【技术实现步骤摘要】
基于热电堆的流量感测设备
[0001]本申请是申请日为2020年4月20日、申请号为202010311039.0、专利技术名称为“基于热电堆的流量感测设备”的专利技术专利申请的分案申请。
[0002]本公开的示例实施方案总体上涉及传感器，并且更具体地涉及流量传感器。
技术介绍
[0003]工业和商业应用越来越多地使用流量传感器来测量和控制气体和液体的质量流量。常规流量传感器设计通常表现出降低它们的测量灵敏度的漂移特性。
[0004]申请人已经发现了与常规流量传感器相关的许多缺陷和问题。通过所付努力、智慧和创新，包括在本公开的实施方案中的开发解决方案已经解决了许多这些识别的问题，本文详细描述了这些解决方案的许多示例。
技术实现思路
[0005]本文公开了用于提供基于热电堆的流量感测设备的系统、装置、方法和计算机程序产品，该设备具有低漂移或无漂移特性，在某些情况下，该特性与互补金属氧化物半导体(CMOS)处理兼容。
[0006]在一个示例性实施方案中，提供了一种用于感测流体流量的装置。该装...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于感测流体流量的装置，所述装置包括：流量感测设备，所述流量感测设备包括：加热结构，所述加热结构具有限定所述流量感测设备的上游和下游部段的中心线；膜结构；第一热电堆，其中所述第一热电堆的至少一部分设置在所述膜结构上，并且其中所述第一热电堆包括：设置在所述膜结构上的第一多个上游热电偶结，和偏离所述膜结构的第二多个上游热电偶结；和第二热电堆，其中所述第二热电堆的至少一部分设置在所述膜结构上，并且其中所述第二热电堆包括：设置在所述膜结构上的第一多个下游热电偶结，和不设置在所述膜结构上的第二多个下游热电偶结。2.根据权利要求1所述的装置，进一步包括限定微桥结构的基板，其中所述加热结构的一部分设置在所述微桥结构上。3.根据权利要求1所述的装置，其中设置在所述膜结构上的所述第一多个上游热电偶结设置在所述中心线的上游。4.根据权利要求1所述的装置，其中设置在所述膜结构上的所述第二多个上游热电偶结设置在所述中心线的进一步上游。5.根据权利要求1所述的装置，其中设置在所述膜结构上的所述第一多个下游热电偶结设置在所述中心线的下游。6.根据权利要求1所述的装置，其中设置在所述膜结构上的所述第二多个下游热电偶结设置在所述中心线的进一步下游。7.根据权利要求1所述的装置，其中最大温差由位于所述中心线上游的第一位置处的最小温差和位于所述中心线下游的第二位置处的最大温差限定，其中所述上游热电偶结设置在所述第一位置附近，并且其中所述下游热电偶结设置在所述第二位置附近。8.根据权利要求1所述的装置，其中所述上游热电偶结和所述下游热电偶结设置在最大温差...
【专利技术属性】
技术研发人员：罗伯特西嘉石，斯科特爱德华贝克，王勇发，伊恩本特利，比尔胡佛，
申请(专利权)人：霍尼韦尔国际公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。