区域的光学元件。
[0018]根据一实施例，接头段的几何配置适配于光学使用区域的外轮廓。
[0019]根据一实施例，负载方向相对于光学使用区域的中心点径向地延伸。此外，解耦接头的对准可较佳地垂直于负载方向进行，如下文所作的解释。
[0020]特别地，本专利技术基于组装解耦接头的概念，该解耦接头用于从多个单独的接头段机械地安装光学元件，该光学元件在(例如光学)系统的操作期间在至少一个负载方向上受到机械应力，其中，另外，至少两个所述接头段在负载方向上相对于彼此偏移。根据本专利技术，由于解耦接头的分段，以及个别接头段与相应区域中存在的机械负载相关的可能适应，有可能实现应力优化的接头配置，其中在这些接头段的对准方面和在相应的接头横截面方面，各个接头段的该适应可在接头几何形状的适应意义上进行。
[0021]此外，由于接头段在负载方向上相对于彼此发生至少部分移动，这种应力优化构造可与节省空间的几何布置相结合。特别地，可根据具体使用场景来选择解耦接头的分段，使得接头段的几何布置适应于(例如光学)使用区域的外轮廓，其结果为根据本专利技术，解耦接头的离散化最终导致它紧靠使用区域的相应轮廓。
[0022]如以下参考不同实施例所作的更详细描述，由于根据本专利技术的解耦接头，此处例如有可能“吸收”元件的热膨胀。因此，即使在元件被保持在(例如冷却的)环绕物或保持器内的情况下，也有可能确保元件的自由热膨胀(也就是说，不受保持器影响的热膨胀)，并避免出现不希望的约束力或机械应力，同时避免介绍部分中描述的问题。
[0023]然而，关于元件的机械应力的类型，本专利技术不限于热引起的应力或膨胀。因此，本专利技术的仅示例性的进一步有利的应用也可关于相关元件的撞击负载(例如在元件或具有该元件的系统的运输期间发生)。
[0024]此外，元件的机械应力的负载方向可能因使用场景而异。特别地，该负载方向可相对于光学使用区域的中心点径向地延伸(通常是元件的热诱导膨胀的情况)。在其他使用场景中，负载方向(通常是运输过程中元件的撞击或冲击负载的情况)可在恒定的线性空间方向上延伸。
[0025]取决于具体的使用情况，接头段本身相对于负载方向的对准可为垂直的或可处于
偏离90
°
的角度，其中该角度尤其可在每种情况下具有范围从85
°
到95
°
的值。
[0026]根据一实施例，该接头段的其中至少两个在其于同一个解耦自由度(decoupled degree of freedom)中所提供的接头刚度方面彼此不同。在该至少两个接头段中，暴露于较大机械应力的接头段较佳具有比另一接头段更低的接头刚度(joint rigidity)。
[0027]根据一实施例，元件为一透镜元件。
[0028]根据另一实施例，元件为一反射镜。
[0029]根据另一实施例，元件为一反射镜阵列。特别地，该反射镜阵列可配置为具有多个反射本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种组件，具有在操作或运输过程中在至少一个负载方向上受到机械应力的元件；以及用于机械地安装该元件的解耦接头，其中该解耦接头在该负载方向上实现至少部分的解耦；其中该解耦接头由多个单独的接头段(110,210,310,510,511,512,510
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)构成；以及其中所述接头段(110,210,310,510,511,512,510
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)的其中至少两个以一阶梯式配置在该负载方向上相对于彼此移动。2.如权利要求1所述的组件，其特征在于，该元件为具有一光学使用区域(101,201,301,501)的一光学元件。3.如权利要求2所述的组件，其特征在于，所述接头段(110,210,310,510,511,512,510
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,511
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,512
’
)的几何配置适配于该光学使用区域(101,201,301,501)的外轮廓。4.如权利要求2或3所述的组件，其特征在于，该负载方向相对于该光学使用区域(101,201,301,501)的中心点径向地延伸。5.如前述权利要求的其中一项所述的组件，其特征在于，不同接头段(101,301)的接合点布置在同心圆上。6.如前述权利要求的其中一项所述的组件，其特征在于，所述接头段(101,301)各自相对于该负载方向以一角度配置，其中各所述角度具有范围在85
°
...

【专利技术属性】
技术研发人员：P，
申请(专利权)人：卡尔蔡司SMT有限责任公司，
类型：发明
国别省市：