一种电子级氢氟酸生产用精馏塔制造技术

本发明专利技术涉及一种电子级氢氟酸生产用精馏塔。该电子级氢氟酸生产用精馏塔包括塔体，塔体内设有若干个塔板，塔板上设有溢流堰以及若干个进气孔，各个进气孔上分别设有提液管，提液管上侧设有填料组件，提液管的左右两侧分别设有密封箱，提液管的下端左右两侧分别设有与密封箱连通的进液口，密封箱上设有向密封箱内进液的连通孔，进液口内设有向提液管中进液的第一单向阀，连通孔内设有向密封箱内进液的第二单向阀，提液管内转动安装有涡轮，涡轮的转轴向外延伸至密封箱上侧，涡轮的端部固定连接有第一磁铁。本发明专利技术避免了提液管中的高速气体通过进液口向提液管外侧流动而导致液体向提液管中流动速度降低的问题，实现了液体向提液管稳定、连续进液。连续进液。连续进液。

【技术实现步骤摘要】
一种电子级氢氟酸生产用精馏塔


[0001]本专利技术属于精馏塔
，具体涉及一种电子级氢氟酸生产用精馏塔。

技术介绍

[0002]电子级氢氟酸为强酸性清洗剂、腐蚀剂，主要用于超大规模集成电路生产。精馏法是制备电子级氢氟酸的常用方法，该方法中精馏塔是必备可少的重要设备。
[0003]目前，精馏塔主要包括填料式精馏塔和板式精馏塔。填料式精馏塔是连续式的气液传质设备，气液两相间呈连续逆流接触并进行传质和传热，气液两相组分的浓度沿塔高呈连续变化。板式精馏塔中气液两相间逐层逆流接触并进行传质和传热，气液两相组分的浓度沿塔高呈阶梯式变化。填料式精馏塔结构简单，压力降小，便于处理腐蚀性物料、易起泡沫的物料及真空操作，但体积大、重量大，传质效率较低，操作稳定性较差，不适于处理污浊液体、含尘气体、含有固体颗粒及容易结垢的物质。板式精馏塔通过分层进行传质和传热，在每块塔板上气液两相必须保持密切而充分的接触，为传质过程提供足够大且不断更新的相际接触表面，减小传质阻力，在塔内应尽量使气液两相呈逆流流动，以提供最大的传质动力。
[0004]随着对电子级氢氟酸纯度要求越来越高，传统的填料式精馏塔和板式精馏塔已经不能满足气液传质的需求。在此基础上，现有技术中出现了并流喷射填料塔板，并流喷射填料塔板是填料与塔板的复合体，靠填料实现传质，靠塔板实现多级并流。塔板上的液体通过提液管与塔板之间的间隙被气体提升，气液并流通过提液管，在提液管内高速湍动混合、传质，然后气液并流进入填料中进一步强化传质，并完成气液分离。气体靠压差继续上升，进入上一层塔板；液体基本以清液的形式回落到塔板上，沿流道进入降液管，下降到下一层塔板。但是，提液管中的高速气体会降低液体通过间隙向提液管中流动速度，使得精馏效率降低。另外，从填料流出的气体中仍携带有一定量的液体，气体从精馏塔流出后气液分离，分离出的液体再次回流至精馏塔，并流喷射填料塔板没有对从填料流出的气体进行气液分离的结构。因此，为了保证液体能够向提液管中流动，同时对填料流出的气体进行一次气液分离，需要对现有技术进一步改进。

技术实现思路

[0005]为了实现上述目的，本专利技术提供了一种电子级氢氟酸生产用精馏塔。
[0006]本专利技术的一种电子级氢氟酸生产用精馏塔的技术方案是：
[0007]一种电子级氢氟酸生产用精馏塔，包括塔体，所述塔体内设有若干个从上至下布置的塔板，所述塔板上设有溢流堰以及若干个进气孔，各个所述进气孔上分别设有提液管，所述提液管上侧设有填料组件，所述提液管的左右两侧分别设有与所述塔板固定连接的密封箱，所述提液管的下端左右两侧分别设有与所述密封箱连通的进液口，所述密封箱上设有向所述密封箱内进液的连通孔，所述进液口内设有向提液管中进液的第一单向阀，所述连通孔内设有向密封箱内进液的第二单向阀，所述提液管内转动安装有涡轮，所述涡轮的
转轴向外延伸至密封箱上侧，所述涡轮的端部固定连接有第一磁铁，所述第一磁铁的的两个磁极分别位于上下两端，所述密封箱内导向密封安装有上下运动的活动板，所述密封箱上设有与所述活动板上侧的密封箱内部连通的连通管，所述活动板的上侧固定连接有第二磁铁，所述第二磁铁的两个磁极分别位于上下两端。
[0008]进一步的，所述填料组件的两侧分别设有挡板，所述挡板远离所述填料组件的一侧设有连接板，所述密封箱上设有固定杆，所述连接板上设有与所述固定杆相匹配的导向孔，所述连接板上设有分别位于所述连接板上下两侧的上凸缘和下凸缘，所述固定杆上套装有两个弹簧，其中一个弹簧的两端分别与上凸缘以及连接板固定连接，另一个弹簧的两端分别与下凸缘以及连接板固定连接，所述连接板的下侧设有第三磁铁，所述第三磁铁的两个磁极分别位于上下两端。
[0009]进一步的，两个所述第一磁铁上下两端的磁极相同，两个所述第二磁铁上下两端的磁极相反，两个所述第三磁铁上下两端的磁极相同。
[0010]进一步的，所述挡板的截面呈箭头状，所述挡板的尖端朝向所述填料组件。
[0011]进一步的，所述密封箱远离所述提液管的一侧设有预热箱，所述预热箱上设有进液孔，所述预热箱内设有换热板，所述换热板为中空结构，所述换热板的下端具有与换热板内部中空连通的开口，所述换热板密封固定连接在所述塔板上，所述换热板的下端向下穿出所述塔板。
[0012]进一步的，所述填料组件包括固定框以及填充在所述固定框内的填料，所述固定框包括顶板、前侧板、后侧板、下支撑网、左支撑网以及右支撑网，所述顶板、前侧板、后侧板焊接固定，所述下支撑网分别与前侧板、后侧板以及提液管固定连接，所述左支撑网以及右支撑网分别与顶板、前侧板、后侧板、提液管固定连接。
[0013]本专利技术提供了一种电子级氢氟酸生产用精馏塔，其有益效果是：
[0014]本专利技术的电子级氢氟酸生产用精馏塔避免了提液管中的高速气体通过进液口向提液管外侧流动而导致液体向提液管中流动速度降低的问题，高速气体推动涡轮转动，涡轮带动磁铁转动，密封箱内的活动板上下往复运动，将液体吸入至密封箱以及将密封箱内的液体挤入提液管中，实现了液体向提液管稳定流动。提液管两侧的进液口进液时机相反，实现了液体向提液管内连续进液。
[0015]通过设置挡板，实现了从填料组件流出的气体气液分离。挡板在磁力作用下可以上下晃动，将挡板上的液体振落，避免了挡板上附着大量液体而造成气液分离效果差的问题。
[0016]通过设置预热箱，并在预热箱内设置换热板，使进入密封箱内的液体在预热箱内预热，提高了进入密封箱内液体的温度，进而提高了进入提液管的液体以及进入填料组件的气液流体的温度，提高了气液流体与填料传质效果。
附图说明
[0017]图1是本专利技术实施例的电子级氢氟酸生产用精馏塔的结构示意图；
[0018]图2是图1中A处的放大图；
[0019]图3是本专利技术实施例具有挡板的局部结构示意图；
[0020]图4是图3中B处的放大图；
[0021]图5是本专利技术实施例具有预热箱的局部结构示意图；
[0022]图中：1、塔体；2、塔板；3、进料管；4、出液管；5、进气管；6、出气管；7、回流管；8、溢流堰；9、进气孔；10、提液管；11、第一单向阀；12、密封箱；13、第二单向阀；14、活动板；15、涡轮；16、第一磁铁；17、连通管；18、第二磁铁；19、填料组件；20、固定杆；21、挡板；22、连接板；23、上凸缘；24、下凸缘；25、弹簧；26、第三磁铁；27、预热箱；28、进液孔；29、换热板。
具体实施方式
[0023]下面结合附图及具体实施方式对本专利技术作进一步详细描述：
[0024]本专利技术的电子级氢氟酸生产用精馏塔的具体实施例，如图1、图2所示，包括塔体1，塔体1上设有进料管3、出液管4、回流管7、进气管5以及出气管6，进料管3焊接在塔体1一侧中间靠上位置，进汽管焊接在塔体1一侧靠近下端位置，回流管7焊接在塔体1另一侧靠近上端位置。出液管4焊接在塔体1的下端中心位置，出气管6焊接在塔体1上端中心位置。...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子级氢氟酸生产用精馏塔，其特征在于，包括塔体，所述塔体内设有若干个从上至下布置的塔板，所述塔板上设有溢流堰以及若干个进气孔，各个所述进气孔上分别设有提液管，所述提液管上侧设有填料组件，所述提液管的左右两侧分别设有与所述塔板固定连接的密封箱，所述提液管的下端左右两侧分别设有与所述密封箱连通的进液口，所述密封箱上设有向所述密封箱内进液的连通孔，所述进液口内设有向提液管中进液的第一单向阀，所述连通孔内设有向密封箱内进液的第二单向阀，所述提液管内转动安装有涡轮，所述涡轮的转轴向外延伸至密封箱上侧，所述涡轮的端部固定连接有第一磁铁，所述第一磁铁的的两个磁极分别位于上下两端，所述密封箱内导向密封安装有上下运动的活动板，所述密封箱上设有与所述活动板上侧的密封箱内部连通的连通管，所述活动板的上侧固定连接有第二磁铁，所述第二磁铁的两个磁极分别位于上下两端。2.根据权利要求1所述的电子级氢氟酸生产用精馏塔，其特征在于，所述填料组件的两侧分别设有挡板，所述挡板远离所述填料组件的一侧设有连接板，所述密封箱上设有固定杆，所述连接板上设有与所述固定杆相匹配的导向孔，所述连接板上设有分别位于所述连接板上下两侧的上凸缘和下凸缘，所述固定杆上套装有两个弹簧，其中一个弹簧的两端分别与...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨华春，李云峰，徐习岭，王建萍，李凌云，刘海霞，冯晓港，
申请(专利权)人：多氟多新材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：