一种用于压力传感器的新型双密封压力芯体结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于压力传感器的新型双密封压力芯体结构，涉及压力传感器领域，包括传感器安装座、小密封圈、压板、压力MEMS元件和大密封圈，压板密封固定在传感器安装座的顶部，压板与传感器安装座的内壁之间形成安装腔；压板上贯穿开设空气通道，传感器安装座上贯穿开设检测通道；压板压在端面A上，小密封圈设于端面B与传感器安装座内壁之间，形成端面B与端面A之间的第一道密封，大密封圈设于压力MEMS元件外壁与传感器安装座内壁之间，形成端面B与端面A之间的第二道密封。本实用新型专利技术具有端面轴向密封和侧面密封两种形式，两道密封圈与压力MEMS元件直接接触密封，接触面积大且受力更均匀，密封性能和密封效果比单一方向密封结构更出色。向密封结构更出色。向密封结构更出色。

【技术实现步骤摘要】
一种用于压力传感器的新型双密封压力芯体结构


[0001]本技术涉及压力传感器的领域，具体涉及一种用于压力传感器的新型双密封压力芯体结构。

技术介绍

[0002]在城市轨道车辆上，制动系统的稳定性很大程度上取决于它所采集到的压力传感器信号的可靠性，压力传感器在系统中属于关键部件，因此提高压力传感器的可靠性降低故障率显得尤为重要。
[0003]目前压力传感器采用圆柱面径向密封或者端面轴向密封单一方向的密封结构，在使用过程中很容易发生气体泄漏故障，从而导致产品失效。
[0004]中国专利文献(CN107843382A)公开了一种双重密封的压力传感器，包括：压力传感器本体、第一螺纹连接管、第二螺纹连接管、转动块和线接头，所述第二螺纹连接管设置在转动块前方，所述第一螺纹连接管设置在第二螺纹连接管前方，所述第一螺纹连接管与第二螺纹连接管之间设置有限位板，所述限位板正面设置有第一密封圈，所述第二螺纹连接管上设置有一个加强套，所述加强套末端延伸至限位板外侧，所述加强套末端设置有第二密封圈。该技术方案中，利用限位板对第一密封圈的挤压，进行第一重密本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于压力传感器的新型双密封压力芯体结构，其特征在于：包括传感器安装座(1)、小密封圈(2)、压板(3)、压力MEMS元件(6)和大密封圈(7)，所述压板(3)密封固定在传感器安装座(1)的顶部，压板(3)与传感器安装座(1)的内壁之间形成安装腔(16)，用于置入压力MEMS元件(6)；压板(3)上贯穿开设空气通道(31)，用于将外界空气通向压力MEMS元件(6)朝向压板(3)的端面A(64)；传感器安装座(1)上贯穿开设检测通道(11)，用于将被测气体通向压力MEMS元件(6)背离压板(3)的端面B(63)，压力MEMS元件(6)用于检测并输出端面A(64)与端面B(63)之间的压力差；所述小密封圈(2)、大密封圈(7)均与检测通道(11)同轴布置，且小密封圈(2)相对大密封圈(7)更靠近检测通道(11)；压板(3)压在端面A(64)上，小密封圈(2)设于端面B(63)与传感器安装座(1)内壁之间，形成端面B(63)与端面A(64)之间的第一道密封，大密封圈(7)设于压力MEMS元件(6)外壁与传感器安装座(1)内壁之间，形成端面B(63)与端面A(64)之间的第二道密封。2.根据权利要求1所述的用于压力传感器的新型双密封压力芯体结构，其特征在于：所述传感器安装座(1)靠...

【专利技术属性】
技术研发人员：段荣，周友佳，
申请(专利权)人：宁波佳明测控技术有限公司，
类型：新型
国别省市：