用于支撑真空卷材处理设备的轴承板的磁性稳定器和卷材处理设备制造技术

描述一种用于支撑真空卷材处理设备的轴承板的磁性稳定器和一种卷材处理设备。所述磁性稳定器包括：磁体，所述磁体被配置用于与所述轴承板接合；支撑件，所述支撑件能机械地耦接到所述卷材处理设备的壁；和磁体保持器，所述磁体保持器耦接到所述磁体。所述磁体保持器被可移动地提供在所述支撑件内以定位所述磁体来与所述轴承板接合。体来与所述轴承板接合。体来与所述轴承板接合。

【技术实现步骤摘要】
用于支撑真空卷材处理设备的轴承板的磁性稳定器和卷材处理设备


[0001]本专利技术的实施方式涉及基板处理，特别是在卷材处理设备中的卷材处理。本专利技术的实施方式特别地涉及一种磁性稳定器和一种由支撑卷材处理设备的轴承板(bearing plate)的磁性稳定器稳定的真空卷材处理设备。

技术介绍

[0002]卷材处理，特别是卷材涂覆，包括柔性基板的处理。典型的基板包括聚合物膜、箔和/或纸，在印刷和包装行业、半导体行业和其他行业中对经处理的基板有高需求。特别地，柔性基板的卷对卷(R2R)处理因以低成本实现高产量而备受关注。特别地，在印刷产品、包装、薄膜电池、显示器行业和光伏(PV)行业的制造中，卷对卷沉积系统备受关注。
[0003]用于处理柔性基板的常见的处理方法包括金属化，这典型地在真空条件下执行，并且可能甚至与另外类型的处理(诸如直列印刷(inline printing))组合。对经改善的R2R处理系统有持续需求，特别是在处理品质、处理时间和处理效率方面。为了在柔性基板上实现高品质涂层，必须克服在柔性基板运输和均质层沉积方面的各种挑战。<本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于支撑真空卷材处理设备(400)的轴承板(412)的磁性稳定器(100)，其特征在于包括：磁体(110)，所述磁体被配置用于与所述轴承板(412)接合；支撑件(120)，所述支撑件能机械地耦接到所述卷材处理设备(400)的壁(130)；磁体保持器(140)，所述磁体保持器耦接到所述磁体，所述磁体保持器(140)被可移动地提供在所述支撑件(120)内以定位所述磁体(110)来与所述轴承板(412)接合。2.根据权利要求1所述的磁性稳定器(100)，其中所述磁体(110)是电永磁体。3.根据权利要求2所述的磁性稳定器(100)，进一步包括：控制器，所述控制器被配置用于控制所述电永磁体的磁化，其中控制所述电永磁体的磁化包括将所述电永磁体磁化和/或退磁；接合所述轴承板(412)包括将所述电永磁体磁化；并且脱离所述轴承板(412)包括将所述电永磁体退磁。4.根据权利要求1所述的磁性稳定器(100)，其中所述支撑件(120)包括：轴承(150)，所述轴承能固定地耦接到所述卷材处理设备(400)的所述壁(130)，和/或吸盘(124)，所述吸盘被可旋转地提供在所述轴承(150)内。5.根据权利要求4所述的磁性稳定器(100)，其中所述吸盘(124)包括工具收容器，所述工具收容器用于接收工具以用所述工具旋转所述吸盘(124)。6.根据权利要求5所述的磁性稳定器(100)，其中所述工具收容器是被轴向地提供在所述吸盘(124)的第一端部处的结构(126)。7.根据权利要求5所述的磁性稳定器(100)，其中所述工具收容器包括在所述吸盘(124)的圆柱形部分的侧向区域中的至少一个凹入(220)。8.根据权利要求4所述的磁性稳定器(100)，进一步包括固定构件(160)，所述固定构件用于防止所述磁体保持器(140)相对于所述支撑件(120)的旋转。9.根据权利要求8所述的磁性稳定器(100)，其中所述固定构件(160)被提供在所述轴承(150)与所述磁体保持器(140)之间。10.根据权利要求1所述的磁性稳定器(100)，其中所述磁体(110)包括平坦表面(112)，并且其中所述平坦表面(112)被配置用于接触所述轴承板(412)的平坦表面(112)。11.根据权利要求1至10中任一项所述的磁性稳定器(100)，其中所述支撑件(120)包括螺纹孔(122)，并且所述磁体保持器(140)包括被提供在所述螺纹孔(122)中的螺纹圆柱体(142)，其中所述螺纹孔(122)相对于所述螺纹圆柱体(142)的旋转使所述磁体保持器(140)相对于所述支撑件(120)移动。12.一种卷材处理设备(400)，其特征在于包括：处理腔室(430)，所述处理腔室用于在真空下处理卷材；和磁性稳定器(100)，所述磁性稳定器用于支撑轴承板(412)，所述磁性稳定器包括：磁体(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：斯特凡，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：新型
国别省市：