基于双波段类电磁诱导透明效应的液体检测传感器芯片制造技术

本发明专利技术公开了一种基于双波段类电磁诱导透明效应的液体检测传感器芯片，该传感器芯片包括金属层和基底层，其中金属层为外部的金属方形开口谐振器和内部的双圆形开口环二聚体谐振器构成的单元结构阵列，单元结构阵列按正方周期排列；基底层用于放置金属层的金属方形开口谐振器和双圆形开口环二聚体谐振器。当太赫兹波垂直照射在传感器芯片上时，金属结构激励的两种明

【技术实现步骤摘要】
基于双波段类电磁诱导透明效应的液体检测传感器芯片


[0001]本专利技术涉及传感器件
，特别是一种基于双波段类电磁诱导透明效应的液体检测传感器芯片。

技术介绍

[0002]电磁诱导透明(Electromagnetically induced transparency，EIT)是量子系统中的一种物理效应，由于外部条件作用，可以在较宽的不透明光谱中获得较窄的透明窗口，近年来一直是量子光学领域研究的一个热点。由于窄透明窗口的产生，其周围的色散特性也发生了明显的变化，起到了降低光速的作用。EIT效应通常发生在三能级原子系统中，理论上可以用不同跃迁途径之间的相消量子干涉来解释。然而，在量子系统中实现EIT效应的物理条件极其苛刻，往往需要超低温、高强度的泵浦光源。因此，EIT效应在实际工程中的应用和研究受到了很大限制。
[0003]由亚波长结构单元构成的超材料(Matamaterials)可以有效地操控电磁波的幅度、相位以及偏振，实现负折射、理想透镜和电磁隐身等新颖的光学效应。近年来，随着超材料技术的飞速发展，研究人员在人工超材料结构中也发现本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于双波段类电磁诱导透明效应的液体检测传感器芯片，其特征在于，包括金属层(1)和基底层(2)；所述金属层(1)为外部的金属方形开口谐振器和内部的双圆形开口环二聚体谐振器构成的单元结构阵列，单元结构阵列按正方周期排列；所述基底层(2)用于放置金属层(1)的金属方形开口谐振器和双圆形开口环二聚体谐振器。2.根据权利要求1所述的基于双波段类电磁诱导透明效应的液体检测传感器芯片，其特征在于，所述金属层(1)的金属方形开口谐振器和双圆形开口环二聚体谐振器均由2μm厚的铝制成，光学常数由Drude模型来描述，其中等离子体频率w
p
＝2.24x10
16 rad/s，阻尼常数γ＝1.22x10
14 rad/s。3.根据权利要求1所述的基于双波段类电磁诱导透明效应的液体检测传感器芯片，其特征在于，所述基底层(2)采用20μm厚的高分子材料聚酰亚胺薄膜制作而成，介电常数为3.45。4.根据权利要求1所述的基于双波段类电磁诱导透明效应的液体检测传感器芯片，其特征在于，所述金属层(1)的每个传感器单元结构的横剖面均为正方形，边长为90μm。5.根据权利要求1所述的基于双波段类电磁诱导透明效应的液体检测传感器芯片，其特征在于，所述外部的金属方形开口谐振器的内长为50μm，宽度为2μm，开口间距为30μm。6.根据权利要求1所述的基于双波段类电磁诱导透明效应的液体检测传感器芯片，其特征在于，所述内部的双圆形开口环二聚体谐振器...

【专利技术属性】
技术研发人员：李宾，李哲，吴素云，许露，张祖存，
申请(专利权)人：中国船舶集团有限公司第七二三研究所，
类型：发明
国别省市：