用于扫描仪技术领域的带振镜的偏转设备制造技术

本发明专利技术提供了一种用于扫描仪的偏转设备(100、200、300、400)。所述偏转设备(100、200、300、400)包括衬底(102、202)、振镜(106、206、304、404)和致动器装置(110)。所述振镜(106、206、304、404)通过连接器装置(108)布置在所述衬底(102、202)中的所述凹槽(104、204、306、406)中，以这样的方式，所述振镜可以以振荡的方式绕至少两个轴旋转。所述致动器装置(110)使所述振镜(106、206、304、404)振荡。所述致动器装置(110)布置在围绕所述凹槽(104、204、306、406)的所述衬底(102、202)中的一个或多个所述沟槽(112A至D)中，使得所述致动器装置(110)的形状的变化引起所述衬底(102、202)中的运动，从而引起所述振镜(106、206、304、404)的振荡运动。的振荡运动。的振荡运动。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于扫描仪
的带振镜的偏转设备
[0001]本专利技术大体上涉及光学设备，更具体地，涉及包括用于扫描仪的振镜的偏转设备。

技术介绍

[0002]在光学领域，微机电系统(Micro
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Electrical
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Mechanical
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System，MEMS)技术一直是许多光通信尖端设备的使能工具。基于MEMS技术的偏转设备或扫描仪能够进行二维光学扫描，并在各种低功耗和紧凑的扫描应用中发挥着至关重要的作用，包括投影、传感和成像。通常，扫描仪等会使用偏转设备。对于扫描激光投影系统，更大的振幅相当于更高的光学分辨率。因此，基于微机电系统(micro electro mechanical system，MEMS)振镜谐振操作的激光投影被广泛采用。具体来说，光沿着两个轴的偏转可以使用振镜的万向节安装来实现。偏转设备的扫描角度可以相当于振镜机械旋转角度的两倍。振镜可以耦合到弹簧，并机械稳定在芯片结构中，能够沿着至少两个轴振荡。振镜由内部致动器驱动，或通过使用具有连接MEMS振镜以形成耦合振荡系统的致动器的外部驱动机构驱本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种用于扫描仪的偏转设备(100、200、300、400)，其特征在于，所述偏转设备(100、200、300、400)包括：
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衬底(102、202)，
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布置在衬底(102、202)中的凹槽(104、204、306、406)中的振镜(106、206、304、404)，并通过连接器装置(108)连接到衬底(102、202)，使得所述振镜(106、206、304、404)可以以振荡方式绕至少两个轴旋转，
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用于引起振镜(106、206、304、404)振荡的致动器装置(110)，所述致动器装置(110)布置在围绕凹槽(104、204、306、406)的衬底(102、202)中的一个或多个沟槽(112A至D)中，以这样的方式，所述致动器装置(110)的形状的改变将引起衬底(102、202)中的运动，从而引起振镜(106、206、304、404)的振荡运动。2.根据权利要求1所述的偏转设备(100、200、300、400)，其特征在于，所述振镜(106、206、304、404)是MEMS振镜。3.根据上述权利要求中任一项所述的偏转设备(100、200、300、400)，其特征在于，所述致动器装置(110)布置成响应于电信号而改变其形状。4.根据权利要求3所述的偏转设备(100、200、300、400)，其特征在于，所述致动器装置(110)包括一个或多个由电压信号控制的压电元件。5.根据权利要求3所述的偏转设备(100、200、300、400)，其特征在于，所述致动器装置(110)包括一个或多个由电压信号控制的静电梳状元件。6.根据权利要求3所述的偏转设备(100、200、300、400)，其特征在于，所述致动器装置(110)包括一个或多个由电流信号控制的磁力...

【专利技术属性】
技术研发人员：弗兰克，
申请(专利权)人：德国弗劳恩霍夫应用研究促进协会，
类型：发明
国别省市：