半导体用管线监控装置制造方法及图纸

本申请提出了一种半导体用管线监控装置，用于监控连通氮气柜的通气管，包括：电磁阀，装设在所述通气管上，用于控制所述通气管的连通；流量计，装设在所述通气管上，用于监测所述通气管的流量数据；第一无线通信单元，与所述电磁阀连接，用于传输所述电磁阀的开关状态；第二无线通信单元，与所述流量计连接，用于传输所述流量计监测的流量数据。本申请通过在通气管上装设电磁阀和流量计，并设置连接电磁阀的第一无线通信单元和连接流量计的第二无线通信单元，实现了对连通氮气柜的通气管的实时监控。监控。监控。

【技术实现步骤摘要】
半导体用管线监控装置


[0001]本申请涉及半导体用管线监控
，具体涉及一种半导体用管线监控装置。

技术介绍

[0002]一般而言，半导体工厂中应用的晶圆氮气柜，其使用的氮气是经由外部管线自厂务气压源运送来的。若因外部管线或接头老旧/破损而导致氮气泄漏，目前尚无法实时进行监测，且若未能实时发现将造成气体耗用浪费。

技术实现思路

[0003]本申请提出了一种半导体用管线监控装置，用于监控连通氮气柜的通气管。
[0004]为实现上述目的，本申请采用如下技术方案：一种半导体用管线监控装置，用于监控连通氮气柜的通气管，包括：电磁阀，装设在所述通气管上，用于控制所述通气管的连通；流量计，装设在所述通气管上，用于监测所述通气管的流量数据；第一无线通信单元，与所述电磁阀连接，用于传输所述电磁阀的开关状态；第二无线通信单元，与所述流量计连接，用于传输所述流量计监测的流量数据。
[0005]在一些可选的实施方式中，所述的半导体用管线监控装置还包括：伺服单元，与所述第一无线通信单元及所述第二无线通信单元无线连接，用于接收所述电磁阀的开关状态和所述流量计监测的流量数据，在所述电磁阀关闭且所述流量数据不为零时，判断所述通气管发生气体泄漏。
[0006]在一些可选的实施方式中，所述的半导体用管线监控装置还包括：警示单元，与所述伺服单元连接，用于在所述通气管发生气体泄漏时发出提示信号。
[0007]在一些可选的实施方式中，所述警示单元包括发光模组和发声模组中的至少一个。
[0008]在一些可选的实施方式中，所述的半导体用管线监控装置还包括：显示单元，与所述伺服单元连接，用于显示所述流量计监测的流量数据。
[0009]在一些可选的实施方式中，所述电磁阀相较于所述流量计更靠近所述氮气柜。
[0010]在一些可选的实施方式中，所述通气管包括第一管线和连接于所述第一管线的多个第二管线，所述第一管线连接气源，所述第二管线连通所述氮气柜，多个所述电磁阀分别装设在多个所述第二管线上，所述流量计装设在所述第一管线上。
[0011]在一些可选的实施方式中，所述的半导体用管线监控装置还包括：在一些可选的实施方式中，所述的半导体用管线监控装置还包括：信号转换单元，连接于所述流量计与所述第二无线通信单元之间。
[0012]在一些可选的实施方式中，所述流量计监测的流量数据为RS485信号，所述信号转换单元用于将所述RS485信号转换成适用于所述第二无线通信单元的TTL信号。
[0013]在一些可选的实施方式中，所述第一无线通信单元包括蓝牙模组、wifi模组、ZigBee模组和射频无线模组中的至少一种；所述第二无线通信单元包括蓝牙模组、wifi模
组、ZigBee模组和射频无线模组中的至少一种。
[0014]为了解决目前无法实时监控连通氮气柜的通气管的技术问题，本申请提出了一种半导体用管线监控装置。本申请通过在通气管上装设电磁阀和流量计，并设置连接电磁阀的第一无线通信单元和连接流量计的第二无线通信单元，可以实时将电磁阀的开关状态和监测的流量数据无线传输出来，实现了对连通氮气柜的通气管的实时监控。进一步的，伺服单元可以根据传输出来的电磁阀的开关状态和监测的流量数据，判断通气管是否发生气体泄漏，例如在电磁阀关闭且流量数据不为零时，可以确认发生了气体泄漏。
附图说明
[0015]通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：
[0016]图1是根据本申请一个实施例的半导体用管线监控装置1a的结构示意图；
[0017]图2是根据本申请一个实施例的半导体用管线监控装置2a的结构示意图。
[0018]附图标记/符号说明：
[0019]10
‑
氮气柜；11
‑
通气管；12
‑
电磁阀；13
‑
流量计；14
‑
第一无线通信单元；15
‑
第二无线通信单元；16
‑
信号转换单元；17
‑
伺服单元；18
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警示单元；19
‑
显示单元；20
‑
气源。
具体实施方式
[0020]下面结合附图和实施例对说明本申请的具体实施方式，通过本说明书记载的内容本领域技术人员可以轻易了解本申请所解决的技术问题以及所产生的技术效果。可以理解的是，此处所描述的具体实施例仅仅用于解释相关专利技术创造，而非对该专利技术创造的限定。另外，为了便于描述，附图中仅示出了与有关专利技术创造相关的部分。
[0021]应容易理解，本申请中的“在...上”、“在...之上”和“在...上面”的含义应该以最广义的方式解释，使得“在...上”不仅意味着“直接在某物上”，而且还意味着包括存在两者之间的中间部件或层的“在某物上”。
[0022]此外，为了便于描述，本文中可能使用诸如“在...下面”、“在...之下”、“下部”、“在...之上”、“上部”等空间相对术语来描述一个元件或部件与附图中所示的另一元件或部件的关系。除了在图中描述的方位之外，空间相对术语还意图涵盖装置在使用或操作中的不同方位。设备可以以其他方式定向(旋转90
°
或以其他定向)，并且在本文中使用的空间相对描述语可以被同样地相应地解释。
[0023]需要说明的是，说明书附图中所绘示的结构、比例、大小等，仅用于配合说明书所记载的内容，以供本领域技术人员的了解与阅读，并非用以限定本申请可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本申请所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本申请所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“上”、“第一”、“第二”及“一”等用语，也仅为便于叙述的明了，而非用以限定本申请可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当也视为本申请可实施的范畴。
[0024]还需要说明的是，本申请的实施例对应的纵向截面可以为对应前视图方向截面，横向截面可以为对应右视图方向截面，水平截面可以为对应上视图方向截面。
[0025]另外，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请。
[0026]参考图1，图1是根据本申请一个实施例的半导体用管线监控装置1a的结构示意图。本申请实施例的半导体用管线监控装置1a，可用于监控连通氮气柜10的通气管11，可用于判断通气管11是否发生气体泄漏。该通气管11的另一端连接气源20，气源20中的气体(氮气)通过通气管11输送到氮气柜10。氮气柜10可以为晶圆氮气柜。
[0027]如图1所示，本申请实施例的半导体用管线监控装置1a包括：
[0028]电磁阀12，装设在通气管11上，用于控制通气管11的连通；
[0029本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体用管线监控装置，其特征在于，用于监控连通氮气柜的通气管，包括：电磁阀，装设在所述通气管上，用于控制所述通气管的连通；流量计，装设在所述通气管上，用于监测所述通气管的流量数据；第一无线通信单元，与所述电磁阀连接，用于传输所述电磁阀的开关状态；第二无线通信单元，与所述流量计连接，用于传输所述流量计监测的流量数据。2.根据权利要求1所述的半导体用管线监控装置，其特征在于，还包括：伺服单元，与所述第一无线通信单元及所述第二无线通信单元无线连接，用于接收所述电磁阀的开关状态和所述流量计监测的流量数据，在所述电磁阀关闭且所述流量数据不为零时，判断所述通气管发生气体泄漏。3.根据权利要求2所述的半导体用管线监控装置，其特征在于，还包括：警示单元，与所述伺服单元连接，用于在所述通气管发生气体泄漏时发出提示信号。4.根据权利要求3所述的半导体用管线监控装置，其特征在于，所述警示单元包括发光模组和发声模组中的至少一个。5.根据权利要求2所述的半导体用管线监控装置，其特征在于，还包括：显示单元，与所述伺服单元连接，用于显示所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴宗霖，廖伟杰，
申请(专利权)人：日月光半导体制造股份有限公司，
类型：新型
国别省市：