实时散射叠加计量目标制造技术

根据本公开的一或多个实施例，公开一种计量目标。所述计量目标包含具有第一节距的第一组图案元素，其中所述第一组图案元素包含分段图案元素。所述计量目标包含具有第二节距的第二组图案元素，其中所述第二组图案元素包含分段图案元素。所述计量目标包含具有第三节距的第三组图案元素，其中所述第三组图案元素包含分段图案元素。分段图案元素。分段图案元素。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】实时散射叠加计量目标


[0001]本公开大体上涉及叠加计量，且更特定来说涉及实时散射叠加计量。

技术介绍

[0002]叠加计量目标通常经设计以通过特性化具有定位于所关注样本层上的目标特征的叠加目标而提供关于样本的多个层的对准的诊断信息。此外，通常通过汇总在跨样本的各个位置处的多个叠加目标的叠加测量而确定多个层的叠加对准。一些叠加计量目标(例如，散射叠加(SCOL)计量目标)包含经配置以产生可经分析以确定计量测量的衍射图案的周期性结构。通过沿着周期性结构的测量方向(例如，垂直于光栅的元件)照明周期性结构而产生衍射图案。典型SCOL计量目标包含多个单元内所含的周期性结构，其中周期性结构经配置用于沿着至少两个测量方向的照明。然而，含有多个单元的典型SCOL计量目标占用样本的较大表面积，且当与具有经配置用于沿着单个测量方向的计量测量的单元的SCOL计量目标相比时，使用此类目标进行的计量测量需要更多时间。
[0003]因此，具有具备经配置以沿着单个测量方向进行计量测量的单元的SCOL计量目标将为有利的。

技术实现思路

[0004]根据本公开的一或多个实施例，公开一种计量目标。在一个实施例中，所述计量目标包含第一单元。在另一实施例中，所述第一单元包含沿着第一测量方向形成的第一组图案元素的第一部分，其中所述第一组图案元素包括具有第一节距的分段图案元素。在另一实施例中，所述计量目标包含沿着所述第一测量方向形成的第二组图案元素的第一部分，其中所述第二组图案元素包括具有第二节距的分段图案元素。在另一实施例中，所述计量目标包含沿着所述第一测量方向形成的第三组图案元素的第一部分，其中所述第三组图案元素包括具有第三节距的分段图案元素。
[0005]根据本公开的一或多个实施例，公开一种系统。在一个实施例中，所述系统包含一或多个控制器，所述一或多个控制器具有通信地耦合到一或多个计量子系统的一或多个处理器，其中所述一或多个处理器经配置以执行维持于存储器中的一组程序指令，其中所述一组程序指令经配置以致使所述一或多个处理器：从所述一或多个计量子系统接收指示从样本的一或多个计量目标的第一组图案元素、第二组图案元素及第三组图案元素发出的照明的一或多个信号，其中所述样本的所述一或多个计量目标包括：第一单元，所述第一单元包括沿着第一测量方向形成的第一组图案元素的第一部分，其中所述第一组图案元素包括具有第一节距的分段图案元素；沿着所述第一测量方向形成的第二组图案元素的第一部分，其中所述第二组图案元素包括具有第二节距的分段图案元素；及沿着所述第一测量方向形成的第三组图案元素的第一部分，其中所述第三组图案元素包括具有第三节距的分段图案元素；基于所述第一组图案元素获取第一叠加测量；基于所述第二组图案元素获取第二叠加测量；基于所述第三组图案元素获取第三叠加测量；及基于所述第一叠加测量、所述
第二叠加测量或所述第三叠加测量中的至少两者确定叠加误差。
[0006]根据本公开的一或多个实施例，公开一种测量叠加的方法。在一个实施例中，所述方法包含照明具有一或多个计量目标的样本。在另一实施例中，所述方法包含检测指示从所述样本的所述一或多个计量目标的第一组图案元素、第二组图案元素及第三组图案元素发出的照明的一或多个信号，其中所述样本的所述一或多个计量目标包括：第一单元，所述第一单元包括沿着第一测量方向形成的第一组图案元素的第一部分，其中所述第一组图案元素包括具有第一节距的分段图案元素；沿着所述第一测量方向形成的第二组图案元素的第一部分，其中所述第二组图案元素包括具有第二节距的分段图案元素；及沿着所述第一测量方向形成的第三组图案元素的第一部分，其中所述第三组图案元素包括具有第三节距的分段图案元素。在另一实施例中，所述方法包含基于指示从所述第一组图案元素发出的照明的所述一或多个信号获取第一叠加测量。在另一实施例中，所述方法包含基于指示从所述第二组图案元素发出的照明的所述一或多个信号获取第二叠加测量。在另一实施例中，所述方法包含基于指示从所述第三组图案元素发出的照明的所述一或多个信号获取第三叠加测量。在另一实施例中，所述方法包含基于所述第一叠加测量、所述第二叠加测量或所述第三叠加测量中的至少一者确定叠加误差。
[0007]根据本公开的一或多个实施例，公开一种形成计量目标的方法。在一个实施例中，所述方法包含形成第一单元，所述第一单元包括沿着第一测量方向形成的第一组图案元素的第一部分，其中所述第一组图案元素包括具有第一节距的分段图案元素；沿着所述第一测量方向形成的第二组图案元素的第一部分，其中所述第二组图案元素包括具有第二节距的分段图案元素；及沿着所述第一测量方向形成的第三组图案元素的第一部分，其中所述第三组图案元素包括具有第三节距的分段图案元素。
附图说明
[0008]所属领域的技术人员通过参考附图可更好理解本公开的许多优点。
[0009]图1A是根据本公开的一或多个实施例的计量目标的俯视图。
[0010]图1B是根据本公开的一或多个实施例的计量目标的俯视图。
[0011]图1C是根据本公开的一或多个实施例的计量目标的俯视图。
[0012]图1D是根据本公开的一或多个实施例的计量目标的侧视图。
[0013]图2是根据本公开的一或多个实施例的计量系统的概念视图。
[0014]图3说明根据本公开的一或多个实施例的计量子系统的概念视图。
[0015]图4是描绘根据本公开的一或多个实施例的测量样本的叠加的方法的步骤的过程流程图。
[0016]图5是描绘根据本公开的一或多个实施例的形成计量目标的方法的步骤的工艺流程图。
具体实施方式
[0017]半导体装置可形成为衬底上的经图案化材料的多个经印刷层。每一经印刷层可通过一系列工艺步骤(例如(但不限于)一或多个材料沉积步骤、一或多个光刻步骤或一或多个蚀刻步骤)制造。在一些制造工艺中，可使用一或多种光致抗蚀剂材料形成经印刷层。例
如，可将光致抗蚀剂材料沉积到衬底上。接着，可使光致抗蚀剂材料暴露于照明，其中照明在光致抗蚀剂材料上产生潜在目标图案。接着，可将潜在目标图案(或由潜在目标图案形成的经显影目标图案)用作用于经配置以在衬底上形成用于在叠加及/或计量应用中使用的最终目标图案的一或多个光刻及/或一或多个蚀刻步骤的图案。在其它制造工艺中，使光致抗蚀剂材料暴露于照明以在光致抗蚀剂材料上产生潜在目标图案，且在叠加及/或计量应用中使用潜在目标图案(或由潜在目标图案形成的经显影目标图案)。
[0018]在制造期间，每一经印刷层通常必须在选定公差内制造以正确地构造最终装置。例如，必须相对于先前制造的层良好地特性化及控制每一层中的经印刷元件的相对放置(例如，叠加或叠加参数)。因此，可在一或多个经印刷层上制造计量目标以实现层的叠加的高效特性化。因此，经印刷层上的叠加目标特征的偏差可表示所述层上的经印刷装置特征的经印刷特性的偏差。此外，在一个制造步骤(例如，在一或多个样本层的制造之后)测量的叠加可用于产生用于精确地对准用于在后续制造步骤中制本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种计量目标，其包括第一单元，其中所述第一单元包括：第一组图案元素的第一部分，其沿着第一测量方向形成，其中所述第一组图案元素包括具有第一节距的分段图案元素；第二组图案元素的第一部分，其沿着所述第一测量方向形成，其中所述第二组图案元素包括具有第二节距的分段图案元素；及第三组图案元素的第一部分，其沿着所述第一测量方向形成，其中所述第三组图案元素包括具有第三节距的分段图案元素。2.根据权利要求1所述的计量目标，其进一步包括第二单元，其中所述第二单元包括：所述第一组图案元素的第二部分，其中所述第一组图案元素的所述第二部分沿着第二测量方向形成；所述第二组图案元素的第二部分，其中所述第二组图案元素的所述第二部分沿着所述第二测量方向形成；及所述第三组图案元素的第二部分，其中所述第三组图案元素的所述第二部分沿着所述第二测量方向形成。3.根据权利要求2所述的计量目标，其中所述计量目标与基于散射的叠加(SCOL)计量模式兼容。4.根据权利要求3所述的计量目标，其中所述计量目标与一或多个实时计量模式兼容。5.根据权利要求2所述的计量目标，其中所述第一组图案元素、所述第二组图案元素及所述第三组图案元素中的两者中的每一者的至少一部分形成于样本的不同层上。6.根据权利要求5所述的计量目标，其中所述第一组图案元素及所述第三组图案元素中的每一者的至少一部分形成于所述样本的第一层上，且其中所述第二组图案元素的至少一部分形成于所述样本的第二层上。7.根据权利要求1所述的计量目标，其中所述样本包括半导体晶片。8.一种系统，其包括：一或多个控制器，其具有通信地耦合到一或多个计量子系统的一或多个处理器，其中所述一或多个处理器经配置以执行维持于存储器中的一组程序指令，其中所述一组程序指令经配置以致使所述一或多个处理器：从所述一或多个计量子系统接收指示从样本的一或多个计量目标的第一组图案元素、第二组图案元素及第三组图案元素发出的照明的一或多个信号，其中所述样本的所述一或多个计量目标包括：第一单元，所述第一单元包括沿着第一测量方向形成的第一组图案元素的第一部分，其中所述第一组图案元素包括具有第一节距的分段图案元素；沿着所述第一测量方向形成的第二组图案元素的第一部分，其中所述第二组图案元素包括具有第二节距的分段图案元素；及沿着所述第一测量方向形成的第三组图案元素的第一部分，其中所述第三组图案元素包括具有第三节距的分段图案元素；基于所述第一组图案元素获取第一叠加测量；基于所述第二组图案元素获取第二叠加测量；基于所述第三组图案元素获取第三叠加测量；及基于所述第一叠加测量、所述第二叠加测量或所述第三叠加测量中的至少两者确定叠加误差。
9.根据权利要求8所述的系统，其中所述样本的所述一或多个计量目标进一步包括第二单元，其中所述第二单元包括：所述第一组图案元素的第二部分，其中所述第一组图案元素的所述第二部分沿着第二测量方向形成；所述第二组图案元素的第二部分，其中所述第二组图案元素的所述第二部分沿着所述第二测量方向形成；及所述第三组图案元素的第二部分，其中所述第三组图案元素的所述第二部分沿着所述第二测量方向形成。10.根据权利要求8所述的系统，其中所述一或多个计量子系统包括：照明源；一或多个照明元件，其经配置以将来自所述照明源的照明光束引导到所述样本上；一或多个检测器；及一或多个投影元件，其经配置以收集从所述样本发出的照明且将所述照明引导到所述一或多个检测器。11.根据权利要求10所述的系统，其中所述一或多个计量子系统包括一或多个基于散射的叠加(SCOL)计量子系统。12.根据权利要求11所述的系统，其中所述第一叠加测量、所述第二叠...

【专利技术属性】
技术研发人员：Y，
申请(专利权)人：科磊股份有限公司，
类型：发明
国别省市：