一种流延成型法制备氮化硅陶瓷绝缘板的设备及方法技术

本发明专利技术提供一种流延成型法制备氮化硅陶瓷绝缘板的设备及方法。所述流延成型法制备氮化硅陶瓷绝缘板的设备包括烘箱；烘干机构；固定机构，所述支撑杆的内部等距转动连接多根所述固定轴，所述固定轴的侧壁分别对称固定连接多根呈“V”形分布的所述橡胶杆和所述档杆；基板；驱动机构；储存机构；增压机构；所述筒体的内部滑动连接所述橡胶垫和所述固定套；所述固定套的侧壁分别固定连接所述液压杆和具有弹性的所述橡胶垫；所述固定套的侧壁安装呈环形分布的所述限位杆，且所述限位杆抵触所述橡胶垫的侧壁；单向阀；本发明专利技术提供的流延成型法制备氮化硅陶瓷绝缘板的设备及方法具有快速干燥、增加生坯密度、使生坯表面光滑的优点。使生坯表面光滑的优点。使生坯表面光滑的优点。

【技术实现步骤摘要】
一种流延成型法制备氮化硅陶瓷绝缘板的设备及方法


[0001]本专利技术涉及氮化硅陶瓷绝缘板生产
，尤其涉及一种流延成型法制备氮化硅陶瓷绝缘板的设备及方法。

技术介绍

[0002]流延成型是陶瓷基片的专用成型方法，首先把粉碎好的粉料与有机塑化剂溶液按适当配比混合制成具有一定黏度的料浆，料浆从容器桶流下，被刮刀以一定厚度刮压涂敷在专用基带上，经干燥、固化后从上剥下成为生坯带的薄膜，然后根据成品的尺寸和形状需要对生坯带作冲切、层合等加工处理，制成待烧结的毛坯成品。
[0003]在流延氮化硅坯片干燥过程中，溶剂由坯片底面向坯片表面迁移，进而在表面挥发，故坯片的干燥为独特的单向干燥过程，导致坯片表面产生气孔，且粘结剂和增塑剂难以在干燥前填充溶剂挥发留下的孔洞，导致坯片疏松及不均匀的结构，降低了生坯的质量，为了保证生坯质量，坯片干燥过程需缓慢进行，降低了生产效率。
[0004]因此，有必要提供一种新的流延成型法制备氮化硅陶瓷绝缘板的设备及方法解决上述技术问题。

技术实现思路

[0005]本专利技术解决的技术问题是提供一本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种流延成型法制备氮化硅陶瓷绝缘板的设备，其特征在于，包括：烘箱（1）；烘干机构（5），所述烘干机构（5）与所述烘箱（1）之间连接；固定机构（3），所述固定机构（3）包括支撑杆（31）、固定轴（32）、橡胶杆（33）、橡胶块（34）、铁板（35）、电磁铁（36）和档杆（37），所述烘箱（1）的内部对称安装多根所述支撑杆（31），所述支撑杆（31）的表面安装多个半球形的所述橡胶块（34）；所述支撑杆（31）的内部等距转动连接多根所述固定轴（32），所述固定轴（32）的侧壁分别对称固定连接多根呈“V”形分布的所述橡胶杆（33）和所述档杆（37），且所述档杆（37）的侧壁安装所述电磁铁（36）；基板（8），所述基板（8）抵触所述橡胶块（34）和所述档杆（37）；驱动机构（2），所述驱动机构（2）安装于所述烘箱（1）的侧壁，且所述驱动机构（2）连接所述固定轴（32）；储存机构（4），所述储存机构（4）固定于所述烘箱（1）和所述烘干机构（5）的侧壁；增压机构（6），所述增压机构（6）包括液压杆（61）、筒体（62）、第一连接管（63）、橡胶垫（64）、固定套（65）、限位杆（66）和第二连接管（67），所述烘干机构（5）的内部安装所述筒体（62），所述筒体（62）的两端分别固定连接所述第一连接管（63）和所述第二连接管（67），且所述第二连接管（67）连通所述储存机构（4）的内部；所述烘干机构（5）的侧壁安装所述液压杆（61），所述筒体（62）的内部滑动连接所述橡胶垫（64）和所述固定套（65）；所述固定套（65）的侧壁分别固定连接所述液压杆（61）和具有弹性的所述橡胶垫（64）；所述固定套（65）的侧壁安装呈环形分布的所述限位杆（66），且所述限位杆（66）抵触所述橡胶垫（64）的侧壁；单向阀（7），所述单向阀（7）安装于所述第二连接管（67）的内部。2.根据权利要求1所述的流延成型法制备氮化硅陶瓷绝缘板的设备，其特征在于，所述烘干机构（5）包括循环管（51）、油泵（52）、加热线圈（53）和油箱（54），所述烘箱（1）的底端固定连接所述油箱（54），所述油箱（54）的内部安装螺旋形的所述加热线圈（53）；所述烘箱（1）的底端安装所述油泵（52），所述循环管（51）的两端分别连接所述油泵（52）和所述油箱（54），且所述循环管（51）在所述烘箱（1）的内部呈螺旋形分布。3.根据权利要求2所述的流延成型法制备氮化硅陶瓷绝缘板的设备，其特征在于，所述储存机构（4）包括隔板（41）、连通管（42）和电磁阀（43），所述烘箱（1）的底端安装所述隔板（41），所述烘箱（1）的侧壁安装侧壁为弧形的所述连通管（42），所述连通管（42）的顶端安装所述电磁阀（43），所述连通管（42）的最低端位于所述隔板（41）与所述油箱（54）之间。4.根据权利要求3所述的流延成型法制备氮化硅陶瓷绝缘板的设备，其特征在于，所述烘箱（1）的侧壁转动连接箱门（12），所述箱门（12）的侧壁安装密封垫（11），所述密封垫（11）卡合所述烘箱（1）的侧壁。5.根据权利要求4所述的流延成型法制备氮化硅陶瓷绝缘板的设备，其特征在于，所述驱动机构（2）包括步进电机（21）、转轴（22）、第一齿轮（23）、第二齿轮（24）、链轮（25）、密封套（26）、箱体（27）和链条（28），所述烘箱（1）的侧壁安装所述箱体（27），所述箱体（27）的顶面安装所述步进电机（21），所述步进电机（21）连接所述转轴（22）；所述转轴（22）的侧壁等距安装多个所述第一齿轮（23），且所述第一齿轮（23）啮合所述第二齿轮（24）；所述固定轴（32）的一端固定连接所述链轮（25），相邻的所述链轮（25）之间套装所述链条（28），每一排
中的其中一个所述链轮（25）的侧壁固定连接所述第二齿轮（24）；所述烘箱（1）的侧壁安装多个所述密封套（26），且所述密封套（26）的内部转动连接所述固定轴（32）。6.根据权利要求5所述的流延成型法制备氮化硅陶瓷绝缘板的设备，其特征在于，所述第一齿轮（23）与所述第二齿轮（24）之间相互垂直，且所述第二齿轮（24）的直径小于所述第一齿轮（23）的直径。7.根据权利要求1所述的流延成型法制备氮化硅陶瓷绝缘板的设备，其特征在于，所述基板（8）的表面铺设坯体（81），所述坯体（81）抵触所述橡胶杆（33）的侧壁；所述基板（8）的底面安装所述铁板（35），且所述铁板（35）吸附于所述电磁铁（36）的侧壁。8.根据权利要求1所述的流延成型法制备氮化硅陶瓷绝缘板的设备，其特征在于，所述单向阀（7）包括阀芯（71）、卡塞（72）、弹簧（73）和固定网（74），所述第二连接管（67）的内部对称安装所述阀芯（71）和所述固定网（74），所述弹簧（73）的两端分别固定连接所述固定网（74）和所述卡塞（72），且所述卡塞（72）卡合内部呈漏斗形的所述阀芯（71）。9.根据权利要求1
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8任一项所述的流延成型法制备氮化硅陶瓷绝缘板的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一：按配比称量硅粉、烧结助剂（烧结助剂为MgO）、分散剂（分散剂为磷酸三乙脂）和无水乙醇
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丁酮共沸物，硅粉、烧结助剂（烧结助剂为MgO）、分散剂（分散剂为磷酸...

【专利技术属性】
技术研发人员：王唯嘉，周水杉，
申请(专利权)人：青岛元创新材料科技合伙企业有限合伙，
类型：发明
国别省市：