光谱芯片制造技术

本申请涉及一种光谱芯片，其中，所述光谱芯片包括图像传感器和被设置于所述图像传感器的感光路径上的至少一调制层。相应地，所述图像传感器包括多个物理像素，每一所述调制层包括多个结构单元，其中，每一所述结构单元至少对应于一个所述物理像素。所述光谱芯片通过在图像传感器上设置调制层以使得所述光谱芯片既能够用于光谱恢复又可以用于光谱成像。特别地，在一些示例中，所述调制层包括调制区域和非调制区域，所述调制区域能够对抵达图像传感器的光线进行调制，而非调制区域则不对光线进行调制。进行调制。进行调制。

【技术实现步骤摘要】
光谱芯片


[0001]本申请涉及计算光谱领域，更为具体地说，涉及一种光谱芯片。

技术介绍

[0002]光与物质发生相互作用，如吸收、散射、荧光、拉曼等，会产生特定光谱，而每种物质的光谱，都是独一无二的。因此，光谱信息可以说是万物的“指纹”。
[0003]光谱仪能够直接检测物质的光谱信息，得到被测目标的存在状况与物质成分，是材料表征、化学分析等领域重要的测试仪器之一。从技术发展来看，微型光谱仪可分为四类：色散型、窄带滤波型、傅里叶变换型和计算重建型。
[0004]随着计算机技术的发展，计算光谱仪得以出现，其通过计算来近似甚至重构入射光的光谱。计算光谱仪可以相对较佳地解决因小型化而导致检测性能下降的问题。由于计算光谱仪属于新兴技术，在实际应用中，计算光源仪遇到诸多技术问题。发现并解决这些技术问题，是推进计算光谱仪成熟化的必经之路。
[0005]在计算光谱仪或光谱成像装置中，光谱芯片的质量决定了光谱仪或光谱成像装置的性能，因此如何确保光谱芯片质量或如何提升光谱芯片性能成了亟需解决的问题。
专利技术内容
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光谱芯片，其特征在于，包括：图像传感器，包括多个物理像素；以及被设置于所述图像传感器的感光路径上的至少一调制层，每一所述调制层包括多个结构单元，每一所述结构单元至少对应于一个所述物理像素。2.根据权利要求1所述的光谱芯片，其中，每一所述结构单元包括多个微纳结构。3.根据权利要求2所述的光谱芯片，其中，所述微纳结构的图形特征宽度为50nm
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1500nm。4.根据权利要求2所述的光谱芯片，其中，所述微纳结构的图形特征宽度为90nm
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500nm。5.根据权利要求2所述的光谱芯片，其中，所述微纳结构的图形特征宽度为150nm
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400nm。6.根据权利要求2所述的光谱芯片，其中，所述微纳结构的图形特征宽度的最大值与所述微纳结构的图形特征宽度的最小值之间的比值大于1且小于等于7。7.根据权利要求6所述的光谱芯片，其中，所述微纳结构的图形特征宽度的最大值与所述微纳结构的图形特征宽度的最小值之间的比值大于1且小于等于5。8.根据权利要求1所述的光谱芯片，其中，每一所述结构单元对应于n个物理像素单元，所述结构单元的宽度尺寸大于等于所述物理像素单元的宽度尺寸的n倍。9.根据权利要求2所述的光谱芯片，其中，所述图像传感器的相邻两物理像素之间的间隙为0.13um
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3um。10.根据权利要求9所述的光谱芯片，其中，所述结构单元中至少一个所述微纳单元位于所述间隙的上方。11.根据权利要求2所述的光谱芯片，其中，所述多个微纳结构中至少部分微纳结构具有不同的形状和/或尺寸配置。12.根据权利要求2所述的光谱芯片，其中，所述微纳结构具有C4对称性结构。13.根据权利要求1
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12任一所述的光谱芯片，其中，所述光谱芯片进一步包括叠置于所述图像传感器的...

【专利技术属性】
技术研发人员：范策，丛培沛，黄志雷，王宇，
申请(专利权)人：北京与光科技有限公司，
类型：发明
国别省市：