一种大孔径薄壁阳极氧化铝薄膜及其制备方法技术

技术编号:3852733 阅读:201 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
一种六边形大孔径薄壁阳极氧化铝薄膜,阳极氧化铝的孔径为200纳米~300纳米,孔壁厚度为5~20纳米。制备本发明专利技术薄膜的方法为:依次用丙酮、乙醇和高纯水超声清洗铝片10分钟,把清洗过的铝片放入磷酸与醋酸质量百分比为(10~1)∶(1~10)%的混合电解液中,在40V-160V的电压下阳极氧化1-5分钟。然后把得到的阳极氧化铝薄膜用高纯水清洗,在60℃,0.2mol/L的铬酸和0.4mol/L磷酸的混合溶液中浸泡20分钟。在和第一次阳极氧化相同的混合电解液和阳极氧化电压条件下再进行第二次阳极氧化5分钟~10小时;将制得到的阳极氧化铝薄膜放入质量百分数为10%的磷酸溶液中浸泡20分钟,最后用高纯水清洗,用氮气吹干。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种大孔径薄壁阳极氧化铝薄膜,其特征在于,所述阳极氧化铝薄膜的微孔的形状为六边形,孔径为200~300纳米,孔壁厚度为5~20纳米。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:刘敏赵雷王文静
申请(专利权)人:中国科学院电工研究所
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]

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