【技术实现步骤摘要】
一种光学多目标模拟系统
[0001]本专利技术涉及光学模拟
,具体为一种光学多目标模拟系统。
技术介绍
[0002]光刻工艺过程可以用光学和化学模型,借助数学公式来描述。光照射在掩模上发生衍射,衍射级被投影透镜收集并会聚在光刻胶表面,这一成像过程是一个光学过程,描述这一过程的模型即为光学模型
[0003]目前光学设备主要被集成到一起,使此类设备维护困难,不利于维修、保养或者更改零部件以满足其余的测试需求,并且模拟目标单一,不能同时模拟多个目标、只能模拟静态目标,功能性比较单一。
技术实现思路
[0004]本部分的目的在于概述本专利技术的实施方式的一些方面以及简要介绍一些较佳实施方式。在本部分以及本申请的说明书摘要和专利技术名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和专利技术名称的目的模糊,而这种简化或省略不能用于限制本专利技术的范围。
[0005]鉴于上述和/或现有一种光学多目标模拟系统中存在的问题,提出了本专利技术。
[0006]因此,本专利技术的目的是提供一种光学多 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光学多目标模拟系统,其特征在于,包括:激光面阵系统,用于模拟多目标发光并记录;光学校准与测试设备,与所述激光面阵系统连接,用于发出光束,并对光束进行扩束;目标场景与控制系统,与所述激光面阵系统和所述光学校准与测试设备连接,用于根据用户需求模拟深空环境,并控制光束扩束后连接至所述激光面阵系统。2.根据权利要求1所述的一种光学多目标模拟系统,其特征在于,所述激光面阵系统包括光纤激光器系统、控制驱动系统和面阵系统。3.根据权利要求2所述的一种光学多目标模拟系统,其特征在于,所述光纤激光器系统为650mm/1064nm激光器,所述面阵系统为面阵和所述位于所述面阵内部的十七...
【专利技术属性】
技术研发人员:李佳,李剑芸,张永磊,
申请(专利权)人:上海枫讯工业智能科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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