一种低噪声宽带宽的复合压力传感器制造技术

本发明专利技术提供一种低噪声宽带宽的复合压力传感器，以解决现有单一原理压力传感器难以实现静态和动态宽频压力的精确测量问题。该压力传感器由复合压力传感探头和复合信号调理电路组成，所述复合压力传感探头包括由外壳、基座、波纹膜片组成并填充压力介质的密闭腔体，安装在密闭腔体的压阻式敏感元件和压电式敏感元件测量待测宽频压力；所述复合信号调理电路包括电桥放大器、电荷放大器、低通滤波器、高通滤波器和加法运算器，对复合压力传感探头输出的压阻测量信号与压电测量信号进行处理，最终输出宽频压力信号。本发明专利技术结合压阻式压力传感器和压电式压力传感器的功能优势和性能特点，可同时实现静态和动态压力的高精度测量。可同时实现静态和动态压力的高精度测量。可同时实现静态和动态压力的高精度测量。

【技术实现步骤摘要】
一种低噪声宽带宽的复合压力传感器


[0001]本专利技术属于压力传感器
，具体涉及一种低噪声宽带宽的复合压力传感器。

技术介绍

[0002]压力传感器是一种能够感受压力信号，并能按照一定规律将压力信号转换成可用的输出电信号的器件，通常由压力敏感元件和信号调理电路组成，广泛应用于航空航天、工业控制、科学研究、消费产品等领域。目前，根据不同的压力敏感原理和信号调理方式，压力传感器主要包括压阻式、压电式等类型，它们具有不同的测量特性，可满足特定的应用场合需求。
[0003]压阻式压力传感器是基于半导体单晶硅的压阻效应原理制成的传感器，利用集成电路工艺直接在硅平膜片上按一定晶向制成扩散压敏电阻，当硅膜片受压时，膜片的变形将使扩散电阻的阻值发生变化，经电桥放大电路等转换为输出信号。压阻式压力传感器具有尺寸小、灵敏度高、制造成本较低等优点，但由于电阻噪声影响，在高频范围内存在较大的噪声，仅适用于低频静态压力的测量。
[0004]压电式压力传感器是基于压电材料的压电效应原理制成的传感器，压电材料受到待测压力的作用时，表面形成电荷，电荷经本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种低噪声宽带宽的复合压力传感器，其特征在于：包括复合压力传感探头和复合信号调理电路；所述复合压力传感探头测量待测宽频压力，输出压阻测量信号和压电测量信号；所述复合信号调理电路与复合压力传感探头连接，处理所述压阻测量信号和压电测量信号，输出宽频压力信号。2.根据权利要求1中所述的一种低噪声宽带宽的复合压力传感器，其特征在于：所述复合压力传感探头由外壳、基座、波纹膜片组成密闭腔体；所述波纹膜片将外界压力耦合进入密闭腔体，所述密闭腔体的内部填充压力介质，提供统一的待测宽频压力；所述密闭腔体的基座上设置压阻式敏感元件和压电式敏感元件，所述压阻式敏感元件通过封装引线输出压阻测量信号，所述压电式敏感元件通过封装引线输出压电测量信号。3.根据权利要求2中所述的一种低噪声宽带宽的复合压力传感器，其特征在于：所述复合信号调理电路包括电桥放大器、电荷放大器、低通滤波器、高通滤波器和加法运算器；所述压阻测量信号输入电桥放大器...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏豪杰，丁思雨，潘成亮，赵会宁，张进，常松涛，
申请(专利权)人：合肥工业大学，
类型：发明
国别省市：