一种倾斜光栅制备方法技术

一种倾斜光栅制备方法涉及微纳制造技术领域，解决了现有制备方法良率低且成本高的问题，方法包括：在基底上制作与基底夹角为90

【技术实现步骤摘要】
一种倾斜光栅制备方法


[0001]本专利技术涉及微纳制造
，具体涉及一种倾斜光栅制备方法。

技术介绍

[0002]元宇宙的概念越来越热，涉及社会生活生产的各个方面。增强现实(AR)眼镜是连接真实世界和虚拟世界的硬件基础。基于倾斜光栅的光波导光学结构被认为是AR眼镜最可能的光学结构方案。目前倾斜光栅的制备方法主要采用纳米压印技术，其良率低、成本高，限制了AR眼镜的产业化。因此，有待提出一种新的倾斜光栅的制备方法以提高良率降低制造成本。

技术实现思路

[0003]为了解决现有倾斜光栅的制备方法良率低且成本高的问题，本专利技术提供一种倾斜光栅制备方法。
[0004]本专利技术为解决技术问题所采用的技术方案如下：
[0005]一种倾斜光栅制备方法，包括：
[0006]在基底上制作与基底夹角为90
°
的光栅结构；
[0007]转动基底，使得光栅结构和竖直方向存在夹角，且基底底面朝向斜上方；
[0008]加热光栅结构使光栅结构软化，软化的光栅结构在重力的作用下形变至垂直与水平面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种倾斜光栅制备方法，其特征在于，包括：在基底(1)上制作与基底(1)夹角为90
°
的光栅结构(2)；转动基底(1)，使得光栅结构(2)和竖直方向存在夹角，且基底(1)底面朝向斜上方；加热光栅结构(2)使光栅结构(2)软化，软化的光栅结构(2)在重力的作用下形变至垂直与水平面；冷却光栅结构(2)至光栅结构(2)固化。2.如权利要求1所述的一种倾斜光栅制备方法，其特征在于，所述光栅结构(2)包括光栅单元，所述光栅单元包括第一光栅层(21)和第二光栅层(22)，所述第一光栅层(21)位于第二光栅层(22)下侧，第一光栅层(21)材料的熔点低于第二光栅层(22)材料的熔点；加热...

【专利技术属性】
技术研发人员：陶金，马青，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：