一种阻尼减振结构及微动台制造技术

本发明专利技术涉及微动台技术领域，公开一种阻尼减振结构及微动台。其中阻尼减振结构包括框体、内核和驱动装置。内核设置于框体内；驱动装置安装于框体上，驱动装置包括第一驱动组件，第一驱动组件用于驱动内核沿第一方向移动；第一驱动组件包括第一压电薄膜片、两个第一柔性片和两个第一支撑件，两个第一柔性片位于内核沿第一方向的两侧，且第一柔性片连接于框体；第一柔性片靠近内核的一侧连接有第一支撑件，第一支撑件抵接于内核，且第一支撑件能够相对内核的侧壁滑动；至少一个第一柔性片背离内核的一侧连接有第一压电薄膜片。本发明专利技术实现了对动子进行主动减振，响应及时，提高减振效率提高微动台的移动精度。高微动台的移动精度。高微动台的移动精度。

【技术实现步骤摘要】
一种阻尼减振结构及微动台


[0001]本专利技术涉及微动台
，尤其涉及一种阻尼减振结构及微动台。

技术介绍

[0002]在集成电路制造领域，精密运动台技术是装备制造系统的核心技术，一直受到行业内的高度重视。在精密运动系统中，运动台往往会受到一定幅值的振动影响，这种振动会对精度和稳定性带来较大的影响，尤其是对高精度超高精度要求的运动台，特别是对纳米级甚至是亚纳米级的运动台造成的干扰更是巨大，因此需要专门的装置或措施，来尽可能地降低运动台受到的振动影响，提高定位精度和位置稳定性。
[0003]通常的精密运动系统采用减振器来抵消运动台往外界或外界往运动台的振动传播，这种方式用于阻隔外界与运动台之间的振动传递从而消除相互之间的振动影响；另外，也有精密运动系统采用平衡质量组件充当反力引导机构来抵消运动过程中的振动影响，此种消除振动影响的措施依赖的是动量定理，虽然可以解决较大幅值的振动影响，但由于平面运动台运动过程中抖动幅值较大，实际的减振功效存在着极限，无法将振动幅值更进一步降低。
[0004]通常的微动台降低振动影响的手段是在动子本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种阻尼减振结构，其特征在于，包括：框体（1）；内核（2），其设置于所述框体（1）内；驱动装置（3），其安装于所述框体（1）上，所述驱动装置（3）包括第一驱动组件（31），所述第一驱动组件（31）用于驱动所述内核（2）沿第一方向移动；所述第一驱动组件（31）包括第一压电薄膜片（311）、两个第一柔性片（312）和两个第一支撑件（313），两个所述第一柔性片（312）位于所述内核（2）沿所述第一方向的两侧，且所述第一柔性片（312）连接于所述框体（1）；所述第一柔性片（312）靠近所述内核（2）的一侧连接有所述第一支撑件（313），所述第一支撑件（313）抵接于所述内核（2），且所述第一支撑件（313）能够相对所述内核（2）的侧壁滑动；至少一个所述第一柔性片（312）背离所述内核（2）的一侧连接所述第一压电薄膜片（311）。2.根据权利要求1所述的阻尼减振结构，其特征在于，所述驱动装置（3）还包括第二驱动组件（32）和/或第三驱动组件（33），所述第二驱动组件（32）用于驱动所述内核（2）沿第二方向移动，所述第三驱动组件（33）用于驱动所述内核（2）沿第三方向移动，所述第一方向、所述第二方向、所述第三方向两两垂直。3.根据权利要求1所述的阻尼减振结构，其特征在于，所述第一压电薄膜片（311）为两个，两个所述第一柔性片（312）背离所述内核（2）的一侧均连接有所述第一压电薄膜片（311），且两个所述第一压电薄膜片（311）的施加电压方向相反。4.根据权利要求3所述的阻尼减振结构，其特征在于，两个所述第一压电薄膜片（311）相互串联或并联，两个所述第一压电薄膜片（311）的施加电压值相同。5.根据权利要求1所述的阻尼减振结构，...

【专利技术属性】
技术研发人员：龚威，王振华，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：