【技术实现步骤摘要】
一种用于高温碳硫分析仪的长臂机械手
[0001]本技术涉及半导体加工技术中高温碳硫分析仪
,尤其涉及一种用于高温碳硫分析仪的长臂机械手。
技术介绍
[0002]在碳硫分析仪中,有一款是采用高温燃烧炉方式来燃烧样品,释放CO2和SO2,以便碳硫分析仪对此样品进行分析的仪器,我们称为高温碳硫分析仪。此类仪器需要在高温炉中进样和取样。目前进样和取样,经常采用的是手动方式。高温炉分析时,炉体内的温度一般在几百摄氏度甚至更高,燃烧后样品温度也很高,进样和出样很容易烫伤操作人员,甚至可能会引起火灾。还有,手动方式会导致人为误差大,如果放置的位置不准确,释放不一致,可能会引起分析误差值增大。对此,本技术正是基于上述研究背景而提出,旨在提供一种用于高温碳硫分析仪的长臂机械手以解决上述技术问题,满足实际使用需要。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于:克服现有技术中存在的上述不足,提供一种用于高温碳硫分析仪的长臂机械手,其具有结构设计合理、操作使用方便、维护成本低、运行可靠稳定的特点,能够免去了操作员的手操作工作, ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于高温碳硫分析仪的长臂机械手,设有支架(3)和支架上设置的气缸,其特征是:所述气缸为进样气缸(1)和短程气缸(2),所述进样气缸竖立设置在支架上面,并设有推动气缸活塞杆下行的动力气入口一(1.1)和推动气缸活塞杆上行的动力气入口二(1.2),该进样气缸的下方设有竖直向下的套杆(5),进样气缸的活塞杆下端与该套杆的上端进行驱动连接,在该套杆的管体内设有一个拉杆(4),在所述套杆上端固定设置所述短程气缸,该短程气缸设有推动其活塞杆下行的动力气入口三(2.1)和推动活塞杆上行的动力气入口四(2.2),该短程气缸的活塞杆下端与所述拉杆上端驱动连接;在所述拉杆的下端伸出所述套杆管口,在拉杆下端设有能夹持样品放置锅(7)的机械指(6),该机械指与所述拉杆的下端能驱动机械指开合地驱动连接,即拉杆下行机械指开,拉杆上行机械指合。2.根据权利要求1所述的用于高温碳硫分析仪...
【专利技术属性】
技术研发人员:何文江,刘任贵,周小兵,蒋瑞,李俊东,王正其,黄青春,陈宁,庞晓杰,
申请(专利权)人:中国地质调查局呼和浩特自然资源综合调查中心,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。