一种用于浓度测量的流通池结构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于浓度测量的流通池结构，流通池本体上设有药液流道，在药液流道两侧设有对称布置且与药液流道相连通的安装腔，在每个安装腔内均由内至外布置蓝宝石镜片、压块和透镜调节座，压块与流通池本体固定连接，压块将蓝宝石镜片抵触在安装腔内，两个端盖固定在流通池本体的两侧外壁上，端盖将透镜调节座轴向定位在安装腔内，透镜调节座与端盖之间形成有用于透镜调节座进行径向位移的调整间隙，透镜件与透镜调节座固定连接。本实用新型专利技术利用不同浓度的溶液对近红外光的吸光度不同，来得出药液的浓度，用待测液通入本流通池中，根据吸光度不同，得出药液的浓度，本结构测量时间短，抗干扰性强，而且药液测试后可继续使用。可继续使用。可继续使用。

【技术实现步骤摘要】
一种用于浓度测量的流通池结构


[0001]本技术涉及一种用于浓度测量的流通池结构。

技术介绍

[0002]半导体、显示行业工艺制程中通常会用到剥离液和刻蚀液等药液，用于驱动电路的成型，药液的浓度通常需要检测，以保证工艺效果。目前行业中常用的浓度检测方式为酸碱滴定的方式，或采用紫外分光的方式测量药液浓度，然而这两种方式均存在许多固有的问题。例如，酸碱滴定反应时间较久，结果输出较慢，无法做到实时检测；紫外分光的方式需要将药液经过固定的比色皿中，利用浓度不同，药液的色散效果不同原理进行浓度检测，此种方式检测精度不高，稳定性较差 。

技术实现思路

[0003]本技术是为了解决上述现有技术存在的问题而提供一种用于浓度测量的流通池结构。
[0004]本技术所采用的技术方案有：
[0005]一种用于浓度测量的流通池结构，包括透镜调节座、压块、蓝宝石镜片、流通池本体、端盖和包含有聚焦透镜和透镜壳体的透镜件，所述流通池本体上设有贯穿于流通池本体的药液流道，在药液流道两侧设有对称布置且与药液流道相连通的安装腔，在每个安装腔内均由内至外布置蓝宝石镜片、压块和透镜调节座，压块与流通池本体固定连接，压块将蓝宝石镜片抵触在安装腔内，两个端盖固定在流通池本体的两侧外壁上，端盖将透镜调节座轴向定位在安装腔内，透镜调节座与端盖之间形成有用于透镜调节座进行径向位移的调整间隙，透镜件与透镜调节座固定连接。
[0006]进一步地，所述安装腔内对蓝宝石镜片进行轴向定位的台阶面， 在蓝宝石镜片与所述台阶面之间设有密封圈。
[0007]进一步地，所述密封圈采用全氟材质。
[0008]进一步地，所述透镜调节座为T形座，端盖与流通池本体固定后，透镜调节座的T台压触在端盖与压块之间，透镜调节座的T台外壁面与端盖中的孔面之间形成所述调整间隙。
[0009]进一步地，所述流通池本体上设有用于安装传感器的测量孔。
[0010]进一步地，所述流通池本体采用FPA材质。
[0011]本技术具有如下有益效果：
[0012]本技术利用不同浓度的溶液对近红外光的吸光度不同，来得出药液的浓度，用待测液通入本流通池中，根据吸光度不同，得出药液的浓度，本结构测量时间短，抗干扰性强，而且药液测试后可继续使用。
附图说明
[0013]图1为本技术三维结构图。
[0014]图2为本技术平面结构图。
[0015]图3为本技术平面剖视图。
[0016]图4为本技术三维剖视图（该视图中剖面线省略）。
[0017]图5为透镜调节座和端盖的装配图。
具体实施方式
[0018]下面结合附图对本技术作进一步的说明。
[0019]如图1至图5，本技术一种用于浓度测量的流通池结构，包括透镜调节座2、压块3、蓝宝石镜片4、流通池本体6、端盖7和包含有聚焦透镜和透镜壳体的透镜件1。
[0020]流通池本体6上设有贯穿于流通池本体的药液流道61，在药液流道61两侧设有对称布置且与药液流道61相连通的安装腔62，安装腔62与药液流道61相垂直。在每个安装腔62内均由内至外布置蓝宝石镜片4、压块3和透镜调节座2，压块3通过螺栓与流通池本体6固定连接，压块3将蓝宝石镜片4抵触在安装腔62内，两个端盖7通过螺栓固定在流通池本体6的两侧外壁上，端盖7将透镜调节座2轴向定位在安装腔62内，透镜调节座2与端盖7之间形成有用于透镜调节座2进行径向位移的调整间隙20，所述径向位移是沿着安装腔62的径向方向进行位移。透镜件1的透镜壳体与透镜调节座2之间螺纹连接。
[0021]安装腔62内对蓝宝石镜片4进行轴向定位的台阶面，以及对压块3进行轴向定位的台阶面，在对蓝宝石镜片4的进行轴心定位的台阶面处设有密封圈5。
[0022]本技术中的蓝宝石镜片4主要是两个作用，一是密封药液，压紧密封圈，二是蓝宝石镜片透过率高，对光强缩减较小。
[0023]压块3起到密封力的作用，主要将蓝宝石镜片4压紧，防止流通池的药液泄漏.
[0024]密封圈5采用全氟材质，可以耐各种药液腐蚀。流通池本体6采用FPA材质，可测试各种腐蚀性药液。
[0025]透镜调节座2为T形座，端盖7与流通池本体6固定后，透镜调节座2的T台压触在端盖7与压块3之间，透镜调节座2的T台外壁面与端盖7中的孔面之间形成所述调整间隙20。
[0026]在调整透镜调节座2的位置时，松开端盖7上的螺栓，然后对透镜调节座2的位置调整，实现将两端透镜调节至统一直线，然后固定端盖7上的螺栓即可。透镜件1将近红外激光的光斑进行汇集，使光斑尺寸更小，提高光强。
[0027]在流通池本体6上设有用于安装传感器的测量孔60（例如温度传感器），测量孔60与药液流道61不连通，通过热传递方式对药液流道61内的药液进行温度测量。
[0028]本技术通过采用不同药液具有不同的近红外光吸光度手段，达到了准确快速检测药液浓度效果。
[0029]使用时，采用近红外光谱作为光源，利用聚焦透镜，汇聚激光光斑，提升光强，增加检测的灵敏度。采用全密封结构，并使用耐腐蚀性材质，可以测试各种耐腐蚀性材质。采用无接触式测试方法，药液可以重复使用，不损失药液。
[0030]以上所述仅是本技术的优选实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本技术原理的前提下还可以作出若干改进，这些改进也应视为本技术的保护范围。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于浓度测量的流通池结构，其特征在于：包括透镜调节座（2）、蓝宝石镜片（4）、流通池本体（6）和透镜件（1），所述流通池本体（6）上设有贯穿于流通池本体的药液流道（61），在药液流道（61）两侧设有对称布置且与药液流道（61）相连通的安装腔（62），在每个安装腔（62）内均由内至外安装蓝宝石镜片（4）和透镜调节座（2），且透镜调节座（2）在流通池本体（6）上可沿着安装腔（62）的径向方向进行位移调整，透镜件（1）与透镜调节座（2）固定连接。2.如权利要求1所述的用于浓度测量的流通池结构，其特征在于：在每个安装腔（62）内均设有一个压块（3），压块（3）与流通池本体（6）固定连接，压块（3）将蓝宝石镜片（4）抵触在安装腔（62）内。3.如权利要求2所述的用于浓度测量的流通池结构，其特征在于：所述流通池本体（6）外壁上且位于药液流道（61）的两侧分别固定一端盖（7），端盖（7）将透镜调节座（2）轴向定位在安装腔（62）内。4.如权利要求3所述的用于浓度测量的...

【专利技术属性】
技术研发人员：钟立华，刘苏伟，李素华，袁亚鸿，
申请(专利权)人：江苏福拉特自动化设备有限公司，
类型：新型
国别省市：