【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
高真空环境下的三维移动机构,其特征在于:包括水平导轨(10)、垂直导轨(12)、水平小车(11)、垂直小车(13)、传动轴(8、9、22)、丝杆(7、21)、锥齿轮组(1、2、3、17、18)、蜗杆(4、5、6、19、20)及三台步进计数电机。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:蔡国飙,王文龙,凌桂龙,黄本诚,张国舟,李晓娟,
申请(专利权)人:北京航空航天大学,
类型:发明
国别省市:11[中国|北京]
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