基于仪器传递函数的光学元件拼接检测方法技术

本发明专利技术涉及光学元件拼接检测技术领域，尤其涉及一种基于仪器传递函数的光学元件拼接检测方法，包括如下步骤：S1、基于待检镜的面形参数设计并制作球面测试板；S2、对球面测试板与待检镜进行子孔径规划；S3、对球面测试板的面形进行检测，并对检测的面形进行数据处理；S4、对干涉仪的仪器传递函数的标定；S5、对待检镜进行子孔径拼接检测，并基于仪器传递函数的标定结果，对子孔径拼接的重叠区域的权重进行调整。本发明专利技术采用球面测试板对干涉仪的仪器传递函数进行标定，并根据标定结果对子孔径拼接的重叠区域的权重进行调整，实现面形的精确检测。测。测。

【技术实现步骤摘要】
基于仪器传递函数的光学元件拼接检测方法


[0001]本专利技术涉及光学元件拼接检测
，尤其涉及一种基于仪器传递函数的光学元件拼接检测方法。

技术介绍

[0002]近些年来，随着大口径光学系统在军事侦察、天文光学、空间科学研究等高科技领域中的广泛应用，以及基础制造水平的高速发展，大口径光学元件的加工、制造技术水平有了很大的进步，使大口径光学系统实现了提高空间分辨率、集光能力、信噪比以及增大视场等技术目标，向着更高精度、更大口径的方向发展。为了保证光学系统有良好的性能指标，必须对其核心部件——大口径光学元件的面形进行检测。
[0003]子孔径拼接干涉检测作为一种有效的光学检测技术，因其具有拓展干涉仪的横向和纵向动态范围；无需其它辅助元件即可实现对大口径平面、球面、非球面的面形检测；成本低、分辨率高等优势对各个领域的检测应用研究有着十分重要的意义。
[0004]然而，由于光学元件本身的表面缺陷和实际加工过程中在元件表面残留的制造残差，会导致光学元件表面矢高的物理分布与光学设计理论面形存在不同程度的偏差，这些偏差在空间分布上体现为本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于仪器传递函数的光学元件拼接检测方法，其特征在于，包括如下步骤：S1、基于待检镜的面形参数设计并制作球面测试板；其中，所述待检镜为高陡度球面镜或高陡度非球面镜；S2、对所述球面测试板与所述待检镜进行子孔径规划；S3、对所述球面测试板的面形进行检测，并对检测的面形进行数据处理；其中，对球面测试板的每个台阶进行采样，将台阶轮廓线绘制在散点图中，并取平均值作为台阶的实测轮廓；将台阶函数表示为阶跃函数，并将阶跃函数周期性延拓为方波函数；S4、选取窗函数对每个台阶的采样数据进行加窗；再对所述方波函数进行傅里叶变换，得到实测面形的功率谱密度，将所述实测面形的功率谱密度与理想面形的功率谱密度相比，得到所述球面测试板的每个台阶处的仪器传递函数，实现对干涉仪的仪器传递函数的标定；S5、对所述待检镜进行子孔径拼接检测，并基于所述仪器传递函数的标定结果，对子孔径拼接的重叠区域的权重进行调整。2.根据权利要求1所述的基于仪器传递函数的光学元件拼接检测方法，其特征在于，步骤S1具体包括如下步骤：S11、基于待检镜的面形参数确定球面测试板的面形参数；其中，所述球面测试板的面形参数包括口径和曲率半径；S12、确定所述球面测试板的表面结构为环形台阶，基于干涉仪的参数及采样分析要求计算所述环形台阶的间距；S13、基于所述球面测试板的面形参数及所述环形台阶的间距...

【专利技术属性】
技术研发人员：王孝坤，蔡梦雪，胡海翔，张志宇，李凌众，张学军，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：