【技术实现步骤摘要】
工业用机器人的机械手及工业用机器人
[0001]本专利技术涉及一种在对输送对象物进行输送的工业用机器人中使用的工业用机器人的机械手。另外,本专利技术还涉及具备该机械手的工业用机器人。
技术介绍
[0002]以往,已知有用于输送半导体晶片的水平多关节型的工业用机器人(例如,参照专利文献1)。专利文献1所记载的工业用机器人具备:搭载半导体晶片的机械手;将机械手可转动地连结在前端侧的机械臂;以及将机械臂的基端侧可转动地连结的主体部。机械手包括:搭载半导体晶片的搭载部;构成机械手的基端侧部分的机械手基部;用于将搭载于搭载部的半导体晶片保持在水平方向的一定位置的保持机构。搭载部的基端侧固定于机械手基部。机械手基部可转动地连结在机械臂的前端侧。
[0003]在专利文献1所记载的工业用机器人中,保持机构具备:端面抵接部件,其具有与半导体晶片的端面抵接的抵接面;按压部件,其与半导体晶片的端面接触而将半导体晶片的端面按压于端面抵接部件的抵接面;以及气缸,其使按压部件直线地移动。气缸收纳在形成为中空状的机械手基部的内部。按压部件的基端部 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种机械手,是对输送对象物进行输送的工业用机器人的机械手,其特征在于,包括:搭载部,其搭载所述输送对象物;机械手基部,其构成所述机械手的基端侧部分,并且固定所述搭载部的基端侧;以及保持机构,其用于将搭载于所述搭载部的所述输送对象物保持在水平方向的一定位置,所述保持机构包括:端面抵接部件,其具有与所述输送对象物的端面抵接的抵接面,且安装于所述搭载部的前端侧;按压部件,其具有与所述输送对象物的端面接触而将所述输送对象物的端面按压于所述抵接面的按压部,且保持于所述机械手基部;驱动源,其收纳于所述机械手基部的内部,并且以上下方向作为转动的轴向而使所述按压部件相对于所述机械手基部转动;轴承,其以能够转动的方式支撑所述按压部件;以及密封部件,其用于防止液体向所述机械手基部的内部浸入,所述按压部件包括:转动轴,其成为所述按压部件的转动中心;以及第一杆部,...
【专利技术属性】
技术研发人员:栗林保,青木雅裕,
申请(专利权)人:日本电产三协株式会社,
类型:发明
国别省市:
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