一种吸附装置制造方法及图纸

本申请公开一种吸附装置，所述吸附装置包括固定架以及设置于所述固定架上的至少一个吸附头，所述吸附头包括套筒、杆体和吸附组件、第一限位件和第二限位件，所述固定架上开设有固定孔，所述套筒插设于所述固定孔内且所述套筒的两端伸出于所述固定孔，所述第一限位件以及所述第二限位件分别位于所述固定孔的两侧并与所述套筒的外周面配合以将所述套筒固定在所述固定架上；所述杆体贯穿所述套筒，所述杆体的一端与所述吸附组件固定连接，所述杆体的另一端伸出于所述套筒并具有用于防止所述杆体从所述套筒滑出的限位部。本申请通过调节第一限位件以及第二限位件与套筒的外周面相配合的位置即可实现高度调节，以便调节各个吸附头的吸附面的水平高度。附头的吸附面的水平高度。附头的吸附面的水平高度。

【技术实现步骤摘要】
一种吸附装置


[0001]本技术涉及工件移动
，具体涉及一种吸附装置。

技术介绍

[0002]目前，晶圆的主要加工方式为片加工的方式，在对晶圆进行加工的时候，需要夹持或吸附晶圆以对晶圆进行搬运转移，使晶圆在不同工位进行不同操作。在搬运过程中，晶圆夹持或者吸附机构需要在驱动机构的驱动下按照预设方向移动，以接近晶圆，夹持或者吸附后再反向移动离开置放晶圆的工位，然后再在动力机构的驱动下向下一工位移动。
[0003]但是，现有的吸附装置的吸附面的水平高度不方便调节。

技术实现思路

[0004]为解决上述技术问题，本申请提供的吸附装置，吸附头的高度可以调节，从而提高吸附装置的吸附面的水平高度。
[0005]本申请提供一种吸附装置，所述吸附装置包括固定架以及设置于所述固定架上的至少一个吸附头，所述吸附头包括套筒、杆体和吸附组件、第一限位件和第二限位件，所述固定架上开设有固定孔，所述套筒插设于所述固定孔内且所述套筒的两端伸出于所述固定孔，所述第一限位件以及所述第二限位件分别位于所述固定孔的两侧并与所述套筒的外周面配合以将所述套筒固定在所述固定架上；所述杆体贯穿所述套筒，所述杆体的一端与所述吸附组件固定连接，所述杆体的另一端伸出于所述套筒并具有用于防止所述杆体从所述套筒滑出的限位部。
[0006]在一种具体方式中，所述吸附头还包括弹性件，所述弹性件套设在所述杆体的外周，所述弹性件的一端与所述第二限位件抵接，所述弹性件的另一端与所述吸附组件抵接。
[0007]在一种具体方式中，所述吸附组件包括吸嘴头底座以及吸嘴头，所述吸嘴头底座与所述杆体的下端部固定连接，所述吸嘴头与所述吸嘴头底座固定连接。
[0008]在一种具体方式中，所述杆体与所述吸嘴头底座一体成型。
[0009]在一种具体方式中，所述吸嘴头底座的侧面开设有通孔，所述通孔与所述吸嘴头连通，所述通孔通过管路与真空源连通。
[0010]在一种具体方式中，所述第一限位件以及所述第二限位件为螺母，所述套筒的外侧面设置有与所述螺母相配合的螺纹。
[0011]在一种具体方式中，所述限位部包括设置于所述杆体外周面的限位环，所述限位环的外径大于所述套筒的内径。
[0012]在一种具体方式中，所述限位环与所述杆体分体设置，且所述限位环卡设在所述杆体的端部和所述套筒之间。
[0013]在一种具体方式中，所述限位部与所述杆体一体成型。
[0014]在一种具体方式中，所述固定架上设置有多个吸盘，所述固定架呈工字型，工字型所述固定架的四个端部分别设置有一个所述吸盘。
[0015]本申请中的吸附装置在需要调节吸附头在固定架上的高度时，通过调节第一限位件以及第二限位件与套筒的外周面相配合的位置即可实现，由此可以方便地调节各个吸附头的吸附面的水平高度，从而提高吸附效果。
附图说明
[0016]图1为本申请实施例中吸附装置的示意图；
[0017]图2为图1中吸附头位置的示意图；
[0018]图3为图2中吸附头的爆炸图；
[0019]图4为图3的主视图。
[0020]图1
‑
4中附图标记说明如下：
[0021]100
‑
固定架；101
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纵梁；102
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横梁；
[0022]200
‑
吸附头；201
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第一限位件；202
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第二限位件；203
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限位环；2031
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凸起；204
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弹性件；205
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套筒；206
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杆体；2061
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头部；207
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吸附组件；2071
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连接件；2072
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吸嘴头底座；2072a
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第一安装孔；2073
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通气接头；2074
‑
吸嘴头。
具体实施方式
[0023]为了使本
的人员更好地理解本技术方案，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步的详细说明。
[0024]请参考图1，图1为本申请实施例中吸附装置的示意图。
[0025]该实施例中的吸附装置包括吸附头200，吸附头200可以用于吸附工件，工件例如是晶圆，吸附装置还包括固定架100，固定架100设置至少一个吸附头200，一个或者多个吸附头200可以用于吸附一个晶圆。图1中的固定架100具体为工字型，包括纵梁101和位于纵梁101两端的横梁102，每个横梁102的两端分别设置一个吸附头200，即固定架100的四个端部设置四个吸附头200，可以较为可靠、稳定地吸附工件。
[0026]请继续参考图2
‑
4，图2为图1中吸附头200位置的示意图；图3为图2中吸附头200的爆炸图；图4为图3的主视图。
[0027]该实施例中的吸附头200包括套筒205、杆体206、吸附组件207、第一限位件201和第二限位件202。上述的固定架100上开设有固定孔(途中未示出)，具体即开设在图1所示的横梁102的端部，套筒205插设于固定孔内且套筒205的两端伸出于固定孔，第一限位件201以及第二限位件202分别位于固定孔的两侧，图2中第一限位件201和第二限位件202分别位于固定孔的上侧、下侧，且第一限位件201、第二限位件202与套筒205的外周面配合以将套筒205固定在固定架100上。
[0028]第一限位件201、第二限位件202的外径大于固定孔的孔径，则第一限位件201限制套筒205向下移动，第二限位件202限制套筒205向上移动，第一限位件201和第二限位件202之间的间距和横梁102的厚度大致相等，从而将横梁102夹持在第一限位件201和第二限位件202之间，套筒205也得以相对固定架100固定。当改变第一限位件201和第二限位件202在套筒205上的轴向位置时，相应地可以调节套筒205相对固定架100在轴向上的位置，也就可以调节套筒205的上、下高度，套筒205的轴向即上下方向，也是高度方向。
[0029]再看图2、3，杆体206贯穿套筒205，杆体206的一端与吸附组件207固定连接，也可
以是一体设置，杆体206的另一端伸出于套筒205并具有用于防止杆体206从套筒205滑出的限位部，限位部在本实施例中具体为和杆体206分体设置的限位环203，可以限制杆体206在重力作用下向下滑出套筒205。
[0030]上述提到第一限位件201和第二限位件202可以调节套筒205相对固定架100的高度位置，而杆体206和套筒205限位连接，相当于通过限位部悬挂于套筒205，则套筒205高度的调节，相应地也就可调节杆体206以及吸附组件207的高度。因此，本实施例中的吸附装置在需要调节吸附头200在固定架100上的高度时，通过调节第一限位件201以及本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种吸附装置，所述吸附装置包括固定架以及设置于所述固定架上的至少一个吸附头，其特征在于，所述吸附头包括套筒、杆体和吸附组件、第一限位件和第二限位件，所述固定架上开设有固定孔，所述套筒插设于所述固定孔内且所述套筒的两端伸出于所述固定孔，所述第一限位件以及所述第二限位件分别位于所述固定孔的两侧并与所述套筒的外周面配合以将所述套筒固定在所述固定架上；所述杆体贯穿所述套筒，所述杆体的一端与所述吸附组件固定连接，所述杆体的另一端伸出于所述套筒并具有用于防止所述杆体从所述套筒滑出的限位部。2.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述吸附头还包括弹性件，所述弹性件套设在所述杆体的外周，所述弹性件的一端与所述第二限位件抵接，所述弹性件的另一端与所述吸附组件抵接。3.根据权利要求1所述的吸附装置，其特征在于，所述吸附组件包括吸嘴头底座以及吸嘴头，所述吸嘴头底座与所述杆体的下端部固定连接，所述吸嘴头与所述吸嘴头底座固定连接。4.根据权利要求3所述的吸附装置，其特征在于，所述杆体与所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：马强，钮成杰，
申请(专利权)人：苏州镁伽科技有限公司，
类型：新型
国别省市：