显示装置及其制造方法制造方法及图纸

提供了一种显示装置和用于显示装置的制造方法。该显示装置包括：基底，包括发光区域和与发光区域相邻的子区域；堤，布置在基底的发光区域上；台阶补偿图案，布置在基底的子区域上；第一电极和第二电极，布置在堤上并且彼此分隔开；以及发光元件，在发光区域中布置在第一电极与第二电极之间。一电极与第二电极之间。一电极与第二电极之间。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】显示装置及其制造方法


[0001]公开涉及一种显示装置和制造该显示装置的方法。

技术介绍

[0002]随着多媒体技术的发展，显示装置变得越来越重要。因此，已经使用了诸如有机发光二极管(OLED)显示装置、液晶显示(LCD)装置等的各种显示装置。
[0003]典型的显示装置包括诸如有机发光显示面板或液晶显示(LCD)面板的显示面板。发光显示面板可以包括发光元件。例如，发光二极管(LED)包括使用有机材料作为荧光材料的有机发光二极管(OLED)和使用无机材料作为荧光材料的无机LED。

技术实现思路

[0004]技术问题
[0005]公开的实施例提供了一种针对形成接触电极具有改善的工艺裕度的显示装置，其中，通过化学机械抛光(CMP)形成接触电极。
[0006]公开的实施例还提供了一种制造针对形成接触电极具有改善的工艺裕度的显示装置的方法，其中，通过CMP形成接触电极。
[0007]应注意的是，本公开的方面不限于上述方面，并且本领域技术人员将通过以下描述清楚地理解本公开的其它未提及的方面。
[0008]技术方案
[0009]根据公开的实施例，显示装置可以包括：基底，包括发射区域和与发射区域相邻的子区域；堤，设置在基底的发射区域中；高度差补偿图案，设置在基底的子区域中；第一电极和第二电极，设置在堤上，第一电极和第二电极彼此分隔开；以及发光元件，在第一电极与第二电极之间设置在发射区域中。
[0010]堤的顶表面和高度差补偿图案的顶表面可以在同一水平上。/>[0011]堤可以包括彼此分隔开的第一子堤和第二子堤，并且第一电极和第二电极可以分别设置在第一子堤和第二子堤上。
[0012]显示装置还可以包括：第一绝缘层，设置在第一电极和第二电极上；以及第二绝缘层，设置在发光元件上，第二绝缘层暴露发光元件的端部。发光元件可以设置在第一绝缘层上。
[0013]第二绝缘层的顶表面和第一绝缘层的在堤的顶表面上的部分的顶表面可以在同一水平上。
[0014]显示装置还可以包括：第一接触电极，电连接到第一电极和发光元件的第一端部；以及第二接触电极，电连接到第二电极和发光元件的第二端部。第一接触电极和第二接触电极可以彼此分隔开，并且第二绝缘层可以设置在第一接触电极与第二接触电极之间。
[0015]第一接触电极和第二接触电极可以不设置在堤的顶表面上并且不设置在第二绝缘层的顶表面上。
[0016]显示装置还可以包括：第三绝缘层，设置在第一接触电极和第二接触电极上；以及第四绝缘层，设置在第三绝缘层上。第三绝缘层和第四绝缘层包括不同的材料。
[0017]第三绝缘层和第四绝缘层可以不设置在堤的顶表面上并且不设置在第二绝缘层的顶表面上。
[0018]第三绝缘层可以包括氮化硅(SiN
x
)，并且第四绝缘层可以包括氧化硅(SiO
x
)。
[0019]第一电极和第二电极可以延伸以设置在高度差补偿图案上，并且第一电极和第二电极可以暴露高度差补偿图案的顶表面的部分。
[0020]显示装置还可以包括设置在第一电极和第二电极上的第一绝缘层。发光元件可以设置在第一绝缘层上，并且第一绝缘层可以包括在发射区域中暴露第一电极的部分的第一开口、在发射区域中暴露第二电极的部分的第二开口以及在子区域中暴露高度差补偿图案的顶表面的部分的第三开口。
[0021]第三开口可以在子区域中不与第一电极和第二电极叠置。
[0022]在显示装置的剖视图中，第三开口可以定位得比第一开口和第二开口高。
[0023]堤和高度差补偿图案可以形成在同一层中。
[0024]根据公开的另一实施例，制造显示装置的方法可以包括以下步骤：准备包括发射区域和子区域的基底；形成第一对准线和第二对准线，第一对准线和第二对准线可以设置在发射区域和子区域中并且可以彼此分隔开；在发射区域中在第一对准线与第二对准线之间布置发光元件；在发光元件上形成第一绝缘层以暴露发光元件中的每个的端部；在第一绝缘层上形成接触电极材料层；使用化学机械抛光(CMP)以暴露接触电极材料层的部分；以及通过使用蚀刻掩模去除接触电极材料层的部分来形成第一接触电极和第二接触电极，其中，接触电极材料层的被蚀刻掩模暴露的部分可以设置在第一绝缘层的顶表面上，第一接触电极和第二接触电极可以彼此分隔开，并且第一绝缘层可以设置在第一接触电极与第二接触电极之间。
[0025]形成蚀刻掩模的步骤可以包括：在接触电极材料层的整个表面上沉积光致抗蚀剂层；以及通过使用接触电极材料层作为抛光停止件的化学机械抛光工艺去除光致抗蚀剂层的部分，并且通过化学机械抛光工艺使光致抗蚀剂层的部分抛光来形成蚀刻掩模。
[0026]蚀刻掩模的顶表面和接触电极材料层的顶表面在靠近第一绝缘层的区域中在同一水平上。
[0027]形成蚀刻掩模的步骤可以包括：在接触电极材料层上沉积第一绝缘材料层；在第一绝缘材料层上沉积第二绝缘材料层；以及通过使用第一绝缘材料层作为抛光停止件进行化学机械抛光以去除第二绝缘材料层的部分来形成第二绝缘层，第二绝缘层暴露第一绝缘材料层的在第一绝缘层的顶表面上的部分。
[0028]第一绝缘材料层的顶表面和第二绝缘层的顶表面在靠近第一绝缘层的区域中在同一平面上。
[0029]形成蚀刻掩模的步骤还可以包括：通过去除第一绝缘材料层的被第二绝缘层暴露的部分来形成第三绝缘层，第二绝缘层和第三绝缘层暴露接触电极材料层的在第一绝缘层的顶表面上的部分并且形成蚀刻掩模。
[0030]第一绝缘材料层和第二绝缘材料层中的每个可以包括无机材料，并且第一绝缘材料层和第二绝缘材料层可以包括不同的材料。
[0031]其它实施例的细节包括在详细描述和附图中。
[0032]有益效果
[0033]根据公开的前述和其它实施例，可以通过CMP进行用于将形成在第二绝缘层上的接触电极材料层形成为第一接触电极和第二接触电极的接触电极分割工艺，第一接触电极和第二接触电极可以彼此分隔开并且第二绝缘层置于第一接触电极与第二接触电极之间。具体地，可以通过使用第二绝缘层上的接触电极材料层作为抛光停止件进行CMP来形成光致抗蚀剂图案，因此，可以通过稳定地分割接触电极材料层来形成第一接触电极和第二接触电极。因此，由于可以通过CMP稳定地形成第一接触电极和第二接触电极，因此可以改善针对显示装置的工艺裕度。此外，由于可以在子区域中形成高度差补偿图案以使其具有与第二绝缘层的顶表面的高度相同的高度或相似的高度并且可以在高度差补偿图案上形成对准线层，因此可以在对准线分割工艺期间将对准线层分割为第一电极和第二电极而不需要附加的掩模工艺。由此，可以改善针对显示装置的制造效率。
[0034]在其它实施例中，可以通过使用具有不同材料的第一无机膜和第二无机膜的CMP来进行接触电极分割工艺。具体地，可以在第二绝缘层上的接触电极材料层上顺序地形成第一无机膜和第二无机膜，可以使用第一无机膜作为抛光停止件来使第二无机膜抛光本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种显示装置，所述显示装置包括：基底，包括发射区域和与所述发射区域相邻的子区域；堤，设置在所述基底的所述发射区域中；高度差补偿图案，设置在所述基底的所述子区域中；第一电极和第二电极，设置在所述堤上，所述第一电极和所述第二电极彼此分隔开；以及发光元件，在所述第一电极与所述第二电极之间设置在所述发射区域中。2.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述堤的顶表面和所述高度差补偿图案的顶表面在同一水平上。3.根据权利要求2所述的显示装置，其中，所述堤包括彼此分隔开的第一子堤和第二子堤，并且所述第一电极和所述第二电极分别设置在所述第一子堤和所述第二子堤上。4.根据权利要求3所述的显示装置，所述显示装置还包括：第一绝缘层，设置在所述第一电极和所述第二电极上；以及第二绝缘层，设置在所述发光元件上，所述第二绝缘层暴露所述发光元件的端部，其中，所述发光元件设置在所述第一绝缘层上。5.根据权利要求4所述的显示装置，其中，所述第二绝缘层的顶表面和所述第一绝缘层的在所述堤的所述顶表面上的部分的顶表面在同一水平上。6.根据权利要求4所述的显示装置，所述显示装置还包括：第一接触电极，电连接到所述第一电极和所述发光元件的第一端部；以及第二接触电极，电连接到所述第二电极和所述发光元件的第二端部，其中，所述第一接触电极和所述第二接触电极彼此分隔开，并且所述第二绝缘层设置在所述第一接触电极与所述第二接触电极之间。7.根据权利要求6所述的显示装置，其中，所述第一接触电极和所述第二接触电极不设置在所述堤的所述顶表面上并且不设置在所述第二绝缘层的顶表面上。8.根据权利要求6所述的显示装置，所述显示装置还包括：第三绝缘层，设置在所述第一接触电极和所述第二接触电极上；以及第四绝缘层，设置在所述第三绝缘层上，其中，所述第三绝缘层和所述第四绝缘层包括不同的材料。9.根据权利要求8所述的显示装置，其中，所述第三绝缘层和所述第四绝缘层不设置在所述堤的所述顶表面上并且不设置在所述第二绝缘层的顶表面上。10.根据权利要求8所述的显示装置，其中，所述第三绝缘层包括氮化硅，并且所述第四绝缘层包括氧化硅。11.根据权利要求1所述的显示装置，其中，所述第一电极和所述第二电极延伸以设置在所述高度差补偿图案上，并且所述第一电极和所述第二电极暴露所述高度差补偿图案的顶表面的部分。12.根据权利要求1所述的显示装置，所述显示装置还包括：第一绝缘层，设置在所述第一电极和所述第二电极上，其中，
所述发光元件设置在所述第一绝缘层上，并且所述第一绝缘层包括：第一开口，在所述发射区域中暴露所述第一电极的部分；第二开口，在所述发射区域中暴露所述第二电极的部分；以及第三开口，在所述子区域中暴露所述高度差补偿图案的顶表面的部分。13.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：李宗璨，李政炫，金显，南重建，朴章淳，朴浈洙，裵城槿，宋明勳，郑多率，许元亨，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：