【技术实现步骤摘要】
一种料盒的自动开盖装置
[0001]本技术涉及自动化
,尤其涉及一种料盒的自动开盖装置。
技术介绍
[0002]为提高晶圆的上料效率,并且避免晶圆上料过程中受到环境污染,晶圆通常放置于料盒内,通过转运料盒,实现晶圆的批量上料,料盒转运过程中,盒盖保持锁定状态。
[0003]现有技术中的晶圆上料时,需将盒盖打开,而通常盒盖上设置有锁扣机构,需要将锁扣机构解锁后方能打开盒盖,通常采用人工操作的方式,一方面工作效率收到影响,另一方面人工操作的平稳性较差,容易损坏到精密的晶圆,因此该方式无法适应于自动化生产流程。
[0004]鉴于此,需要对现有技术中的料盒开盖方式加以改进,以解决人工操作开盖效率低的技术问题。
技术实现思路
[0005]本技术的目的在于提供一种料盒的自动开盖装置,解决以上的技术问题。
[0006]为达此目的,本技术采用以下技术方案:
[0007]一种料盒的自动开盖装置,包括安装座,所述安装座上沿预设方向滑动连接有解锁机构;
[0008]所述解锁机构包括安装板, ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种料盒的自动开盖装置,其特征在于,包括安装座,所述安装座上沿预设方向滑动连接有解锁机构;所述解锁机构包括安装板,所述安装板上安装有解锁件和用于驱动驱动所述解锁件转动的第一驱动组件;其中,所述安装板包括一解锁面,所述解锁件的一端凸出于所述解锁面设置。2.根据权利要求1所述的料盒的自动开盖装置,其特征在于,所述安装座上沿预设方向设有滑轨组件和第二驱动组件,所述安装板滑动连接于所述滑轨组件上;所述第二驱动组件的驱动端与所述安装板连接,用于驱动所述安装板沿预设方向直线运动。3.根据权利要求1所述的料盒的自动开盖装置,其特征在于,所述解锁面上还设有用于吸附料盒的吸盘组件。4.根据权利要求3所述的料盒的自动开盖装置,其特征在于,所述吸盘组件的数量为两个,两个所述吸盘组件分别位于所述解锁件的两侧。5.根据权利要求1所述的料盒的自动开盖装置,其特征在于,所述解锁机构还包括传动组件,所述传动组件的两端分别与所述解锁件和所述第一驱动组件的驱动端连接。6.根据权利要求5所述的料盒...
【专利技术属性】
技术研发人员:邱国良,宋先玖,肖知平,
申请(专利权)人:东莞市凯格精机股份有限公司,
类型:新型
国别省市:
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