薄型光学装置的最小接触保持制造方法及图纸

本文所述的实施方式提供了用于保持光学装置的装置及方法。本文所述的装置及方法提供用于在不接触基板的敏感部分情况下保持基板。这些装置及方法利用保持垫或真空销来接触禁止区，即基板的无源区，以保持基板并防止基板横向移动。此外，保持力在竖直方向上保持基板，而不接触基板。这些方法提供用于调整装置以考虑到基板的多种几何形状。这些方法进一步提供用于调整装置，诸如调整光学装置与抽吸垫之间的间隙，以改变光学装置上的装置的保持力。以改变光学装置上的装置的保持力。以改变光学装置上的装置的保持力。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】薄型光学装置的最小接触保持


[0001]本公开内容的实施方式大体而言系涉及光学装置。更特定而言，本文所述的实施方式涉及用于保持光学装置及方法。

技术介绍

[0002]包括波导组合器(诸如增强现实波导组合器)及平面光学装置(诸如超颖表面)的光学装置被用于帮助重叠图像。产生的光传播穿过光学装置，直到该光离开光学装置并重叠在周围环境上。
[0003]光学装置通常包括设置在光学装置上的结构。光学装置及结构由薄而脆的材料形成，这些材料当暴露于外部应力或外部污染物时可能被损坏。此外，施加在结构上的一些涂层很敏感，并且可能在处理期间被损坏。因此，当在不同的处理工具之间传送光学装置时，光学装置容易损坏。很难在不损坏、偏转或在光学装置上留下标记及残留物的情况下保持(例如，夹持)光学装置。此外，期望用单个装置保持光学装置的不同轮廓。因此，本领域需要的是用于保持光学装置的装置及方法。

技术实现思路

[0004]在一个实施方式中，提供了一种装置。该装置包括基底板。该基底板耦接至杆。该装置进一步包括设置在杆上的抽吸垫。抽吸垫是可操作的，以向待保持本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种装置，包括：基底板，所述基底板耦接至杆；抽吸垫，所述抽吸垫设置在所述杆上，所述抽吸垫是可操作的，以向待保持的基板提供保持力；多个臂，所述多个臂从所述杆及所述抽吸垫径向延伸，所述多个臂耦接至多个致动器，所述致动器是可操作的，以在横向方向或竖直方向上移动所述多个臂；以及保持垫，所述保持垫设置在所述多个臂中的每一个臂上。2.根据权利要求1所述的装置，所述装置进一步包括入口，所述入口耦接至所述杆，所述入口与空气源及所述抽吸垫连通。3.根据权利要求2所述的装置，其中所述抽吸垫包括多个孔隙，所述多个孔隙经由所述入口与所述空气源连通的，所述多个孔隙被设置为穿过所述抽吸垫。4.根据权利要求1所述的装置，其中所述保持垫中的每个保持垫接触所述基板的拐角。5.根据权利要求1所述的装置，其中所述抽吸垫与待保持的所述基板之间的间隙是可操作的，从而被调整来增加或减少待放置在所述基板上的所述保持力。6.根据权利要求1所述的装置，其中光源耦接至所述多个臂。7.根据权利要求1所述的装置，其中视觉系统耦接至所述多个臂，所述视觉系统包括耦接至控制器的一个或多个相机。8.根据权利要求1所述的装置，其中视觉系统耦接至所述多个臂，所述视觉系统包括耦接至控制器的一个或多个传感器。9.根据权利要求1所述的装置，其中所述保持垫被配置为包括接触垫，所述接触垫是可操作的，以当所述基板被保持时接触所述基板的拐角。10.根据权利要求1所述的装置，其中所述保持垫被配置为包括真空垫，所述真空垫是可操作的，以当所述基板被保持时向所述基板的无源部分提供真空力。11....

【专利技术属性】
技术研发人员：亚西尔，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：